i线投影光刻曝光系统的光学设计

叙述具有同轴对准特性的光学投影物镜双远心结构和均匀照明光学系统原理。为了满足ｉ线光刻所需的光学传递函数要求，讨论了光刻分辨率和数值孔径的关系。设计了一种新的双远心投影物镜，其数值孔径ＮＡ＝０．４２，放大倍率Ｍ＝－１／５，像场尺寸１５ｍｍ×１５ｍｍ（直径２１·２ｍｍ），共轭距Ｌ＝６０２ｍｍ。用光学设计程序ＺＥＭＡＸ－ＸＥ计算此ｉ线物镜的像质。设计结果说明，整个视场内波差＜λ／４，ＭＴＦ＞０．５５，当空间频率为７１５ｐａｉｒｌｉｎｅｓ／ｍｍ，使用波长为３６５士３ｎｍ时。可以实现０．７μｍ光刻分辨率；照明均匀器，由８１个小方型透镜组成一方列阵。用本文模拟计算软件ＯＰＥＮＧ计算被照像平面上的光能分布，说明实际系统的照明不均匀性为土２％。     

《录音播音建筑声学设计》评介

近年来录音播音建筑的建造量逐年在增长，除了各地电台、电视台、电影厂和音像公司建造录音播音建筑外，更为大量地是文教、艺术、体育、商业和企业管理部门建立录音播音建筑，以适应电教、宣传和技术交流的需要．因此，录音播音建筑已成为大量性建筑．录音播音建筑的音质要求很高，而建筑师在承接这方面的工程设计中，通常又缺乏经验，有关资料又分散于各专业的刊物内，致使建筑设计时无所适从，很多录音播音建筑在建成交付使用后，发观音质问题而不得不作追加处理．这不仅造成极大的浪费，同时对某些先天性缺陷很难圆满地加以解决．对此，…     

抽样调查的设计与分析(Ⅰ)

本文讨论抽样调查实践中有关设计和数据分析的若干问题．第一部分主要涉及设计问题．     

桉树扦插育苗正交试验设计分析

根据扦插育苗试验表明，影响泰国赤桉苗高、根长及发根数的主要因素各不相同。综合分析表明：其主要因素是ＢＡ浓度，插条浸泡药液的时间和蔗糖浓度，其较优的插条处理方法是将插条在０．６％蔗糖＋３００ＰＰｍＩＢＡ溶液中浸泡２小时     

均匀设计抽样及其优良性质

抽样和设计是计算机试验的一个重要研究课题。本文提出了一种新的抽样方法—均匀设计抽样,研究了它的一些基本性质,并将其应用于数值积分近似计算,这种抽样是王元和方开泰(1981)均匀设计思想的一个发展,也是对Latin Hypercube抽样的一个重要改进,通过与Monte Carlo方法,Latin Hypercube抽样(包括OA-Based Latin Hypercube抽样)和均匀设计的比较,表明了这种抽样的优越性,最后还讨论了在一般分布情形下如何应用这种抽样。     

注重思想方法 加强素质培养——文、管学科大学物理教学内容、课程体系改革探讨

根据文、管类专业人才的培养目标和２１世纪对高素质人才的需要，对文、管类大学物理教学内容、课程体系进行设计和探讨．将大学物理教学内容分为五大部分，归属于不同的物理规律和方面．从扩大物理基础知识面，突出物理思想和方法，加强近代和介绍物理学在科技革命、人类社会发展中引起的重大变革和应用方面选取和组织教学内容；按物理规律及其在自然界、技术科学、生产实践中的地位、作用构建课程体系．     

涉足多媒体辅助物理教学一得

通过多媒体辅助物理教学的实践得出学习和掌握多媒体技术的意义以及应用多媒体技术的方法。     

红外成象分离双透镜系统设计

本文介绍红外成象大孔径、大视场物镜的设计原理及象质评价方法,导出了求解初始结构参数的象差方程,给出了设计实例及象质评价结果。