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Hydrogen ions were implanted into separation by implantation of oxygen (SIMOX) silicon-on-insulator (SOI) wafers near the oxygen-implantation-induced damage peak under different conditions of energy and dose. It was found that the implanted hydrogen ions not only accelerate the diffusion of oxygen atoms from the annealing ambience into the wafer but also cause an outward diffusion of oxygen atoms in the buried oxide (BOX) layer. Thus, greatly broadened buried oxygen-rich (BOR) layers were formed in our experiments, which are 18%-79% broader than the BOX layer of standard SIMOX SOI wafers under the same conditions of oxygen implantation. The mechanism was discussed. A potential low cost method to fabricate SIMOX SOI wafers is proposed. 相似文献
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高固体分羟基丙烯酸树脂的合成 总被引:1,自引:0,他引:1
以过氧化二苯甲酰(BPO)/过氧化二异丙苯(DCP)(质量比为2:3)为复合引发剂,二甲苯为溶剂,选用适量含羟基单体和分子量调节剂,以减缓树脂合成聚合反应中的自动加速现象,合成了分子量为3000-4000,多分散性指数d〈2的高固体分羟基丙烯酸树脂.该树脂与缩二脲多异氰酸酯(HDI)的配漆实验证明,所得漆膜鲜映性好、丰满度高、色泽好、雾影值低、综合性能较好. 相似文献
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精密垫片零件,如图1所示,零件材料为1Cr18Ni9Ti,强度大(σb=650MPa),有一定塑性。从零件尺寸精度看,φ4mm外圆为IT7级精度,φ4mm外圆与φ2mm内孔有很高的同轴度要求,冲裁断面与零件两端面有垂直度要求,普通冲压不能达到零件精度:从工序的角度看,有冲孔和落料工序,剪切面粗糙度Ra≤3.2μm,属于光洁冲裁范畴;另外,技术条件中要求零件两大面不得有任何划伤,且光滑平整。总体上看,该零件的冲压加工性不好,难度较大,对模具的设计、选材、制造要求都较高。 相似文献
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碳氢(cH)及其掺杂材料常被用作ICF实验靶丸烧蚀层材料。制备CH薄膜及其掺杂材料的方法有很多,诸如:离子束辅助沉积、离子溅射沉积、低压等离子体化学气相沉积(LPPCVD)等。近年来,详细研究了LPPCVD法制备CH薄膜的制备方法与工艺,形成了比较成熟的技术路线与工艺路线,并为“神光”实验提供了一系列实验靶丸。 相似文献
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氧碘化学激光气固相化学反应体系热力学分析 总被引:1,自引:1,他引:0
许正 《工程物理研究院科技年报》2004,(1):297-297
氧碘化学激光器(COIL)的发展已经到了提高系统安全性和工作环境适应性、降低系统复杂性阶段,而改进O2(^1△g)的产生方式和方法正是这个阶段的重要工作内容之一。近期,美国空军研究实验室运用气-固相反应方式产生O2(^1△g)。采用碱金属过氧化物或碱土金属过氧化物与卤化氢反应,生成O2(^1△g)。通常气一固相反应有着反应速度慢,接触面积小,反应产物难以脱出固体表面的缺陷,使得产出率低,而不被广泛采用。但随着表面化学研究的突飞猛进,借助表面活化分子,特殊性质的表面构造,大表面的构造,都为气一固相反应的进行提供了可行途径。如果此方法能用在氧碘激光器上,将克服传统方法的诸多不足。 相似文献
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Antiphase State in Passively Q-Switched Yb:YAG Microchip Lasers with a Nd,Cr:YAG as Saturable Absorber
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We experimentally investigate the antiphase dynamics phenomenon that occurs in a diode-pumped passively Q-switched Yb:YAG multimode laser with a Nd,Cr:YAG saturable absorber. Due to the effect of spatial hole burning, the multimode lasers with one, two, or three modes at different pump power are observed, and the pulses sequences display classic antiphase dynamics. 相似文献