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对不同的本底真空条件下,采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术沉积的氢化微晶硅(μc_Si∶H)薄膜中的氧污染问题进行了比较研究.对不同氧污染条件下制备的薄膜样品的x射线光电子能谱与傅里叶变换红外吸收光谱测量结果表明:μc_Si∶H薄膜中,氧以Si—O,O—O和O—H三种不同的键合模式存在,不同的键合模式源自不同的物理机理.μc_Si∶H薄膜的Raman光谱、电导率与激活能的测量结果进一步显示:沉积过程中氧污染程度的不同,对μc_Si∶H薄膜的结构特性与电学特性产生显著影响;而不同氧污染对μc_Si∶H薄膜电学特性的影响不同于氢化非晶硅(a_Si:H)薄膜.
关键词:
氢化微晶硅薄膜
甚高频等离子体增强化学气相沉积
氧污染 相似文献
133.
偏滤器靶板磁预鞘层边界的离子流 总被引:1,自引:1,他引:0
利用流体力学模型研究了偏滤器等离子体条件下磁预鞘层边界离子流和预鞘层宽度之间的关系,并分析了粒子碰撞对预鞘层边界离子流的影响。由于粒子碰撞对离子的驱动效益,预鞘层边界离子流速度随着预鞘层宽度的增加而减少;只有当预鞘层宽度趋于零时,边界离子流沿磁力线的速度才趋近于离子声速。在固定预鞘层宽度的条件下,计算了预鞘层边界离子流速度与碰撞频率之间的函数关系。 相似文献
134.
Structural Evolution of Nanostructured γ—Ni—28Fe Alloy Investigated by Using the Internal Friction Technique
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The structural evolution of nanostructured γ-Ni-28Fe alloy(n-Ni-Fe)(grain size d-30nm),synthesized by the mechno-chemical method,was investigated by using the internal friction technique combined with differential scanning calorimetry(DSC) in the temperature range from 300K to 670K.An internal friction peak with typical characteristics of the first-order phase transition was observed in the vicinity of 620K,which corresponds to a broad exothermic process revealed by using DSC.Theses results can be explained as the structural changes from the disordering to the ordering transition in the n-Ni-Fe sample. 相似文献
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137.
为了配合HL-2A装置的工程联调和首次等离子体放电,需要一种可靠和直观的诊断手段,以确认产生了所谓的“First plasma”(初始等离子体)放电。为此我们研制了一套新的诊断系统,即等离子体可见光成像。等离子体成像是近年来发展起来的一项先进诊断手段。目前在托卡马克装置上广泛采用。 相似文献
138.
周南 《理化检验(化学分册)》2003,39(6):379-380
美国国家标准与技术研究所 (NIST)是国际上著名的两大参考物质供应单位之一。她的前身是美国国家标准局 (NBS) ,创建于 190 1年 ,迄今已有10 1年历史。总部设在Madison州Gaithersburg市 ,分部设在Colorado州Boulder市。该所隶属于美国商务部。该所的宗旨是与工业界携手合作 ,发展和应用测量、标准与技术 ,以推动美国经济日益壮大 ,为贯彻这一宗旨 ,在新千年来临之际制订并实施下述计划 :①测量与标准实验所计划 ;②先进技术计划 ,其任务是帮助填补先进基础研究与其产业化之间的缺口 ,以开发高风险而具有广阔商业前景的新技术 ;③延伸制… 相似文献
139.
Chemical Potential Dependence of the Dressed-Quark Propagator in a Simple Confining QCD Model
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ZONGHong-Shi HOUFeng-Yao CHENXiang-Song LIUYu-Xin 《中国物理快报》2004,21(7):1232-1235
Based on the Dyson-Schwinger approach, a method for obtaining the chemical potential dependence of the dressed quark propagator in the ‘Nambu-Goldstone‘ and the ‘Wigner‘ phase is developed. The bag constant in the presence of the non-zero chemical potential is analysed. 相似文献
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