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21.
22.
Temperature effects on deposition rate of silicon nitride films were characterized by building a neural network prediction model. The silicon nitride films were deposited by using a plasma enhanced chemical vapor deposition system and process parameter effects were systematically characterized by 26−1 fractional factorial experiment. The process parameters involved include a radio frequency power, pressure, temperature, SiH4, N2, and NH3 flow rates. The prediction performance of generalized regression neural network was drastically improved by optimizing multi-valued training factors using a genetic algorithm. Several 3D plots were generated to investigate parameter effects at various temperatures. Predicted variations were experimentally validated. The temperature effect on the deposition rate was a complex function of parameters but N2 flow rate. Larger decreases in the deposition rate with the temperature were only noticed at lower SiH4 (or higher NH3) flow rates. Typical effects of SiH4 or NH3 flow rate were only observed at higher or lower temperatures. A comparison with the refractive index model facilitated a selective choice of either SiH4 or NH3 for process optimization. 相似文献
23.
The evolution of charged‐particle production in collisions of heavy ions at relativistic energies is investigated as function of centrality in a nonequilibrium‐statistical framework. Precise agreement with recent d + Au and Au + Au data at = 200 GeV is found in a Relativistic Diffusion Model with three sources for particle production. Only the midrapidity source comes very close to local equilibrium, whereas the analyses of the overall pseudorapidity distributions show that the systems remain far from statistical equilibrium. 相似文献
24.
25.
From the thermodynamical, optical texture and dielectric studies of the binary mixtures of 3β-chloro-5-cholestene (ChCl) and 4-n-decyloxybenzoic acid (DOBA), the phase diagram has been drawn. It has been observed that low concentrations of ChCl (1 to 7 mol%) in DOBA induce various types of twisted grain boundary (TGB) submesophases, whereas higher concentrations induce a smectic A (SmA) mesophase. Various optical textures of the TGB phases under different conditions of molecular anchoring have been observed. Weak transitions related with TGB phases have been detected from the temperature dependence of dielectric permittivity. The observed phase diagram of ChCl-DOBA binary system is in complete conformity with the theoretically predicted mean-field phase diagram derived by Renn within the framework of the chiral Chen-Lubenski model 相似文献
26.
27.
本文应用量子电动力学理论,研究了强度依存耦合的二能级原子与单模光场相互作用系统中,光场强度对原子共振荧光的影响.证明了系统的共振荧光仍有三峰带结构,光场强度的增加,将使三峰带结构更加明显,但当光场强度很大,使得本征谱分裂值等于一个激光光子能量时,三峰带结构变为双峰带结构,而且边峰带由单光子跃迁变为双光子跃迁. 相似文献
28.
用模型势方法计算了低能正电子与Kr、Xe原子弹性散射总截面与动量转移截面,并将本文的计算结果与理论计算及实验值作了比较。 相似文献
29.
用紧耦合方法研究C4+和O6+与He原子碰撞 总被引:2,自引:0,他引:2
用双中心原子轨道紧耦合方法计算了C4+-He以及O6+-He碰撞的单俘获总截面,入射离子的能量范围为10~100keV/amu,所得计算结果在实验误差范围内与实验值很好符合.对满壳层入射离子,研究了单俘获截面随入射离子电荷态的变化,并讨论了原子轨道展开波函数数目对计算结果的影响.p 相似文献
30.
在A≈80区奇-奇核旋称反转问题上已提出几种机制,但没有一种理论推断是结论性的.在本工作中将角动量投影壳模型应用到80,82Rb核,对组态为πg9/2⊙νg9/2的正宇称晕带和组态为π(p1/2,p3/2,f5/2)⊙νg9/2 的负宇称晕带理论计算和实验结果进行了比较,特别是对正宇称晕带中的signature反转机制进行了探讨.角动量投影壳模型计算显示正宇称晕带中的signature反转是原子核随自旋增加形状发生变化的信号,其间原子核从低自旋的长椭球变到高自旋的扁椭球.此外,还确定了此两带的原子核形状 相似文献