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基于光纤传感技术和三角测量方法,提出了一种用于曲面检测的新型光纤三角传感器。根据所设计的轮辐式接收光纤结构,可以在测量曲面与传感头间位移时,首先获取被测点处微面元的倾斜信息,以便对传感器测量值进行实时误差修正,从而解决了被测表面倾斜对坐标测量带来的影响。该传感器还能有效地消除环境光干扰、光源波动、表面反射率变化等对测量带来的影响。建立了传感器测量的数学模型。理论分析和初步的实验结果证明了系统的有效性和实用性。该传感器系统不稳定性好于0.3%,横向分辨率好于8μm,高度分辨率好于0.1μm。 相似文献
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哈特曼夏克传感器的泽尼克模式波前复原误差 总被引:8,自引:4,他引:8
利用哈特曼-夏克传感器测量圆孔径内波像差时,通常使用泽尼模式复原算法。推导了一般情况下哈特曼-夏克传感器泽尼克模式波前复原误差的计算公式。用哈特曼-夏克传感器测量一个像差板的随机静态像差,通过与ZYGO干涉仪的测量结果比较,得到不同泽尼克模式复原阶数下的波前复原误差的实验结果,并与理论计算结果进行了对比。 相似文献
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一种基于光纤萨尼亚克环的新型传感结构 总被引:1,自引:0,他引:1
提出了一种实现全光纤多扰动测量的基于光纤萨尼亚克环的新型传感结构。该传感结构采用新型的双萨尼亚克环结构并用波分复用技术代替了传统的双光源结构,减小了系统损耗,实现了对多扰动的位置的测量。分析了传感原理,推导了数学模型,表明测量误差与解调电路的频率响应有关,并进行了单频和多频扰动的实验研究,实验证明了理论分析的正确性。 相似文献
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Fiber-optic reflex sensor for in-line production measurement 总被引:1,自引:0,他引:1
The paper describes experiments concerning distance measurement with fiber-optic sensor and improvement of the measurement principle. The sensor probe was well-designed with a small structure and multi-function. The novel optical fiber probe arrangement as well as the possibilities of use for complex measurement problems are explained using the measurement of an internal screw thread as an example. The experimental results show that the measurement uncertainty of the thread minor diameter can reach ±10 μm, and the stability of the measurement system is better than 0.07%. 相似文献
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落球法测定重力加速度实验的改进 总被引:2,自引:0,他引:2
简述落球法测定重力加速度等实验中,采用自制激光光电计时器,提高了测量时间的准确度,该计时器具有定位准、抗干扰能力强等优点。 相似文献
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