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基于薄膜/基底模型,分析可变形电子元件结构的动力屈曲问题。用小变形平面应变理论描述基底,用Kirchhoff平板理论描述薄膜。定义Lagrange函数,包括薄膜应变能和动能,以及基底对薄膜所作的功。利用Euler-Lagrange方程导出薄膜的动力屈曲控制方程。计算线性荷载下薄膜的动力响应,并利用B-R准则确定临界屈曲荷载。动力屈曲的临界荷载较静力屈曲的大,波幅响应围绕静力屈曲的响应振荡。 相似文献
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硅基底多层薄膜结构材料残余应力的微拉曼测试与分析 总被引:1,自引:0,他引:1
针对MEMS器件制备中两种典型的硅基底多层薄膜结构的残余应力问题,本文提出了利用微拉曼光谱技术测量其残余应力的方法,分析并给出了硅基底多层薄膜结构中的残余应力分布规律。实验结果表明,在硅基底和薄膜内存在较大的工艺残余应力,残余应力在基底内靠近薄膜两侧部分呈非线性变化,在基底内主要呈线性变化,并引起基底整体翘曲。基于实验结果分析,提出了硅基底多层薄膜结构的分层结构模型。本文工作表明微拉曼光谱技术是测量与研究硅基底多层薄膜结构残余应力的一种有力手段。 相似文献
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影响无网格方法求解精度的因素分析 总被引:10,自引:1,他引:10
基于移动最小二乘法的无网格方法的计算精度除受到节点的分布密度和基底函数的阶次影响外,还受到其它因素的影响,其中权函数的选取、权函数影响域的大小及位移边界条件的引入对计算精度影响较大。本文分析了几种常用权函数在数值计算时的特点,包括计算精度、收敛情况、计算效率等,同时分析了影响域大小及边界条件的引入对计算精度的影响。通过分析给出了确定权函数及其影响域大小的方法。当受约束的自由度较多时,通过配点法引入位移边界条件会引起计算结果的振荡,通过施加稳定项可以消除振荡现象,通过对带孔方板的受力分析证明了其可行性。应用以上结论对J23—10曲柄压力机机身进行了受力分析,应力集中部位的计算结果得到了较高的精度。 相似文献
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采用化学气相沉积技术,利用旋转涂膜法制备催化剂基底材料,通过对涂膜过程中的角速度、旋转时间以及基底还原过程中温度的控制改变催化剂颗粒的分布状态,获得了粒径均匀分布的催化剂基底,该基底上催化剂颗粒集中分布在47~62 nm区间,再利用该基底生长出定向碳纳米管阵列。运用扫描电镜、透射电镜、拉曼光谱仪对样品进行了表征。结果表明旋转涂膜法制备的基底平整性好于普通的滴膜法,且较其它基底制备方法具有简单易控、可使催化剂均匀分散等特点。利用该基底制备的碳纳米管阵列定向性良好。 相似文献
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利用现用现制的方法快速制备SERS基底,以解决基底因储藏而导致稳定性变差和使用寿命不长的问题。研制了快速制备银溶胶基底的装置,该装置以USB电源供电,带有加热控温以及搅拌功能,可在10 min内制备银溶胶基底。透射电镜(TEM)结果显示,利用该装置制备的银溶胶纳米颗粒(AgNPs)分布均匀,粒径约80 nm;用于对罗丹明6G进行检测,多批次制备基底的SERS信号较强且稳定,相对标准偏差(RSD)在5%左右。将该装置用于检测苹果汁中农药残留敌草快,检出限达5.3μg/L,与气相色谱-质谱联用(GC-MS)和超高效液相色谱-质谱联用(UHPLC-MS)法的检出限结果相当;且1581 cm-1处的SERS信号强度与敌草快浓度间具有良好的线性关系,相关系数(R2)为0.992,加标回收率在107%~112%之间,RSD在1.4%~3.6%之间。使用现制的银溶胶基底检测苹果汁中的敌草快残留灵敏度和准确度较高,为农残快速检测提供了一个新途径。 相似文献
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