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微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜研究 总被引:2,自引:1,他引:1
本文系统研究了石英钟罩式微波等离子体辅助化学气相沉积装置对沉积金刚石薄膜的影响。与石英管式微波等离子体沉积装置相比,该装置能使用较高的沉积气压、较大的气体流量和较微波功率。本文着重研究了沉积气压、气体流量和甲烷浓度对金刚石薄膜形貌和生长速度的影响。发生生长速度随着沉积气压和甲烷浓度的增大而增大,晶体形态随着甲烷浓度的增大而差。并使用该装置成功地在400℃低温沉积了Φ60mm的金刚石薄膜。 相似文献
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本文描述用硬X射线针孔成象法测量简单磁镜装置中ECR等离子体辐射特性的方法及其结果。这种非破坏性的成象法,直接显示了热电子等离子体的空间分布,一次放电可成一帧清晰的象,且由此可得出二维的等发射强度线。大量结果表明电子环是非轴对称的,并非为一个整环,而是在微波注入口的对面有一个缺口。当微波功率改变时,环也在改变。 相似文献
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荔枝果实中微量元素测定的研究 总被引:15,自引:1,他引:14
研究了电感耦合等离子体发射光谱法同时测定荔枝果实中多种微量元素的条件;测定了东莞地区不同生长时期三月红品种荔枝中Al,Ba,Cr,Mg,Mn,Sr,Mo,Pb,Se,Zn,Fe,Cu,Ca等十三种元素在果皮、果核、果肉中的分布,方法的相对标准偏差介于1.3%-4.9%,平均回收率为89%-124%,分析结果较为满意;同其它地区荔枝进行比较,发现东莞地区荔枝果实中Mo元素的含量明显低于其它地区,为合理施肥和充分利用土壤肥力提供植株方面的发展。荔枝果实中锌、铁、镁、钙等人体必需生命元素含量较高,提示了这一水果品种较高的营养价值。 相似文献
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沈学民 《核聚变与等离子体物理》1996,16(1):20-23
本文提出了在大功率射频发射系统中对一个未知的天线负载,可用二次实验数据来确定双T调配器的参数,以达到射频源和天线负载间的匹配。文中详细地讨论了这种高配法的理论并给出了用以实验的解析公式。 相似文献
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