Theoretical Analysis of Interference Nanolithography of Surface Plasmon Polaritons without a Match Layer

Interference nanolithography techniques based on long-range surface plasmon polaritons （LR-SPP） are hardly ever achieved by experiments at present. One key reason is that suitable liquid materials are difflcult to find as the match layer connects the metal film and the resist. We redesign a Kretschmann-Raether structure for interference lithography. A polymer layer is coated under the metal film, and an air layer is placed between the polymer layer and the resist layer. This design not only avoids the above-mentioned question of the match layer, but also can form a soft contact between the polymer layer and the resist layer and can protect the exposure pattern. Simulation results confirm that a device with an appropriately thick polymer layer can form high intensity and contrast interference fringes with a critical dimension of about λ/7 in the resist. In addition, the fabrication of the device is very easy.     

193nm光刻曝光系统的现状及发展

投影曝光工艺是集成电路制造过程中的关键环节，曝光系统的工艺水平已成为衡量微电子制造技术的重要标志。重点介绍了目前193nm光刻设备曝光系统的发展现状和趋势，以及为提高曝光质量所采用的相关分辨率增强技术；通过分析曝光系统的构成和其中的关键技术，探讨了国内研制相关曝光设备所面临的挑战。     

集对Fuzzy格及其在格表示论中的应用

用幂集格构造了集对 Ｆｕｚｚｙ 格（这与用整数对构造有理数集有相似之处）,并用它证明了完整的软代数表示定理,即定义了到自身的映射且有最大元和最小元的格为软代数的充要条件是它与某个集对 Ｆｕｚｚｙ 格的子格同构．这样,与分配格在幂集 Ｂｏｏｌｅ 格中表示相对应,软代数在集对 Ｆｕｚｚｙ 格中有表示,在理论上是很完美的     

软件复用技术实现策略研究

首先分析和提出了一种基于ＯＷＥ（ＯｂｊｅｃｔＷｉｔｈ Ｅｖｅｎｔ）的软构件描述方法,然后深入探讨了如何利用面向对象方法实现软件复用的策略,最后着重分析了继承机制对软件复用的支持以及在分布处理环境中的改进方案．     

基于同步辐射软X射线能区的Al和Fe薄膜光吸收截面的初步研究

利用北京同步辐射装置(BSRF)?3W1B光束线产生的单色软X射线分别测定了Al和Fe薄膜在L2?,3吸收边附近的光吸收截面.测量值与理论值比较在远离吸收边时偏差较小,并逐渐趋于一致,在吸收边附近有较大偏差,这主要归因于理论计算所采用的独立电子近似方法在吸收边附近是无效的.测量结果与若干文献中的实验结果也进行了对比.虽然由于光束线分辨率和高次谐波的影响,实验结果和理论结果在实验能区有一定的偏差,但测量结果说明用薄膜透过率测定金属薄膜光吸收截面的方法是可行的.     

传压介质对Bi2Ti4O11软模相变的影响

本文使用金刚石对顶砧装置,红宝石压标,采用背向散射的方法,分别测量了室温下Bi₂Ti₄O₁₁在不加传压介质,传压介质为凡士林油及体积比为16:3:1的甲醇、乙醇和水的混合溶液3种情况下的高压Raman光谱.实验结果表明:常压下频率为38cm^-1的谱线对传压介质的传压性能反应很敏感,随着静水压传压性能的提高,该谱线的强度、线宽、在相变压力点的频率值及它随压力的频移速率都出现了明显差异,其相变压力显著降低.本文初步讨论了发生在Bi₂Ti₄O₁₁中相变的机制.     

重提玻密子

 当粒子在世界的原子打碎器中心彼此相撞破裂出现一些奇异事例时,物理学家也引出一些同等奇异的解释。取所谓“软碰撞”的情况为例,两个快速质子相撞,彼此擦边而过,其中一粒子破裂为粒子喷注,而另一质子实际上未受损伤。在直觉上对顶碰撞较易了解如何被打破,但在交换中擦边而过撕碎如何产生令人遗憾的粒子散失?1961年物理学家提出一决定性非传统的回答:存在一种力的携带粒子称为玻密子(Pomeron),它冲击另一粒子而且将它震裂。     

激光等离子体软X射线接近式光刻术初步研究

描述了用高功率脉冲激光打靶产生的等离子体作为软Ｘ射线源而进行的接近式软Ｘ射线光刻研究，采用负性辐射线光刻胶聚氯甲基苯乙烯，得到了一些新的实验结果。     

软X射线监测系统的建立与国际标准的比对

软Ｘ射线监测系统的建立，结构特点和性能，有效地解决了气体的吸收和窗膜的透过率等因素的影响。申请获得了美国布鲁克海文国家实验室（ＢＮＬ）的用光时间，对监测系统的性能进行研究，并给出了该系统的精度及与国际标准的比对结果。