非平行光干涉照明显微镜三维形貌检测研究

为实现表面微观形貌快速而较简单的检测, 一种使用非平行光干涉照明的光学显微三维形貌检测方法被提出。该方法使用空间光调制器对激光光束进行衍射, 选取光强相近的2个衍射级通过显微物镜, 双光束干涉可得到周期接近图像分辨率、相位可精确调节的照明条纹, 被测样本的三维形貌可通过拍摄4帧等相位差的条纹照明图像来计算得到。该方法不需借助干涉物镜产生条纹, 不需要轴向扫描装置记录条纹变化, 相位调节精确, 成像直观。此外, 该方法所产生干涉条纹的相位随坐标线性变化, 不需对条纹周期进行修正。因为照明条纹参数调节光路独立于显微成像光路, 系统装置具有光路简洁、易于调节的优点。为验证所提出三维检测精度, 以粗糙度100 nm的粗糙度对比模块和硅片为被测样品进行了三维轮廓重建实验, 实验结果显示, 所提出方法轴向重复性测量精度为8.6 nm(2σ)。     

严格渐进伪压缩映象之修正型Mann迭代算法的强收敛性

本文利用CQ方法获得了k-严格渐进伪压缩映象修正型迭代算法的强收敛结果.此结果推广并改进了T.H.Kim和徐洪坤2006年获得的相应的一主要结果.即,从渐进非扩张映象推广到k-严格渐进伪压缩映象,并且去掉了闭凸子集C的有界性假设条件.     

投影学习二、三例

投影与视图是新课程增加的重要内容,学好投影是进一步学好视图的基础.投影分为平行投影和中心投影两类,而学好投影的关键是搞清两者之间的区别.一、基础知识速览1.平行投影:由平行光线形成的投影.现     

采用微分求积法分析薄板的气动弹性响应

为减轻结构重量，新一代飞行器的结构设计中更多地采用了薄壁结构，在超音速或超高音速飞行条件下，薄板的气动弹性响应相当剧烈。分析薄板的气动弹性响应方法主要有两类：第一类为经典的伽辽金方法；第二类为有限元方法。受薄板形状和边界条件的限制，伽辽金方法能够研究的问题是非常有限的，有限元方法虽然具有普适性，但本质上属于数值方法，其计算精度和收敛性必将受所选单元类型以及数值计算误差的影响。在薄板的气动弹性分析领域，文中采用一种全新的方法，即微分求积方法。     

193nm光刻曝光系统的现状及发展

投影曝光工艺是集成电路制造过程中的关键环节，曝光系统的工艺水平已成为衡量微电子制造技术的重要标志。重点介绍了目前193nm光刻设备曝光系统的发展现状和趋势，以及为提高曝光质量所采用的相关分辨率增强技术；通过分析曝光系统的构成和其中的关键技术，探讨了国内研制相关曝光设备所面临的挑战。     

一类全局收敛的共轭投影梯度法及其超线性收敛性

一类全局收敛的共轭投影梯度法及其超线性收敛性时贞军（曲阜师范大学运筹学研究所）ＡＣＬＡＳＳＯＦＧＬＯＢＡＬＣＯＮＶＥＲＧＥＮＴＣＯＮＪＵＧＡＴＥＰＲＯＪＥＣＴＩＯＮＧＲＡＤＩＥＮＴＭＥＴＨＯＤＡＮＤＩＴＳＳＵＰＥＲＬＩＮＥＡＲＣＯＮＶＥＲＧＥＮＣＥＲ...     

解线性不等式的神经网络

本文提出两个解线性不等式的Hopfiedl-Tank型的神经网络。第一个网络模拟同时松弛投影方法，第二个网络是二次规划方法。当线性不等式的解集非空时，这两个方法都给出该线性不等式的解。同时我们还给出了这两个网络的数值模拟。     

非线性抛物型问题Galerkin逼近的整体超收敛性

假定Ω可以被剖分成满足逆性质的矩形网格T_h,剖分单元τ的最大直径为h,在T_h上构造连续的分片多项式空间     

NOETHERIAN GR-REGULAR RINGS ARE REGULAR

It is proved that for a left Noetherian z-graded ring A,if every finitely generated graded A-module has finite projective dimension(i.e-,A is gr-regular)then every finitely generated A-module has finite projective dimension(i.e.,A is regular).Some applications of this result to filtered rings and some classical cases are also given.