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121.
122.
光纤白光干涉法与膜厚纳米测量新技术研究 总被引:3,自引:3,他引:3
运用薄膜光学干涉原理、光纤技术和干涉光谱分析技术,用光纤反射式干涉光谱仪(Reflectromic Interference Spectroscopy)直接测试宽带入射光在单晶硅表面超薄SiO2膜层前后界面反射形成的干涉光谱曲线,并用专业软件对被测光谱信号数据处理后,可直接用公式准确计算出SiO2氧化膜的厚度和光学折射率通过对单晶硅片表面超薄SiO2氧化膜的实测,并与成熟的椭圆偏振仪测试结果相比,测试误差≤2nm但该方法测试简单、快速,精度高,不需要制定仪器曲线和数表,可对薄膜任意位置的厚度在线测试经过对不同厚度聚苯乙烯薄膜的厚度测试表明,该方法适合0.5~20μm薄膜厚度的精确在线测量,测量误差小于7nm. 相似文献
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电子离子碰撞激发速率系数在超组态碰撞辐射模型中真实模拟非局域热动力学平衡Au激光等离子体M带谱 5f 3d跃迁中各种复杂电荷态离子的电离态特性 (譬如离子的平均电离度 ,相对丰度和能级布居数 )是必不可少的。基于准相对论多组态Hartree Fock方法和扭曲波玻恩交换近似 ,采用自编的扭曲波程序ACDW (9)和Fit(9) ,从头计算了Au等离子体M带 5f 3d电子离子碰撞激发速率系数。结果表明 :在“神光II”实验装置诊断的电子温度约 2keV ,电子密度约 6× 10 2 1cm-3 范围内 ,这些电子离子碰撞激发参数有利于采用超组态碰撞辐射模型模拟Au的激光等离子体M带 5f~ 3d细致谱的平均电离度和电荷态分布。 相似文献
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125.
为了能够精确地完成对大口径高陡度非球面在细磨和抛光过程中的测量,提出了一种将子孔径拼接技术和补偿技术相结合的检测方法。介绍了该方法的基本原理,建立了合理的数学模型,编制了拼接计算软件。利用该方法对一外形尺寸为400 mm×300 mm的高次离轴非球面进行了测试,通过最小二乘法拟合消去各子孔径相对基准子孔径的调整误差以及整个系统的装调定位误差,得到了准确的全孔径面形分布。对实验精度和误差来源进行了分析,并将拼接面形与全孔径测量面形相对比,二者是一致的。 相似文献
126.
Health of ancient artworks must be routinely monitored for their adequate preservation. Faults in these artworks may develop over time and must be identified as precisely as possible. The classical acoustic testing techniques, being invasive, risk causing permanent damage during periodic inspections. Infrared thermometry offers a promising solution to map faults in artworks. It involves heating the artwork and recording its thermal response using infrared camera. A novel strategy based on pseudo-random binary excitation principle is used in this work to suppress the risks associated with prolonged heating. The objective of this work is to develop an automatic scheme for detecting faults in the captured images. An efficient scheme based on wavelet based subspace decomposition is developed which favors identification of, the otherwise invisible, weaker faults. Two major problems addressed in this work are the selection of the optimal wavelet basis and the subspace level selection. A novel criterion based on regional mutual information is proposed for the latter. The approach is successfully tested on a laboratory based sample as well as real artworks. A new contrast enhancement metric is developed to demonstrate the quantitative efficiency of the algorithm. The algorithm is successfully deployed for both laboratory based and real artworks. 相似文献
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作为零位干涉检测方法中非常有前途的一种方法.计算全息可以用于非旋转对称的非球面的检测.以三次相位板为例,阐述了利用计算全息图检测非旋转对称的非球面的基本原理.分析并推导了三次相位传播过程引入的高阶波像差的理论公式,给出了三次相位板的检测系统的没计结果.详细讨论了计算全息图衍射级次的分离以及计算全息图的二元化,给出了振幅型的计算全息图的图样.计算全息图的刻线最小问隔是40μm,计算全息图的制作精度对检测结果的波前误差的影响仅仅为0.005λ.对检测系统作了详细的公差分析,结果表明所有调整公差对整个检测系统的影响和方根值为83.954 nm. 相似文献
129.
I. Richterová J. Pavlu Z. Němeček J. Šafránková 《The European Physical Journal D - Atomic, Molecular, Optical and Plasma Physics》2008,48(3):375-381
Dust grains – objects of different shapes with a size distribution from micro to nanometers – are generally considered as
a part of many space as well as laboratory plasmas. Among various dust charging processes, electron-induced secondary emission
plays an important role in plasmas containing a noteworthy portion of high-energy electrons. Since a part of secondary electrons
has not the energy high enough to overcome the surface potential barrier, the resulting
grain charge is determined not only by the secondary emission yield (related to the grain material and size) but also by the
secondary electron spectrum. We have developed a model of secondary electron emission from small dust grains. In the present
contribution, we discuss the profile of a secondary emission yield that can be received from the model and the measured equilibrium
grain charge, both as functions of an incident electron beam energy. A comparison of these quantities leads to an estimation
of secondary electron spectra. We have found that: (1) the energy spectrum of secondary electrons does not change with the
energy of primary electrons and (2) the energy spectrum depends on the target material being harder for gold and silver than
for glass grains. 相似文献
130.
低轨道空间微小碎片密度相对较高,对太阳电池等大面积暴露材料的累积撞击损伤效应是航天器设计中应考虑的主要问题之一.以典型的太阳同步轨道为例分析和计算了太阳电池表面所遭遇的微小碎片通量,进行了微小碎片的撞击损伤模拟实验,并建立了撞击损伤方程.根据碎片通量分布及撞击损伤方程计算了微小碎片的超高速撞击所产生的太阳电池表面的面积损伤率,通过光学透射率的实验测试并结合理论模型,对碎片导致的太阳电池光学透射率衰减进行了计算和分析.结果表明,10a累积撞击导致的太阳电池表面的面积损伤率平均约为0.61%,严重时达到2.3
关键词:
微小碎片
超高速撞击
太阳电池
玻璃盖片 相似文献