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对不同的本底真空条件下,采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术沉积的氢化微晶硅(μc_Si∶H)薄膜中的氧污染问题进行了比较研究.对不同氧污染条件下制备的薄膜样品的x射线光电子能谱与傅里叶变换红外吸收光谱测量结果表明:μc_Si∶H薄膜中,氧以Si—O,O—O和O—H三种不同的键合模式存在,不同的键合模式源自不同的物理机理.μc_Si∶H薄膜的Raman光谱、电导率与激活能的测量结果进一步显示:沉积过程中氧污染程度的不同,对μc_Si∶H薄膜的结构特性与电学特性产生显著影响;而不同氧污染对μc_Si∶H薄膜电学特性的影响不同于氢化非晶硅(a_Si:H)薄膜.
关键词:
氢化微晶硅薄膜
甚高频等离子体增强化学气相沉积
氧污染 相似文献
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Bush连续不可微函数的分形性质 总被引:1,自引:0,他引:1
本文对用递推关系确定的Bush连续不可微函数,找出了迭代函数系(IFS),从而得到它的级数表达式和所具有的自仿射分形的有关性质.最后还计算出函数图象的Hausdorff 维数的准确值. 相似文献
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复方单硝酸异山梨酯-阿司匹林双缓释微丸胶囊的研制(Ⅱ) 总被引:2,自引:0,他引:2
以乙基纤维素、丙烯酸树脂Ⅱ和丙烯酸树脂Ⅲ为骨架材料分别制备单硝酸异山梨酯和阿司匹林混合骨架缓释微丸,并通过包薄膜衣进一步控制药物的释放。通过测定微丸的释放度对处方工艺进行评价,选择最佳微丸灌装胶囊.胶囊中两种药物均达到良好的缓释效果。符合中国药典对缓释制剂的要求.其体外释放过程同时符合Higuchi方程和一级释药方程,R^2值均在0.995以上。 相似文献
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微裂纹扩展中的分形现象及其计算机仿真 总被引:1,自引:0,他引:1
本文探讨了采用仿真技术研究微裂纹连接过程和生成分形断口表面的可行性,发展了用于仿真微裂纹随机生长行为的GO模型的基本构相,并进行了计算机仿真实验,由此得出了一此有的结论。 相似文献
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