基于空间像主成分分析的光刻投影物镜波像差检测技术

基于空间像主成分分析的波像差检测技术是一种原位光刻机投影物镜波像差检测技术。本文对该技术的检测模型和工程技术进行了系统研究。分析了照明条件、检测标记、空间像扫描范围等影响因素对检测精度的影响。研究了空间像传感器模型,并通过仿真和实验验证了传感器模型的有效性。研究了空间像定心误差对检测精度的影响,对比了不同定心方法下波像差检测模型的性能表现。分析了不同降噪方法的空间像降噪效果,并基于空间像噪声模型,提出了一种新的空间像降噪方法。仿真与实验结果表明,在各种影响因素中,照明部分相干因子和F方向采样范围对像差检测精度影响较大。定心方面,在X方向上六项模型定心精度更高,F方向上三项模型与六项模型各有优劣。平均值降噪法可以有效滤除空间像噪声,提高像差求解精度。像差漂移量仿真测试结果表明,该技术可用于校正光刻机的短期像差漂移。本文对该技术还给出了工程应用建议。     

电感耦合等离子体质谱法测定高锰酸钾中7种元素

<正>水处理方法有物理法、化学法、物理化学法和生物法等,不同的污染物可用不同的方法进行去除。选择污染物的处理方法不仅要考虑技术可行性,还要考虑经济合理性以及其对环境的影响[1]。高锰酸钾作为饮用水处理行业广泛使用的一种化学氧化剂,常用于水的除铁、除锰、除臭和除味等净水工艺中[1]。其成品中残留的少量重金属元素会随着药剂的投加进入饮用水中,给人体健康带来潜在危害。因此,国家标准GB 2513-2004[2]中规定高锰酸钾     

赛默飞世尔科技推出气相色谱-单四极杆质谱仪多农残快速筛查方法

<正>赛默飞世尔科技基于气相色谱-单四极杆质谱仪(ISQ-GC-MS)推出利用Tracefinder软件结合T-SIM功能建立多种农残快速筛查方法。ISQ-GC-MS的多农残快速筛查方法可直接为用户提供农药残留检测的服务,即使在没有标准样品的情况下也可对未知样品的农药残留进行筛选。建立的农药数据库利用Tracefinder软件可以实现数据库的共享,无需用户采用标准样品确定保留时     

火焰原子吸收光谱法测定偏钒酸钾中钠

<正>偏钒酸钾作为化学试剂、催化剂、催干剂和媒染剂等广泛应用于釉料、化工触媒和高级陶瓷制品等领域,其中钠的含量是一项重要的质量指标。目前测定钠含量的方法有原子吸收光谱法[1-7]和电感耦合等离子体原子发射光谱法(ICP-AES)[8]等。因高含量的钾、钒存在影响偏钒酸钾中钠的测定,试验采用基体匹配方法消除其干扰。本工作针对高钒高钾的产品,建立了火焰原子吸收光谱法测定偏钒酸钾中钠含量的方法。     

“2015(第九届)中国科学仪器发展年会”第二轮通知

<正>"2015(第九届)中国科学仪器发展年会(ACCSI 2015)"将于2015年4月22日在北京举行,本届年会以"创新创造价值"为主题,届时将吸引业界专家学者、仪器厂商、实验室负责人等800余位代表参会,同时将有50余家国内外权威媒体参与报道。     

仪器信息网第八届科学仪器网络原创作品大奖赛

<正>为促进分析人员的技术交流,提高行业的仪器应用水平,"第八届科学仪器网络原创作品大奖赛"将于2015年7月1日正式拉开帷幕.本届大赛征文类型将涉及行业综述、分析方法开发与应用、新技术发展、仪器维护维修、仪器操作使用经验、实验室管理方法与建设、仪器选型、采购交流、个人从业经历分享等多个方面.通过网络分享、在线讨论的形式广泛传播,增进行业人员互相结识与技术学习,营建集思广益、互帮互助的良好氛围.     

仪器分析实验教学方法探索——探询-科研型教学模式

探索了探询-科研型实验教学模式在仪器分析实验教学中的应用。通过新实验教学模式的摸索,激发学生参与实验的热情,提高学生的科研、协作意识,达到提高实验教学质量的目的。     

仪器车减震台的设计优化

本文介绍一种以塑性变形减震概念设计的用于地下爆炸地表层裂区内的仪器车减震台。文中叙述了设计的原理和计算方法。通过同普通的由弹簧和阻尼器构成的减震台的计算对比,说明这种以塑性变形减震概念设计的减震台具有许多优点。对减震台做了吊高达1.5m的落地冲击实验,其结果同计算一致。     

我国科学仪器研发进入了新阶段

本文简要地论述了发展科学仪器的重要性,并简略点评了本期专辑中收录的部分文章.     

《原子发射光谱分析技术及应用》

该书以实际中广泛应用的发射光谱现代分析仪器为对象,介绍了原子发射光谱分析技术的原理和必要的基础知识,主要发射光谱仪器的分析技术及其实际应用。着重介绍火花源原子发射光谱、电感耦合等离子体发射光谱和辉光放电