深紫外光刻照明系统扩束单元设计

在曝光线宽为90nm的投影光刻机中,准分子激光光源发出的矩形截面光束,需要进行一维扩束,以获得光束整形单元所需的正方形截面分布。现有的这类扩束单元分别存在严重的相干散斑效应和严格的装调公差等不足。基于此,提出了多组元平行反射扩束镜组。通过求解各组元透射率值的线性方程组,得到若干种扩束单元结构,其中的四组元扩束单元每个组元只有一种透射率,有效降低了镀膜的工艺成本。分别从公差分析、系统透射率和出射光束均匀性等方面对各类扩束单元结构进行综合比较,并通过建模仿真,验证了设计的四组元扩束单元的散斑效应和装调公差灵敏度都明显降低,而且出射光束较均匀,有利于提高照明均匀性。     

新型固态照明用发光材料Ca3SiO4Br2:Eu2+的合成、结构与发光性能

制备了一种Eu2+掺杂的新型Ca3SiO4Br2蓝色发光材料,详细研究了其晶体结构组成.采用助熔剂法生长出Ca3SiO4Br2片状单晶,解析并证实该晶体为Ca3SiO4Br2,其结构基元中存在交替排列的Ca2SiO4和CaBr2层.荧光光谱测试表明:Ca3 SiO4Br2:Eu2+材料可被近紫外光( 300～ 430 ...     

神光Ⅲ主机通用诊断搭载平台的研制

 神光Ⅲ主机通用诊断搭载平台提供各种诊断系统送进和收回的搭载功能,便于诊断系统的拆装和维护保养,同时提供精确的径向、指向瞄准能力,能将诊断系统送至靶室内指定位置,并且能在不破坏靶室真空的状态下安装、调试和维护诊断系统。将通用诊断搭载平台安装在神光Ⅲ原型装置上进行精度检测,得到其真空状态下的径向、X和Y方向指向定位精度分别为36,13,8 μm,全行程的径向复位精度、X和Y方向指向复位精度分别达到20,30,12 μm。搭载分幅相机诊断包进行激光打靶考核,实验结果表明:其指向瞄准精度、真空性能、接口等均满足使用要求,并具备了对抗强电磁干扰与辐射的能力。     

Tunable rectangular array illuminator in periodically poled LiNb03 crystal

An electro-optic tunable rectangular array illuminator in one-dimensional periodically poled LiNbO3 （PPLN） crystal is presented experimentally which result is in good agreement with results from simu- lation. The illuminator is formed based on the Talbot self-imaging effect by applying an electric field on PPLN. The intensi~.y distribution of rectangular array could be precisely modulated. Compared with other array illuminators, this tunable illuminator uses a lower voltage and could get a more concentrated intensity distribution. The influence of the incident angle to the self-imaging patterns is studied for the first time.     

基于LightTools的PCB曝光机照明系统设计与研究

随着电子行业的迅速发展,对作为电子元器件基本构件的印制板的需求量及其加工精度的要求越来越高。紫外线曝光机是印制板制造工艺中的重要设备,光学曝光过程中对光照均匀性的要求很高。基于照明设计软件LightTools,设计了一种新的曝光机照明系统。通过大量的仿真模拟对系统进行优化。实验表明,优化后的照明系统设计使得光照度的均匀性在原来的基础上提高了8倍,在有效的视场范围内,光强分布均匀稳定,达到了PCB曝光机照明系统的要求。     

航空可见光相机成像质量影响因素分析

利用美国国家图像解译力标准NIIRS和通用图像质量方程GIQE分析了影响可见光相机图像质量的各种因素。以"全球鹰"无人侦察机所装载的电光相机为例,模拟计算了成像高度、成像角度、光学系统焦距、探测器间距、归一化相对边缘响应几何平均值、噪声增益及信噪比对成像质量的影响。研究结果能够为可见光成像任务规划,航空可见光相机设计提供基础理论支撑。     

基于GPRS和ZigBee的节能型LED路灯智能控制系统

针对现有城市路灯控制系统路灯使用寿命短、无法远程操控、不能自动识别故障路灯的问题,提出一种基于GPRS网络技术和ZigBee无线通信技术的节能型LED路灯智能控制系统,使用ZigBee无线网络与LED路灯控制终端通信,并通过GPRS通讯模块接入GPRS网络与远程控制中心相连,实现远程控制LED路灯,此外,通过LED路灯控制终端实时采集路灯电压和电流,实现LED路灯的远程监控。具体阐述了GPRS通讯模块、ZigBee无线网络模块、LED控制终端的硬件设计方案,软件设计流程,系统通信协议和远程控制实现方法。测试结果证明此系统数据传输可靠、响应及时、成本低、易于实现LED路灯的远程控制和远程监控,具有较大的实用性和推广价值。     

光机部件通用测控平台研究与构建

成像光机部件采用了许多全新的技术,研发测控系统以考核、测量与评估其各项性能指标也是重要课题,加之传统测控系统多是各型号自成一套,不能通用,在这种需求下,研发了具有系统化和通用化的测控平台;该测控平台按照通用化的设计思想,硬件部分设计了通用调理适配单元,对光机部件输出的信号进行统一调理适配,使信号具备标准的电气接口和物理接口,从而与通用集成板卡相连进行数据采集;软件部分设计了底层、逻辑层、表现层的层次结构,对于不同产品仅对表现层进行重新搭建而不需要修改底层和逻辑层;系统在实际应用中,图像和数据采集稳定,采样速率和精度高,实时性好,测控软件层次明确,数据吞吐量大,功能和性能满足多型光机部件的测控要求;该测控平台解决了成像光机部件的测试评估问题和测控系统的通用化问题,具有通用性和可扩展性强的特点。     

LED照亮世界——2014年度诺贝尔物理学奖介绍

三位科学家共享2014年诺贝尔物理奖,表彰他们发明蓝色发光二极管.这项发明引发了固体照明革命,LED正在照亮我们的世界,造福于全人类.本文追溯了氮化镓材料和蓝色发光二极管的发展历史,回顾了重要的历史事件.III簇氮化物是直接带隙半导体材料,发光范围紫外到红外,覆盖整个可见光区,是理想的光电器件材料.同时,具有优越的物理性质,在高温、高能、高频微波器件以及高压电子电力器件都有广泛的应用.     

不同光环境下暗适应及辨色能力的实验研究

为了研究船舶驾驶舱内光环境和仪表指示仪器颜色之间的识别关系,进行了暗适应和颜色辨识能力实验,并对实验结果进行了分析.结合我国船舶工业中对光环境及暗适应的处理,得出船舶驾驶员在不同光环境下对颜色辨识能力的关系.通过实验,以人对颜色的主观识别能力和光环境变化作为衡量指标,发现在满足暗适应条件的同时,对提高暗适应能力的红色白炽灯进行掺白光改造,并且对仪表指示器外涂颜色的亮度加以规定,可以使船舶驾驶员有效减少对仪器仪表的误判和误操作.