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51.
使用高真空电子束蒸发在p型Si(1 0 0 )衬底上制备了高kHfO2 薄膜 .俄歇电子能谱证实薄膜组分符合化学配比 ;x射线衍射测量表明刚沉积的薄膜是近非晶的 ,高温退火后发生部分晶化 ;原子力显微镜和扫描电子显微镜检测显示在高温退火前后薄膜均具有相当平整的表面 ,表明薄膜具有优良的热稳定性 ;椭偏测得在 6 0 0nm处薄膜折射率为 2 0 9;电容 电压测试得到的薄膜介电常数为 1 9.这些特性表明高真空电子束蒸发是一种很有希望的制备作为栅介质的HfO2 薄膜的方法 相似文献
52.
用改进的离子束增强沉积方法和恰当的退火从V2O5粉末直接制备了VO2多晶薄膜.实验测试表明,薄膜的取向单一、相变特性显著、结构致密、界面结合牢固、工艺性能良好,薄膜的电阻温度系数(TCR)最高可达4.23%/K.从成膜机理出发,较详细地讨论了离子束增强沉积 VO2多晶薄膜的TCR高于VOx薄膜的TCR的原因.分析认为,单一取向的VO2结构使薄膜晶粒具有较高的电导激活能,致密的薄膜结构减少了氧空位和晶界宽度,使离子束增强沉积 VO2多晶薄膜结构比其他方法制备的VOx薄膜更接近于单晶VO2是其具有高TCR的原
关键词:
VO2多晶薄膜
离子束增强沉积
热电阻温度系数 相似文献
53.
54.
在等离子体增强化学气相淀积系统中,采用aSi:H层淀积和原位等离子体氧化相结合的逐层生长技术制备了aSi:H/SiO_2多层膜.在激光诱导限制结晶原理基础上,使用KrF准分子脉冲激光为辐照源,对aSi:H/SiO_2多层膜进行辐照,使纳米级厚度的aSi:H子层晶化.Raman散射谱和电子衍射谱的结果表明,经过激光辐照后纳米Si颗粒在原始的aSi:H子层内形成,晶粒尺寸可以根据aSi:H层的厚度精确控制.还研究了样品的光致发光(PL)特性以及激光辐照能量密度对PL性质的影响.
关键词:
脉冲激光
多层膜
限制结晶 相似文献
55.
56.
57.
提出了一种新的高功率宽带放大器,它由速调管和自由电子脉塞组成,用永久周期磁铁聚焦。研究了这种器件的电子束聚焦、群聚和辐射。在速调管提供一阶调制系数为30%,波导管的半径1.51cm,摇摆器的磁场振幅0.16T,周期7.92cm,电子束的电压490kV,电流50A和半径0.368cm的条件下,预估这种器件的辐射波频率为11.4GHz,输出辐射功率为18MW,输出辐射带宽为44%。 相似文献
58.
Introduction In the previous studies on the oxidation reaction,peroxydisulfate was widely used as an oxidizingagent.1-5 One of the advantages of this oxidant lies in itsstability in a wide range of pH values. The reaction be-tween Fe(CN)5L3- (L=N-aromatic heterocyclic li-gands) and S2O8 2- has been proved to proceed throughan outer-sphere electron transfer mechanism.5 For a re-action [(Eq. (1)] to be under an outer-sphere mechanismthe steps involved are the formation of a reactant … 相似文献
59.
Mari Grobbelaar‐Van Dalsen 《Mathematical Methods in the Applied Sciences》2004,27(11):1301-1315
This paper is concerned with well‐posedness results for a mathematical model for the transversal vibrations of a two‐dimensional hybrid elastic structure consisting of a rectangular Reissner–Mindlin plate with a Timoshenko beam attached to its free edge. The model incorporates linear dynamic feedback controls along the interface between the plate and the beam. Classical semigroup methods are employed to show the unique solvability of the coupled initial‐boundary‐value problem. We also show that the energy associated with the system exhibits the property of strong stability. Copyright © 2004 John Wiley & Sons, Ltd. 相似文献
60.
In this article we prove the existence of the solution to the mixed problem for Euler–Bernoulli beam equation with memory term. The existence is proved by means of the Faedo–Galerkin method and the exponential decay is obtained by making use of the multiplier technique combined with integral inequalities due to Komornik. Copyright © 2004 John Wiley & Sons, Ltd. 相似文献