大口径平面光学元件超精密加工技术的研究

为了解决激光核聚变装置中大口径平面光学元件的批量制造难题,将先进制造技术和传统抛光技术相结合,提出了一种新的工艺方法,即使用ELID(在线电解)磨削代替传统的铣磨和初抛工序,以提高生产效率。利用数控抛光将工件抛光至最终的面形精度,以提高生产效率和减少边缘效应。将连续抛光作为最终加工工序,使加工工件的表面粗糙度和波纹度达到工程要求。实验证明这一新的工艺方法是可行的。     

Φ520mmF/1.6椭球面反射镜加工

介绍了一块Φ520mm大相对孔径(F/1.6)轻量化椭球面反射镜的加工与检测方法。镜面的有效口径为Φ502mm,顶点曲率半径为1600mm,非球面系数k=-0.9663,面形精度要求优于0.025λ(RMS)。镜子背面有54个大小深浅不一的不通孔,用于减轻镜子的重量。采用WYKO干涉仪检测得到镜面面形误差达RMS0.02λ,λ=632.8nm。     

10.6μm激光诱导扩散中热致破坏的抑制

在半导体激光诱导扩散实验中,用连续波CO2 10．6μm激光聚焦后照射基片表面。为实现局部区域的选择扩散,激光光斑半径仅数十微米。要使曝光区温度达到扩散实验要求,必须使曝光区功率密度很高。另一方面,Si、InP等半导体材料对10．6μm波长激光的吸收系数随温度的升高而增大,这导致实验时容易产生热致破坏,损伤基片。在分析热致破坏的产生机理后,提出了在聚焦激光束照射下,曝光区温度的数值计算方法。计算结果表明,在半导体基片初始温度为室温时,以恒定功率的激光束照射基片,曝光区温度不能稳定在扩散试验需要的温度范围。在此基础上,提出了预热基片及对曝光区温度进行实时控制等抑制热致破坏的方法,有效地克服了这一困难。这对于用激光微细加工制作出高性能的单片光电集成电路(OEICs)器件有重要意义。     

钢丝绳隔振器隔振性能试验

钢丝绳隔振器最早由美国于20世纪70年代末研制成功，它是一种典型的非线性隔振器，阻尼特性与变形有关，具有良好的隔振性能。文中以特定电子器件的隔振设计为出发点，对比研究了采用钢丝绳隔振器时的隔振效果，为最终设计定型积累了试验数据。     

复合薄膜透湿率对分子筛吸附性能的影响

分子筛经活化后用复合薄膜包装袋封装存放一定时间后使用，由于水汽缓慢渗透和包装袋微量泄漏的存在，可能使分子筛吸湿，从而直接影响其使用效果和有效期，因此试验研究分子筛产品包装贮存前后吸附性能的变化，以验证理论计算结果，并为分子筛应用提供重要的试验依据。     

高效光学加工技术

为验证国产大口径KDP晶体金刚石车床（图1）的加工能力，进行了多次试验。加工的φ150mm小于0．52的铝镜面已达到与俄罗斯机床同等水平。但同时进行的一轮KDP晶体车削试验，结果并不满意，其单次透射波前畸变近4λ，原因可能是KDP晶体的装夹存在问题，导致加工效率不佳。而且加工中还产生周期性波纹，可能是由于机床压缩空气供给系统的周期性启动，造成周期性的压力波动。     

平面数控抛光工艺优化技术

为了满足“神光”-Ⅲ装置对大批量大口径光学元件的需求，解决加工精度以及加工效率等方面的问题，对计算机控制光学表面成型技术（CCOS）进行了多方面的研究。在对平面数控软件进行了深入的研究工作后，结合高精度干涉检测手段，对数控工艺软件进行了大幅的改进。     

TNT基炸药机械加工用切削液

针对TNT基炸药及其机械加工特点，设计出对人和环境友好的CFE和ICFE系列TNT基炸药机械加工专用水基切削液配方，根据切削液的防锈性能、切削液与TNT基炸药作用的变色特性对配方进行了筛选和评价。     

Evolution of a two-mode squeezed vacuum in the amplitude dissipative channel

For the first time we derive the dissipating result of an initial two-mode squeezed pure vacuum state passing through a two-mode amplitude dissipative channel described by the direct product of two independent single-mode master equations. Although these two master equations do not mix the two modes (there is no coupling between them), since the two-mode squeezed state is simultaneously an entangled state, the final state which emerges from passing this channel is a two-mode mixed density operator. The compact expression of the outcoming state is obtained, which manifestly shows that as time evolves, the squeezing effect decreases.     

慕尼黑上海激光、光电展 携六大专业展区,齐演尖端技术

每年一度的慕尼黑上海激光、光电展将于2011年3月15～17日在上海新国际博览中心E3,E4馆再次上演。本届展会将汇集行业精英、专家智囊团和科研学者,探讨激光、光学行业的最新发展及其在工业、半导体、测试测量、教育科研等领域的应用。作为2011年新春过后的第一个激光、光电行业的顶级盛会,慕尼黑上海激光、光电展除保留传统的激光加工设备和激光器两大优势展区外,还将继上一届的成功经验继续展示光学和光学制造专区,除此之外,更与中国邮电器材集团公司和