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介绍了直线型变压器驱动源(LTD)产生快脉冲的基本原理及技术优势,阐述了快脉冲LTD模块设计的要点,设计了输出脉冲上升时间小于100 ns的快脉冲LTD模块,并进行了初步的实验研究。实验得到该LTD模块充电±16 kV时,短路放电的电流峰值为23.7 kA,电流振荡1/4周期为69.6 ns;充电±50 kV驱动0.85 Ω负载时,电流峰值为41.4 kA,上升时间为36.8 ns(10%~90%)和60.8 ns(0~100%)。 相似文献
162.
163.
在纳米印章技术中,为克服电子束刻蚀制备50nm以下线条的技术难点,利用等离子增强化学 气相沉积技术制备了a-Si/SiNx多层膜,再利用选择性湿法腐蚀或干法腐蚀在横 截面上制备出浮雕型一维纳米级模板. 多层膜子层之间界面清晰陡峭,可以在纳米量级对子 层厚度进行控制,得到了侧壁在纳米尺度上平滑的模板. 通过控制多层膜子层的生长时间, 制备出线条宽度和槽状宽度均为20nm的等间距模板,品质优于电子束刻蚀技术制备的模板.
关键词:
纳米印章模板
多层膜生长技术 相似文献
164.
横向激励大气压(transversely excited atmospheric,TEA)CO2激光器的放电稳定性是决定该类型激光器应用效果的关键因素。通过对采用电感充放电电路的紫外预电离激光器的实验研究,得到了激光器放电动态过程的规律,并发现残余振荡是主放电后发生弧光放电的主要原因。实验中采用不同配比的气体,并对电感充放电电路与改进后的硅堆充放电电路进行了比较。实验结果表明:增加充电电感值可以降低主放电结束后储能电容上的残余电压;而采用硅堆放电电路在主放电后仅有相对幅值很低的稳定残压,两种方案都大幅度抑制了弧光放电的形成,有效地提高了激光单脉冲能量。 相似文献
165.
将心磁信号从干扰噪声中加以提取并有效地消除噪声干扰是心磁信号处理中尤为重要的环节 .从改进算法的角度出发,提出互补型自适应滤波器结构以实现心磁信号的消噪处理.该滤波器针对心磁这类非平稳信号进行设计,有效地解决了常规自适应滤波器应用于心磁信号处理时收敛速度和稳态误差的矛盾.通过仿真实验和心磁实验结果表明,该算法能有效地消除心磁信号的背景噪声和工频干扰噪声.同时该算法也可用于其他非平稳信号的消噪处理.
关键词:
自适应滤波
心磁图
最小均方误差 相似文献
166.
167.
168.
Random thickness error is an important factor which effects the calibration accuracies of deposition rates for extreme ultraviolet (EUV) multilayer coatings fabricated by sputter deposition techniques. A least square fitting method is proposed to determine deposition rates and extract random thickness errors accurately. The validity of this method is shown by evaluating two deposition systems with control abilities of -0.1 nm and better than 0.01 nm respectively. 相似文献
169.
Based on the photothermal detuning technique, the three linear relations among reflectance (or trans- mittance), temperature rise, and pump beam power are studied to achieve the absolute measurement of absorption loss. The relation between temperature and reflectance and the calculation accuracy of tem- perature rise on sample surface have great impacts on the measured result. The influences of parameters involved in the method and the relation between temperature and reflectance and the temperature model of sample surface are also studied. The results show that the absolute absorption loss of optical coatings can be achieved by the proposed method. The measurement accuracy depends on the temperature model and the relation between temperature and reflectance. The linear relation between reflectance and temper- ature rise has largest slope when probe beam wavelength is 632.8 nm and incident angle is 28°. The linear relation slope between temperature rise and pump beam power decreases with the growing of beam size and modulation frequency. The results provide theoretical and experimental supports for the perfection and further application of the photothermal detuning technique. 相似文献