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81.
82.
Monte Carlo方法研究低能电子束曝光沉积能分布规律   总被引:4,自引:0,他引:4       下载免费PDF全文
建立一个描述低能电子在多元多层介质中散射的物理模型,运用MonteCarlo方法模拟低能电子在靶体胶衬底中的复杂散射过程,在此基础上通过大量计算研究入射束能、胶层厚度、衬底材料等不同曝光条件对抗蚀剂沉积能密度分布的影响,获得沉积能分布规律:适量的低束能、薄胶层、低原子序数衬底可以使前散射电子对胶中沉积能密度分布的贡献增大、背散射电子的贡献减小,从而提高曝光分辨率. 关键词: 电子束曝光 MonteCarlo方法 低能电子散射 能量沉积  相似文献   
83.
Summary In this note we use Theorem 2.4 in<span lang=EN-US style='font-size:10.0pt;mso-ansi-language:EN-US'>[1]to give a very short proof of a recent result due to M. Bognár (Theorem A in [3]). We also prove that Bognár's result is in fact equivalent to the classical Hahn-Mazurkiewicz Theorem. Finally we give generalizations in the non-compact setting.  相似文献   
84.
对于任意秩有限总体,在二次损失下,有关文献已给出了线性可预测变量在齐次线性预测类中的唯一线性Minimax预测.本文在正态假设下,证明了这个线性Minimax预测也是线性可预测变量在一切预测类中的唯一Minimax预测.  相似文献   
85.
A planar map is a 2-cell embedding of a connected planar graph, loops and parallel edges allowed, on the sphere. A plane map is a planar map with a distinguished outside (“infinite”) face. An unrooted map is an equivalence class of maps under orientation-preserving homeomorphism, and a rooted map is a map with a distinguished oriented edge. Previously we obtained formulae for the number of unrooted planar n-edge maps of various classes, including all maps, non-separable maps, eulerian maps and loopless maps. In this article, using the same technique we obtain closed formulae for counting unrooted plane maps of all these classes and their duals. The corresponding formulae for rooted maps are known to be all sum-free; the formulae that we obtain for unrooted maps contain only a sum over the divisors of n. We count also unrooted two-vertex plane maps.  相似文献   
86.
Growth characteristics and surface morphology of boron carbide films fabricated by ablating a B4C target in high vacuum with a traditional KrF excimer laser and a high brightness hybrid dye/excimer laser system emitting at the same wavelength while delivering 700 fs pulses are compared. The ultrashort pulse processing is highly effective. Energy densities between 0.25 and 2 J cm−2 result in apparent growth rates ranging from 0.017 to 0.085 nm/pulse. Ablation with nanosecond pulses of one order of magnitude higher energy densities yields smaller growth rates, the figures increase from 0.002 to 0.016 nm/pulse within the 2-14.3 J cm−2 fluence window. 2D thickness maps derived from variable angle spectroscopic ellipsometry reveal that, when ablating with sub-ps pulses, the spot size rather than the energy density determines both the deposition rate and the angular distribution of film material. Pulse shortening leads to significant improvement in surface morphology, as well. While droplets with number densities ranging from 1 × 104 to 7 × 104 mm−2 deteriorate the surface of the films deposited by the KrF excimer laser, sub-ps pulses produce practically droplet-free films. The absence of droplets has also a beneficial effect on the stoichiometry and homogeneity of the films fabricated by ultrashort pulses.  相似文献   
87.
The general problem of finding a distribution in hyperfine interaction parameters from experimental Mössbauer spectra is outlined. Existing methods may lack flexibility to be easily applicable to simple problems. A line shape for hyperfine parameter distributions is given, which is based on linear segments in the probability function. This method is applied in the analysis of samples containing iron in a silicate glass.  相似文献   
88.
The paper considers upper semicontinuous behavior in distribution of sequences of random closed sets. Semiconvergence in distribution will be described via convergence in distribution of random variables with values in a suitable topological space. Convergence statements for suitable functions of random sets are proved and the results are employed to derive stability statements for random optimization problems where the objective function and the constraint set are approximated simultaneously. The author is grateful to two anonymous referees for helpful suggestions.  相似文献   
89.
沪深股市相关结构分析研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
在金融市场风险分析中,对金融资产相关结构的讨论有着重要意义,从而引出对如何选取好的相关结构模型来捕捉金融资产间的相关变化规律的讨论。针对这一问题,我们用混合相关结构函数Copula对上海、深圳股票市场进行了相关分析研究,用极值分布刻画了每支股票的边缘分布,用两步估计法对Copula中的参数进行了估计。分析结果表明:混合Copula相关结构能够捕捉金融市场间相关性变化规律,比单个Copula相关结构更灵活,更能全面地反映市场间非对称变化的相关程度和模式,此方法还可以推广到对多种金融资产收益率进行相关性分析。  相似文献   
90.
本文在NA负相协序列下利用熟知的相依情形的大小块分割的方法,建立了经验分布函数的渐近正态性.作为在可靠性中的应用,得到了生存函数■(x)=P(X>x)估计的渐近正态性.  相似文献   
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