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随着光刻特征尺寸的不断减小,硅片表面不平度对光刻性能的影响越来越显著.该文提出了一种新的硅片表面不平度的原位检测技术本文在分析特殊测试标记成像规律的基础上,讨论了测试标记的对准位置偏移量与硅片表面起伏高度的变化规律,提出了一种新的硅片表面不平度原位检测技术.实验表明,该技术可实现硅片表面不平度及硅片表面形貌的高准确度原位测量.该技术考虑了光刻机承片台吸附力的非均匀性对硅片表面不平度的影响,更真实反映曝光工作状态下的硅片表面不平度大小.与现有的原位检测方法相比,硅片表面不平度的测量空间分辨率提高了1.67%倍,可实现硅片表面形貌的原位检测. 相似文献
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Tomohiro Takano Chutiparn Lertvachirapaiboon Yasuo Ohdaira Akira Baba Keizo Kato 《Molecular Crystals and Liquid Crystals》2019,685(1):93-99
AbstractGas sensing by using the transmission surface plasmon resonance (T-SPR) technique was demonstrated. Polyacrylic acid (PAA)/5-nm-thick gold/40-nm-thick silver/polycarbonate grating substrate structure (Sensor A) responded to ammonia; however, it exhibited a strong humidity dependence. Polyvinyl alcohol (PVA)/5-nm-thick gold/40-nm-thick silver/polycarbonate grating substrate structure (Sensor B) as the sensing material was also prepared and it mainly responded to humidity. The T-SPR properties of Sensors A and B were observed simultaneously by a stacking arrangement that enabled us to obtain the responses by using a single spectrophotometer. The ammonia concentration under various humidity conditions could be accurately obtained by simultaneous measurement of Sensors A and B. 相似文献
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对亚式期权在CEV模型和B-P混合驱动模型限制下进行Monte Carlo模拟定价,建立风险中性测度,模拟出不同弹性因子值下资产价格路径.为了得出优于标准的Monte Carlo模拟,应用方差缩减技术来提高期权定价的精度.最后对亚式期权定价模型进行数值案例分析,得出弹性因子取值、时间步长、模拟次数与期权价值变化的关系. 相似文献
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悬浮液进样石墨炉原子吸收测定钒钛磁铁矿中痕量镍 总被引:3,自引:0,他引:3
样品粒度不超过38μm,以20%乙醇-1%硝酸水溶液为介质,用与样品基体类似的一种标准矿样进行校正,可消除基体效应。样品浓度不超过73mg/10ml,含镍0-350ng.ml^-1范围内呈良好线性关系。 相似文献
87.
平面应力条件下闭合断续节理岩体力学特性试验研究 总被引:4,自引:0,他引:4
通过平面应力条件下闭合断续节理岩体的破坏试验,采用自行研制的高压柔性加载装置施加垂向和侧向荷载,用千分表和激光散斑照相技术量测试体位移场,用应变花量测试体平面应力场. 结果表明,激光散斑法用于测定闭合断续节理岩体的位移场效果良好,其测值比对应点千分表测值偏小14% 左右.据所测得的位移场和应力场,研究了裂纹尖端应力场的演变及裂纹扩展的路径,分析了试体的变形和破坏特征,测定了翼裂纹初裂角,探讨了试体的破坏机理. 相似文献
88.
89.
90.
同伦分析方法:一种新的求解非线性问题的近似解析方法 总被引:9,自引:0,他引:9
本文描述了一种称为“同伦分析方法”(HAM)的新的求解非线性问题的近似解析方法之基本思想·不同于摄动展开方法,“同伦分析方法”的有效性不依赖于所研究的非线性方程中是否含有小参数·因此,该方法提供了一个强有力的分析非线性问题的新工具·作为示例,我们应用一个典型的非线性问题来说明该方法的有效性及其巨大潜力· 相似文献