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在微机电技术中,利用刻蚀方法对硅进行体结构加工是一步重要的工艺程序. 本文提出了一种基于四甲基氢氧化铵的新型刻蚀方法,四甲基氢氧化铵刻蚀溶液被加热到沸点,单晶硅片置于刻蚀液面的上方,通过刻蚀溶液的蒸汽实现对硅片的各向异性气相刻蚀,此方法并不依赖于昂贵的传统干法刻蚀真空设备. 相比于传统湿法刻蚀,本文提出的刻蚀方法具有若干优点,例如低粗糙度、高刻蚀速率和高均匀性,刻蚀速率和表面粗糙度分别可达到2.13 μm/min和1.02 nm. 同时,在背腔刻蚀工艺中,在硅片非刻蚀面上的隔膜结构和Al基图形可被完好无损地保存下来. 最后,本文提出了一种可能的刻蚀机理说明观察到的实验现象. 与传统湿法刻蚀不同,在本文的气相刻蚀中,由于刻蚀溶液的蒸发过程,刻蚀表面将形成一层薄的水汽层,四甲基氢氧化铵刻蚀剂的离化和刻蚀反应均在这一层中进行,这有助于H2气泡的快速脱附,以及反应界面分子交换速率的提升. 相似文献
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钙钛矿太阳能电池作为第三代新概念太阳能电池,具有光电转换效率高、成本低和加工灵活等优点,近年来发展迅速,虽然其光电转换效率逐渐可与硅电池相媲美,已接近工业应用水平,但钙钛矿太阳能电池工业应用核心问题是其稳定性。如何使钙钛矿太阳能电池长期保持高效率是研究人员需要解决的最大问题。目前,封装作为解决钙钛矿太阳能电池外部稳定性问题的手段之一已经被广泛研究,良好的封装不仅可以解决器件的稳定性问题,还可以保证器件的安全性,延长使用寿命。本文简要介绍了影响钙钛矿太阳能电池稳定性的因素及稳定性测试的条件。最后介绍了钙钛矿太阳能电池的不同封装结构、封装工艺和封装材料对封装性能的影响。随着封装研究的不断深入,研究人员将不断优化和解决存在的问题,最终实现钙钛矿太阳能电池的大规模产业化应用。 相似文献
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基于灰色关联分析和层次分析法的新型工业化水平综合评价——以中部六省为例 总被引:4,自引:0,他引:4
新型工业化水平评价是结合我国工业化发展的实际情况和特色,基于在工业化进程中获取的大量经济数据,对工业化发展水平进行全面、系统地分析.基于新型工业化的深刻内涵,构建了新型工业化水平的评价指标体系,并综合运用灰色关联分析和层次分析法,提出了一个新型工业化水平的综合评价模型,模型运用灰色关联分析法计算评价对象的灰色关联系数,采用层次分析法确定评价指标的权值,进而计算加权灰色关联度作为判定评价对象优劣的准则.运用该模型对2005年到2008年中部6省即湖南、江西、湖北、安徽、河南、山西6个省份及全国的新型工业化水平进行综合评价,得到了其新型工业化水平的排序. 相似文献
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微藻生物能源具有巨大的开发潜力及应用前景,但仍面临很多产业化瓶颈.本文分析了微藻生物能源技术的潜力与存在的问题,指出制约微藻生物能源技术发展的主要障碍为规模养殖,如何提高微藻生长效率、降低能耗、提高规模生产的可靠性仍是面临的艰巨任务.本文介绍了石油化工企业温室气体减排与微藻生物能源技术的集成及技术思路,构建了减排工业废气与生产微藻生物能源的循环经济模式.此外,还介绍了中国石化在利用温室气体发展微藻生物能源技术方面的实践,围绕能源微藻选育技术、光生物反应器技术、微藻生物质加工及综合利用技术展开阐述. 相似文献
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中国工业化发展态势分析:1981~2001 总被引:4,自引:0,他引:4
本文利用时序全局主成分分析法对1981~2001年中国的工业化发展作了动态描绘,结果表明,1981~2001年中国的工业化发展处于整体攀升并伴有小幅波动态势。动态轨迹与客观实际能较好的吻合,可为中国工业化进一步健康发展提供参考依据。 相似文献
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1广大农村将迅速出现猛烈的用能需求
随着中国社会经济相继走上工业化、城市化、现代化,一个必然要出现的需求是,中国必须加速发展农业,加速建设农村,加速改善农民生活,而“三农”(农民、农村、农业)是“工业化、城市化、现代化”的基础. 相似文献
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近年来, 随着科学研究的不断深入, 单原子催化剂由于具有高活性与高选择性等突出特点被广泛挖掘和应用. 作为连接多相与均相催化的桥梁, 单原子催化剂已经成为催化领域的重要研究对象之一, 具有广泛的工业化应用前景. 本文对单原子催化剂的发展历程、 特点及其在不同领域的应用进行了概括, 综合评述了当前CO2还原领域的技术经济分析, 并首次对单原子材料催化转化CO2进行了技术经济分析与计算. 最后, 对单原子催化剂在CO2还原领域中工业化应用的未来发展方向及亟需解决的关键科学和技术问题进行了展望, 以期推动单原子催化材料的进一步广泛应用. 相似文献
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本文对评估地区工业化阶段的指标体系进行了分析和探讨。首先,对现存的单一指标的指标体系逐个加以分析,重点指出单一指标在评估地区工业化阶段过程中存在的不足;其次探讨比较合理的综合评价的指标体系;最后,利用所述综合评价指标体系,对合肥市的工业化阶段进行了评估. 相似文献
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路甬祥 《理化检验(化学分册)》2003,39(1):6-11
放眼世界 ,随着经济全球化进程日益加快 ,新一轮的世界产业结构调整正在不断推进 ,国际分工正在更为宽广的领域展开。如何在全球经济格局中占据有利位置 ,如何应对高科技时代的激烈竞争 ,如何化解全球化这把双刃剑可能带来的损害 ,如何赢得未来世界对自己国家和民族的尊重 ,已经成为各国必须应答的命题。制造业 ,特别是装备制造业的整体能力和水平将决定各国的经济实力、国防实力、综合国力和在全球经济中的竞争与合作能力 ,决定着一个国家 ,特别是发展中国家实现现代化和民族复兴的进程。作为刚刚进入工业化中期的发展中国家 ,我们必须清醒… 相似文献