抛光垫特性及其对300mm晶圆铜化学机械抛光效果的影响研究

利用扫描电子显微镜和接触式表面形貌仪分析了IC1000/Suba-IV和IC1010两种商用抛光垫的主要特性,并通过自行研制的超低压力化学机械抛光(CMP)试验机、四探针测试仪和三维白光干涉仪等研究了这两种抛光垫对300 mm晶圆铜互连的CMP材料去除率、片内非均匀性、碟形凹陷和腐蚀的影响规律.结果表明:IC1010比IC1000的硬度低、压缩率高、粗糙度大,IC1000为网格状沟槽、沟槽较宽、分布较稀,IC1010为同心圆沟槽、沟槽较细、分布较密;相同条件下IC1010比IC1000的材料去除率大、片内非均匀性好;在相同线宽下IC1000与IC1010的腐蚀几乎一致,IC1010的碟形凹陷比IC1000的略大.     

江陵凹陷新沟咀组下段砂岩次生孔隙成因及有利次生孔隙分布区预测

中—深部砂岩储集空间主要是次生孔隙,其在纵横向上的分布具有非均质性,有机质热演化过程中产生的有机酸对次生孔隙的分布有重要的控制和影响.该文通过对铸体薄片、扫描电镜、阴极发光、物性、碳酸盐含量等多方面资料研究,探讨了次生孔隙带的发育规律,并对该区有利次生孔隙发育区进行了预测,得出荆州背斜带与南部生油洼陷之间的过渡带为次生孔隙最有利发育区,为储层评价提供了有利依据.     

调谐耦合场作用下的无反转光放大

 讨论了调谐耦合场作用下的Λ型三能级系统中的无反转光放大（AWI）现象,调谐耦合场同时激励两个基态精细结构能级与激发态能级之间的跃迁,使系统同时呈现电磁诱导透明（EIT）和自发诱导相干凹陷两种特性,而且当调节这个耦合场的频率失谐量在某一特定范围时,系统会在EIT信号上叠加出现AWI现象。研究结果表明：该系统中EIT和自发诱导相干凹陷之间存在能量转移现象,当EIT上出现AWI现象时,虽然激发态能级与基态能级之间没有出现粒子数反转,但是两个基态精细结构能级之间出现了粒子数反转。     

用于极寒温度的特种光纤的结构与弯曲损耗研究

设计了一种适用于极寒温度(-70℃)条件的耐低温的特种光纤,其结构包括纤芯层、内包层、凹陷包层和外包层.研究了光纤芯层/内包层的相对折射率差与弯曲损耗之间的关系,对比了不同涂覆层模量厚度和对光纤微弯损耗的影响.优化光纤拉丝工艺,获得了一种可长期应用于-70℃极寒温度下,在1 550nm、1 625nm波段处附加损耗低于0.01dB/km的石英光纤.本文研究工作为耐极寒光纤、光纤复合架空地线的制备及产业化提供了可靠的理论与实验依据.     

碟形弹簧特性曲线非线性有限元计算

本文利用有限单元法,在改进加载方法的前提下,详细计算了多种碟形弹簧的非线性特性曲线,得到了与精确解和实验值符合得非常好的精度很高的结果．     

四波混频过程中差频与和频的竞争研究

在以惰性气体Xe为非线形介质,利用双光子共振四波混频差频(2PR4WDM,ω-=2ωUV-ωT)技术,产生可调谐相干真空紫外激光(VUV)的实验中,观察到产生的VUV在一些特定波长附近出现共振衰减.这些波长对应着伴随过程四波混频和频的双共振增强.对四波混频过程进行了比较粗略的定量的处理,考虑到泵浦光在传播途中的衰减,得到的结论能很好地解释观察到的差频输出的衰减现象,差频输出的衰减是由于双共振四波混频和频(ω+=2ωUV+ωT)与差频竞争的结果.     

三臂九链碟形液晶的合成与相结构表征

碟形液晶的出现使得热致性液晶能够产生“柱状”液晶相的结构.该分子聚集的几何状态,可使液晶具有各向异性的物理性质。由此,许多功能性的液晶的设计,接踵而来ti.刀。对于.*通讯联系人化学通报1992年第,期热致性液晶来讲,分子的形状是决定形成特定液晶相结构的关键因素[3J。迄今,从分子的化学结构来确定其能     

三维油资源运移聚集的模拟和应用

盆地发育的运移聚集史数值模拟,其功能是重建油气盆地的运移聚集演化史,它对于油资源的勘探,确定油藏位置和计算油藏贮量,寻找新的油田,具有极其重要的价值.本文从地质科学实际出发,研究了三维问题的地质和渗流力学特征,提出二阶修正算子分裂隐式迭代格式,对着名油水运移聚集实验进行了数值模拟,结果基本吻合,并对胜利油田东营凹陷的实际问题进行数值模拟试验,结果和实际地质情况(油田位置等)基本吻合,成功解决了这一着名问题.     

改进GAC模型对深度凹陷、灰度不均匀和弱边界图像的分割方法

针对图像分割中经典GAC模型无法准确分割深度凹陷、灰度不均匀的目标和容易穿越弱边界的问题,提出了改进的GAC模型。利用图像Renyi熵、图像灰色关联度、图像的局部方差信息构造新能量函数,扩大经典GAC模型的边界检测能力。仿真结果表明,改进模型在减少分割时间的同时能够成功分割出目标深度凹陷部分,对弱边界、目标灰度不均匀或背景灰度不均匀也有较好的收敛效果,其分割效果不仅优于CV模型,也优于CV模型的两个最新改进模型(LBF和GACV)。     

相邻多个浅圆弧凹陷地形对平面SH波散射的级数解

本文采用解析法研究相邻多个线圆弧凹陷地形对平面SH波散射问题。文中由分离变量法把相邻多个圆弧凹陷对平面SH波的多重散射表示为各局部坐标中的级数之和,再利用Graf加法公式的内域和外域表达式进一步表示某个局部坐标中的双重无穷级数形式。问题最后可归结为求解一组无穷型的线性代数方程。文末给出了相邻两个等直径浅圆弧凹陷地形的多种深宽比对地面运动的影响的计算结果,并讨论了浅圆凹陷地形对波的屏蔽及它们之间的相互作用。