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41.
使用光发射谱(OES)对甚高频等离子增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术沉积硅薄膜时的等离子体发光基团的空间分布进行了在线监测和研究. 研究表明:等离子体的不同发光基团都存在着一个中间强度较大的区域和两边电极附近的暗区;增大硅烷浓度和提高辉光功率都会增大SiH*峰强度;硼烷的加入,使得SiH*和Hα*峰强度增大,但硼烷流量变化的影响很小;硼烷流量增大,材料的晶化率下降,而I[Hα*]关键词:
甚高频等离子增强化学气相沉积
等离子体
发光基团
空间分布 相似文献
42.
绕弹体的超声速气流与发动机喷流相互作用,在尾部形成复杂的干扰流场。本文用有限差分法求解全N-S方程,对这一复杂流场进行了数值模拟,得到了实验观察到的各种流场结构及其随喷口压力比的变化规律。外流M∞=1.94,Re∞=2.2×105,喷流Mj=3.0,喷口压力比pj/p∞分别为1.03,0.527,0.15三种。差分算法为一种改进的Beam-Warming格式。计算底部压力和激波在喷流中心的反射位置与实验数据进行了比较,吻合较好。 相似文献
43.
H. Rieger 《Journal of statistical physics》1993,70(3-4):1063-1073
An algorithm for the simulation of the 3-dimensional random field Ising model with a binary distribution of the random fields is presented. It uses multi-spin coding and simulates 64 physically different systems simultaneously. On one processor of a Cray YMP it reaches a speed of 184 million spin updates per second. For smaller field strength we present a version of the algorithm that can perform 242 million spin updates per second on the same machine. 相似文献
44.
多孔径扫描波面恢复技术的精度评定及影响因素 总被引:7,自引:2,他引:7
多孔径扫描波面恢复技术是一项新的高精度大孔径面形检测手段.本文从建立波面恢复精度的评价标准出发,结合实测结果进行讨论,并对影响精度的两个重要因素即拼接模式及拼接区大小进行分析. 相似文献
45.
胡亦钧 《武汉大学学报(理学版)》1995,(5)
设{Xn}n≥1是一列相互独立且具有相同分布、非负非退化的随机变量序列.S=X1+…+Xn,μEX1,a是X1的分布支撑的上确界.假设EeuX1<∞,u>0.对μ<Xn<a,本文分别讨论了1ogP{Sn≥nxn}及P{Sn≥nxn}J当n→∞时的渐近性质。 相似文献
46.
张丹林 《新疆大学学报(理工版)》1995,12(2):96-101
水文统计中的月径流资料是非常重要的。月径流系列是一随机过程,由于水文现象的复杂性,难以用准确的分布函数来描述。但作出某些合理手假设后,可将其变为符合各态历经定理的平稳随机过程。用Mapkob自回归模型可以生成人工月径流系列,以满足规划、设计等方面的要求。本文以三屯河为例,用Mapkob模型模拟了该河的月径流系列。 相似文献
47.
用光纤制成的光束变换元件代替大孔径透镜和狭缝拍摄彩虹全息图,大大提高了全息图的视角,而且方法简单.本文介绍了用光纤光束变换器的摄大视角彩虹全息图的原理、方法,并进行了实验验证,收到了较为满意的效果. 相似文献
48.
J. Schulte 《Journal of statistical physics》1993,70(5-6):1343-1347
The thermodynamic stability of4He4–13 at 3.2 K is investigated with the classical Monte Carlo method, with the semiclassical path-integral Monte Carlo (PIMC) method, and with the semiclassical all-order many-body method. In the all-order many-body simulation the dipole-dipole approximation including short-range correction is used. The resulting stability plots are discussed and related to recent TOF experiments by Stephens and King. It is found that with classical Monte Carlo of course the characteristics of the measured mass spectrum cannot be resolved. With PIMC, switching on more and more quantum mechanics. by raising the number of virtual time steps results in more structure in the stability plot, but this did not lead to sufficient agreement with the TOF experiment. Only the all-order many-body method resolved the characteristic structures of the measured mass spectrum, including magic numbers. The result shows the influence of quantum statistics and quantum mechanics on the stability of small neutral helium clusters. 相似文献
49.
50.
圆管层流脉冲流动对流换热数值分析 总被引:3,自引:0,他引:3
对等热流和等壁温边界条件下圆管内层流脉冲流动对流换热问题进行了数值模拟。在等热流边界条件下的数值计算结果与理论解吻合很好。计算结果表明:在等热流和等壁温边界下脉冲流动可引起速度、温度以及努塞尔数随时间波动,振幅越大,脉冲频率越小,波动越大。但它们的时均值均等于在相同雷诺数下稳态流动的值,脉冲流动不能强化换热。 相似文献