光刻机投影物镜的像差原位检测新技术

提出了一种新的光刻机投影物镜像差原位检测(AMF)技术。详细分析了该技术利用特殊测试标记检测投影物镜球差、像散、彗差的基本原理,论述了该技术利用对准位置坐标计算像差引起的成像位置偏移量的方法。实验结果表明AMF技术可实现球差、彗差、像散等像差参量的精确测量。AMF技术考虑了光刻胶等工艺因素对像差引起的成像位置偏移量的影响,有效避免了目前基于硅片曝光方式的彗差原位检测技术对离焦量、像面倾斜等像质参量限制的依赖。     

原位聚合阴离子交换型固相萃取（SPE）微柱

原位聚合阴离子交换型固相萃取（SPE）微柱;原位聚合;SPE微柱;分离富集     

TiNi合金表面原位热氧化膜的结构与光电性能的研究

采用AFM、XRD和EDS等手段,对TiNi合金在空气中、400—800℃下形成的氧化膜组织结构进行了分析,并对TiNi合金表面原位热氧化膜的光电性能进行了研究.结果表明,TiNi合金在空气中氧化原位形成的氧化膜的结构主要为金红石型二氧化钛,不同温度下生长的氧化膜存在择优取向;随着氧化温度的升高,所制备的TiO2/TiNi电极的稳态光电流和开路光电压随氧化温度的升高先增大后减小,在700℃所制备的TiO2/TiNi电极的稳态光电流最大.     

氨基安替比林分子原位烙印柱的制备及其水中结合性质的研究

实验采用原位聚合法以甲基丙烯酸(MAA)为功能单体,乙二醇二甲基丙烯酸酯(EDMA)为交联剂,偶氮二异丁扉(AIBN)为引发剂,正十二醇和甲苯为致孔剂直接在液相色谱柱中制备了氨基安替比林分子烙印柱．讨论了模板分子及其类似物在有机相和水相中的色谱行为及作用机理．实验表明,在水相中烙印柱具有很强的保留性能,氨基安替比林的保留因子可达到94．41．结果认为离子作用和疏水作用是使得氨基安替比林及类似物具有很强的保留性的重要原因,为研究模板聚合物的结合特性,采用前流分析法分别测定了氨基安替比林、氨基比林和安替比林在烙印柱上的吸附等温线．实验表明,分子烙印聚合物对烙印分子表现了较高的选择性,这和通过比较各物质在分子烙印柱和空白柱上保留因子所获得的结果一致．     

氯化原位接枝过程与聚合物高性能化

氯化原位接枝过程是一种基于自由基反应的改性聚合物新方法,经该方法改性的聚合物性能显著改变,充分展现了弱影响、强响应的特征。本文简述了氯化原位接枝反应过程、机理,剖析了氯化原位接枝产物的结构特征,并对各类接枝共聚产物结构与性能关系进行了归纳和总结。详细介绍了各类接枝产物的不同用途,例如用于热塑性弹性体、木板粘合剂、增韧改性剂、成膜涂料等。最后对氯化原位接枝过程更广泛的应用及今后的发展趋势进行了展望。     

基于硅基硼掺金刚石电极的电化学-原位核磁共振波谱电解池的设计、制备与可行性研究

电化学与核磁共振波谱联用技术(EC-NMR)可以实时监测电化学反应过程,从分子水平阐释反应机理,是一种非常有前景的无损在线检测技术.本文首次报道以硅基硼掺金刚石(Si/BDD)作为工作电极的原位EC-NMR三电极单室电解池的设计和制作.研究表明,由于尺寸12.5 mm×1.2 mm×0.5 mm的Si/BDD电极在核磁...     

原位反应烧结法制备MgAlON复合材料

实验原料选用高纯电熔镁砂(粒径3～1 mm);α-Al2O3(活性)微粉(粒径≤5μm);电熔镁铝尖晶石(粒径≤1mm);Al粉(粒径≤0.088 mm);化学纯MgO(粒径≤0.04 μ m)和少量的活性材料,氮化气氛下原位反应制备MgAlON复合材料,考察了氮化烧结后试样的常规性能、物相组成、显微结构.结果表明:1500℃下,氮化气氛中耐火基质料为Al-Al2O3-MgO系的混合粉可以通过原位反应制备MgAlON复合材料;骨料种类的不同,不影响MgAlON矿相的生成.且MgAl2O4-MgAlON材料的烧结性能及氮化效果较好,常温强度也较高.试样骨架结构是骨料大颗粒在烧结中形成的,骨架中填充着反应合成的MgAlON晶粒和骨料小颗粒,使得烧成后的试样内部结构致密;微晶结构以及晶须的存在有利于提高材料的常温力学性能.     

Fatigue damage behavior of a surface-mount electronic package under different cyclic applied loads

This paper studies and compares the effects of pull-pull and 3-point bending cyclic loadings on the mechanical fa- tigue damage behaviors of a solder joint in a surface-mount electronic package. The comparisons are based on experimental investigations using scanning electron microscopy （SEM） in-situ technology and nonlinear finite element modeling, respec- tively. The compared results indicate that there are different threshold levels of plastic strain for the initial damage of solder joints under two cyclic applied loads; meanwhile, fatigue crack initiation occurs at different locations, and the accumulation of equivalent plastic strain determines the trend and direction of fatigue crack propagation. In addition, simulation results of the fatigue damage process of solder joints considering a constitutive model of damage initiation criteria for ductile materials and damage evolution based on accumulating inelastic hysteresis energy are identical to the experimental results. The actual fatigue life of the solder joint is almost the same and demonstrates that the FE modeling used in this study can provide an accurate prediction of solder joint fatigue failure.     

烯烃氢甲酰化催化剂活性物种的原位~1H NMR研究

有机磷配位铐或钴联基配合物是生产难或醇的工业催化剂，一般公认金属氢化物是反应的催化活性物种．通常反应活性物种仅存在干反应状态下，其结构表征非常困难，在许多研究中只能关联催化剂母体与其活性的关系［‘1；而未能揭示出催化的本质，给催化剂设计造成很大困难，因而对催化剂活性物种的直接表征受到普遍关注．B。wn问、Morrista］及本文作者研究组＊均采用加压原位红外光谱方法，在烯烃氢甲酸化反应条件下捕捉到HCO（CO）3L存在的信息·但用相同方法在反应条件下，在RhH键特征吸收谱带195O－2200Cm‘内未观测到错氢化物的Rh－…     

磷酸锂原位包覆富锂锰基锂离子电池正极材料

本工作通过“碳酸盐共沉淀-沉淀转化-固相反应”方法,实现磷酸锂原位包覆和改性富锂锰基锂离子电池正极材料Li_1.2Mn_0.54Co_0.13Ni_0.13O₂,研究了磷酸锂包覆层的形成过程及其对电化学性能的影响.结果显示,碳酸盐前驱体经沉淀转化反应原位形成磷酸镍包覆层,与锂源混合煅烧,最终转化为厚度小于30 nm的磷酸锂包覆层.该材料组装的半电池在125 mAh·g^-1电流密度下循环175圈后容量达191.1 mAh·g^-1,容量保持率为81.8%,平均每圈电压衰减仅为1.09 mV.磷酸锂包覆层缓解了材料表面与电解液之间的副反应,抑制了不可逆相变和过渡金属溶出,同时磷酸锂作为锂离子导体促进锂离子传输.本工作表明沉淀转化法原位包覆磷酸锂是提升富锂锰基正极材料性能的有效途径.