用于先进半导体制程的光刻反向计算技术(ILT)

此篇论文将介绍一个用于半导体光罩上图样设计以及可用于实际生产的光刻反向计算技术(ILT).在论文中将讨论有关ILT的最新发展,包括在超成像极限协助图样(SRAF)的生成,可增加制程宽容度的ILT, 以及如何生成满足光罩生产标准的图样等方面.从内部的研究结果和客户的使用结果可以看出,ILT已经不再只是一种用于研究的工具,而是已经可以用于先进半导体制程的大规模生产.在对各个环节优化之后,ILT可以增加制程的宽容度,同时将光罩的成本控制在可以接受的水平.     

《中国惯性技术学报》第四届编委会第三次工作会议召开

《中国惯性技术学报》第四届编委会第三次工作会议于2005年9月7～9日在乌鲁木齐市召开。编委会委员及编辑部成员共16人参加了会议。     

磁驱动等熵压缩和高速飞片的实验技术（续2）

4磁压加载等熵压缩实验的数据处理方法 4．1磁驱动实验测量技术 磁驱动实验与通常冲击动力学实验的差别首先在于加载手段的不同，不是纯力学方式（即通过驱动器与样品的直接接触施加作用力）加载，而是利用经过样品的电流与其自身产生磁场相互作用的电磁力无接触地加载，其优点是磁压力的高低只与导体样品表面电流密度有关。在不考虑磁扩散的前提下，把流经导体样品表面的电流密度及其分布测量准确，就能准确的给定磁压力。对于简单的电极构形，通常用罗柯夫斯基线圈测量流过的脉冲电流。     

立交桥多跨连续梁复位监测

某立交桥在长期使用中,弯桥处多跨连续梁发生横向滑移近40cm,为此对该梁进行顶升和横移的复位施工。使用位移传感器对多跨连续梁的顶升和降落进行监测和控制,同时使用应变片监测多跨连续梁的应力。监测结果表明,相邻桥墩处的连续梁最大竖向位移差在3.40～7.89mm之间,连续梁产生的最大附加应力在-2.06～1.78MPa之间,连续梁没有裂缝产生,从而确保了多跨连续梁在复位施工中的安全。同时对钢支架的应力进行监测,得出钢管混凝土柱始终处于严重偏心受压状态的结论。在长时间监测中,采取分段测试然后测试数据累加的方法,减小了应变仪连续使用中的漂移问题。该桥的监测方法也可以用于其它桥梁的施工中。     

“2004年中国惯性技术学会科技工作者研讨会”在泰安市召开

中国惯性技术学会技术咨询部和学术交流部于 2004 年 9 月 16 日至 18 日在山东省泰安市举办了“2004 年中国惯性技术学会科技工作者研讨会”。出席会议的有丁衡高理事长、赵凯嘉秘书长、学会各有关机构领导及 17 个单位的专家学者共 25 人,会议投稿 20 余篇, 会上发表 l9 篇。     

复合结构剪切板的屈曲与后屈曲研究

基于Ｒｅｉｓｓｎｅｒ剪切板理论，本文将现有理论模型推进了一步，导出了控制复合材料和构造矩形板平衡的广义Ｋａｒｍａｎ大挠度方程。此外，运用摄动技术，构造了一个单向压缩简支剪切矩形板的后屈曲渐近解，适用于面板和夹心材料都具正交各向异性的夹层板以及计及横向剪切变形对称铺设的层合板。文中给出了典型算例，并将当前结果与其它理论或数值解作了比较，显示出相当好的一致性。     

沿海软粘土取土质量的对比分析

本文在简要介绍固定活塞式薄壁取土器取土技术基础上，详尽分析了在连云港、赤湾港和广深路所进行的软粘土取土技术对比试验结果。试验结果表明，土样扰动对于室内所测定的力学性指标影响极大，但对物理性指标影响不大。研究结果还有力地证明，只要操作正确，采用薄壁取土器能取得高质量土样，而采用敞口式厚壁取土器取出的土样扰动较大。     

微波技术在生物可降解聚合物合成中的研究进展

阐述了微波合成技术及微波化学仪器的发展历史,综述了微波辐射技术在生物可降解聚合物合成中的特点和优势,并针对其在直接缩聚法、开环聚合法以及共聚合成可生物降解聚合物中的应用和研究成果做了重点介绍。研究发现微波辐射技术具有大大降低聚合反应的时间和能耗,提高反应聚合速率、收率,且具有一定选择性的特性。而作为一种新型高效的加热方式,微波辐射技术为生物可降解聚合物合成甚至更多高分子材料的合成提供了新的思路。     

Oxidation of propane over ammonium-transition metal mixed keggin phosphomolybdate salts

Mixed ammonium-transition metal salts with formula of (NH4)xMyHzPMo12O40 (M = Ni2+, Co2+ or Fe 3+) denoted as MPMo12 have been investigated for the oxidation of propane, with molecular oxygen, at temperature range between 380℃ and 420℃ after in-situ pre-treatment performed at two heating rate of 5 or 9℃/min. They were characterized by BET method, XRD, UV-Vis and IR techniques. The catalysts were found to be active in the propane oxidation and selective to propene or acrolein, in particular for samples pre-t...     

The detection of tetrahydrofuran hydrate formation and saturation using magnetic resonance imaging technique

Tetrahydrofuran (THF) hydrate was formed in bulk as well as in glass beads pack with a mean diameter of 3.0 mm by controlling the temperature under ambient pressure. Images of THF hydrate formation procedure were obtained using the magnetic resonance imaging (MRI) technique. The experiment results showed that MRI is an effective method for the detection of hydrate formation. Saturation of hydrate formed both in bulk and glass beads can be confirmed by intensity integration of MRI images.