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Deposition of Hydrogen-Free Silicon Nitride Thin Films by Microwave ECR plasma Enhanced Magnetron Sputtering at Room Temperature
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Hydrogen-free silicon nitride (SiNx) films were deposited at room temperature by microwave electron cyclotron resonance (MW-ECR) plasma enhanced unbalance magnetron sputtering system. Both Fourier-transform infrared spectroscopy and x-ray photoelectron spectroscopy are used to study the bonding type and the change of bonding structures of the silicon nitride films. The results indicate that the chemical structure and composition of SiNx films deposited by this technique depend strongly on the N2 flow rates, the stoichiometric SiNx film, which has the highest hardness of 22.9 GPa, could be obtained at lower N2 flow rate of 4 sccm. 相似文献
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Yan WANG Rong Quan FENG 《数学学报(英文版)》2005,21(4):773-778
A Cayley map is a Cayley graph embedded in an orientable surface such that. the local rotations at every vertex are identical. In this paper, balanced regular Cayley maps for cyclic groups, dihedral groups, and generalized quaternion groups are classified. 相似文献
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本文讨论了每个元都有幂等元作为右单位元的左消半群与幂单半群N的Schuzenberger积M◇N的ρ类,证明了这种半群M与N的Schuzenberger积M◇N的ρ类是右E一半适合半群和弱E-headged半群. 相似文献
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该文讨论一类带有奇异系数的双重调和方程{△^2u-μu/|x|^s=f(x,u),x∈Ω,u=δu/δv=0,x∈δΩ,这里Ω包含R^N是包含0的有界光滑区域,u∈H0^2(Ω),μ∈R是参数,0≤s≤2,△^2=△△表示双重拉普拉斯算子,当f(x,u)=u^p,p=2N/N-4时,上述问题就是一个临界双重调和问题,该文运用Sobolev-Hardy不等式和变分方法,得到它的解的存在性的一些结果。 相似文献
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为了探索具备低水蒸气透过系数、低透气系数、低压缩永久变形以及良好耐老化性能的新型橡胶密封材料,鉴于影响并用胶性能的主要因素是共混相容性以及硫化速度,从实现并用胶优势互补角度出发,优选综合性能较好的三元乙丙橡胶(EPT)和溴化丁基橡胶(BIIR),开展了EPT/BIIR共混共硫化技术研究,并开展了DBPMH/HVA-2过氧化物硫化体系在EPT/BIIR并用胶中的应用研究。 相似文献
98.
李建文 《工程物理研究院科技年报》2004,(1):418-419
为实现超声强衰减材料、多层结构件、重要焊接结构件中缺陷高灵敏度的超声检测和评价,并对自然缺陷形状、性质和大小进行分析和判别,实现对缺陷的精确定性、定量和定位,研制了一套五轴水浸超声扫查成像系统。该系统包括5个部分:超声波发射和接收系统,包括超声探伤仪(USIP12)和水浸聚焦探头:数据采集和图像处理系统,包括工控机和数据采集卡;五轴水浸超声扫查系统装置,包括精密三维扫描工作台、水平转台、探头摆动架、专用夹具、水槽、步进电机驱动卡和驱动电源:软件系统,由文件管理、参数设置、数据和图像处理等控制窗121组成。系统工作时,由运行在工控机上的测控程序向运动控制卡发出运动指令, 相似文献
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HL-1M装置等离子体与ICRH发射天线的相互作用 总被引:1,自引:0,他引:1
赵培福 《核聚变与等离子体物理》2003,23(1):45-50
ICRH实验的一个比较突出的问题就是杂质。杂质的产生与ICRH发射天线同等离子体的相互作用和RF脉冲的发射有着不可忽视的联系。对HL-1M装置的ICRH发射天线在两年多实验中的变化作了简要的介绍和讨论,并对今后ICRH发射天线的设计提出了一些建议。 相似文献
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细菌内毒素(LPS)是革兰氏阳性阴性菌细胞外膜层的主要成分,由其引起的革兰氏阴性杆菌脓度症和休克是导致战创伤病人死亡的主要原因之一。而从类脂A(LipidA)的结构出发,以非肽类物质拮抗内毒素受体CD-14为治疗手段的研究在国外刚刚起步。2-乙酰氨基-3,4,6-三乙酰葡萄糖是合成LipidA结构类似物的重要中间体[1,2]。它的合成一般是通过氨基葡萄糖五乙酸酯的选择性水解[3-6]脱去一个乙酰基得到。氨基葡萄糖五乙酸酯是通过氨基葡萄糖的乙酰化反应得到的,由于氨基葡萄糖不稳定,一般是用氨基葡萄糖的盐酸盐作为起始原料。由于… 相似文献