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以CF4和C6H6的混合气体作为气源,在微波电子回旋共振化学气相沉积(ECRCVD)装置中制备了氟化非晶碳薄膜(aC:F),并在N2气氛中作了退火处理以考察其热稳定性.通过傅里叶变换红外吸收谱和紫外可见光谱获得了薄膜中CC双键的相对含量和光学带隙,发现膜中CC键含量与光学带隙之间存在着密切的关联,在高微波功率下沉积的氟化非晶碳膜具有低的光学带隙和较好的热稳定性.
关键词:
氟化非晶碳膜
光学带隙
退火温度
热稳定性 相似文献
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碳纳米管(Carbon Nanotubes,CNTs)场发射平面显示器(Field Emission Display,FED)与其他显示器比较显示了其独特优点,被认为是未来理想的平面显示器之一。碳纳米管阴极作为器件的核心部分,其性能的好坏直接影响显示器的性能。针对30~60英寸(76.2~152.4cm)大屏幕显示器所用的厚膜工艺,即采用丝网印刷法制备了碳纳米管阴极阵列,研究了化学气相沉积法在不同温度下生长的CNTs的场发射电流-电压特性,找到了适合FED用碳纳米管的最佳生长温度。结果表明生长温度越高(750℃),CNTs场发射性能越好。并用荧光粉阳极测试这些CNTs的场发射发光显示效果,验证了上述结论。 相似文献
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用经验赝势方法计算了体ZnSe以及ZnSe/GaAs单异质结系统中ZnSe外延层г、X、L等特殊对称点导带底能量随压力的变化。结果表明,同Si、Ge、GaAs等半导体材料不同,ZnSe的X点导带底具有正的压力系数,但比г点的压力系数小,这是ZnSe材料以及ZnSe基异质结构材料发生直接禁带向间接禁带的转变时所需转变压力较大的根本原因。研究了ZnSe/GaAs异质结构中晶格失配造成的应变对外延层г、X、L对称点压力系数的影响,表明这种晶格失配造成的应变可以极大地减小ZnSe外延层材料由直接禁带向间接禁带的转变压力。 相似文献
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实现雷达和红外融合跟踪的基本思路是:首先提取红外成像的目标质心并将其转换到惯性坐标系:然后用最小二乘规则对红外传感器的冗余角度数据进行压缩,以产生在时间上和雷达测量对准的伪角度测量:再通过加权平均的方法分别与雷达的方位角和俯仰角测量进行融合处理,以得到同步数据融合估计。采用了由拉格朗日算法所求得的约束极值作为权系数,使用扩展的卡尔曼滤波方法设计跟踪滤波器,将基于雷达和红外融合得到的数据用于更新滤波器的目标状态。 相似文献
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We investigate the structural properties of liquid Sn. With the help of the internal friction (tanФ) method, it is found that a peak appears in the tan Ф - T curve, suggesting that an anomalous discontinuous temperatureinduced structure change may take place in liquid Sn. From the experimental data of pair distribution functions, we calculate the viscosity η and the excess entropy S and it is found that there are a peak of viscosity in the η-T curve and a bend of excess entropy in the S - T curve, which give a positive support to the appearance of the internal-friction peak in the tan Ф- T curve. 相似文献