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c轴定向氮化铝薄膜的制备 总被引:3,自引:0,他引:3
利用电子回旋共振 (ECR)微波增强化学气相沉积法 (PECVD)并使用氮气 (N2 ) ,氩气 (Ar)和AlCl3蒸气作为气源在直径为 6 .35cm的 (10 0 )单晶硅片表面制备了c轴定向氮化铝 (AlN)薄膜 ,并使用X射线衍射仪及其X射线特征能谱和扫描电镜 (SEM)分析了薄膜特征 ,研究了微波功率、基板温度和N2 流量对薄膜c轴定向的影响 ,得到了c轴偏差角小于 5°的高质量大面积AlN薄膜。 相似文献
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33.
高一物理新教材第九章第七节受迫振动共振中出现了三种频率:物体受迫振动的频率、驱动力的频率和物体的固有频率,对三种频率的理解学生感到困难;其次,对共振曲线的理解也感到很抽象。为此,对本节演示实验进行了较科学的改进,收到了很好的效果。 相似文献
34.
用传送带运送物体类问题是一种典型的动力学问题.由于此类题涉及多个物理过程,而且物体多与传送带之间有相对滑动,容易与相对运动问题相混淆.所以,同学们分析、解决此类问题感觉比较困难.现举几例并加以分析. 相似文献
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组成液体、气体以及固体的原子都是处于运动状态的,在许多物质中的原子在振动时的微小区别常会在物质的宏观性质上带来重大的差别,例如材料中杂质原子的运动常常能决定该材料是不是一种有用的半导体;同样对原子运动的测定可以了解材料的高温超导性、非常磁阻和其他许多重要的物理性质。 相似文献
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简谐运动的特点是具有往复性,相对平衡位置对称的两点,加速度、回复力、位移、均为等值反向,速度可能相同也可能等值反向,动能、势能一定相同.在实际问题中利用这些特点分析问题,往往会收到事半功倍的效果. 相似文献
37.
平面图形加速度的一种分析方法 总被引:1,自引:0,他引:1
平面图形加速度的一种分析方法袁镒吾(中南工业大学,长沙410012)本文对于平面图形上一点的加速度的大小及方向已知,另一点的法向加速度的大小及方向也均已知,需求平面图形的角加速度的情形,提出了新的分析方法.较之文[1]更为简便.解此类问题的经典方法是... 相似文献
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Preparation of entangled simultaneous nonresonant atomic states through atom-field interaction 下载免费PDF全文
A scheme is proposed for generating a three-atom maximal
entanglement W state. It is based on the simultaneous nonresonant
interaction of atoms with a single-mode cavity field. Our scheme is
insensitive to the cavity field, so the cavity field in our scheme
can be initially in thermal states. 相似文献
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