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以CF4和C6H6的混合气体作为气源,在微波电子回旋共振化学气相沉积(ECRCVD)装置中制备了氟化非晶碳薄膜(aC:F),并在N2气氛中作了退火处理以考察其热稳定性.通过傅里叶变换红外吸收谱和紫外可见光谱获得了薄膜中CC双键的相对含量和光学带隙,发现膜中CC键含量与光学带隙之间存在着密切的关联,在高微波功率下沉积的氟化非晶碳膜具有低的光学带隙和较好的热稳定性.
关键词:
氟化非晶碳膜
光学带隙
退火温度
热稳定性 相似文献
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23.
为了准确计算出镀膜过程中每层膜的折射率,介绍了实时监控过程中确定膜层折射率的2种方法:一种是由实测的透射比光谱直接反算出膜层的折射率;另一种是用最小二乘法的优化算法实时拟合折射率。试验结果表明:在线反算适合单点监控,所得折射率误差小于2%。然而在实际镀膜过程中,由于宽带内膜层参数误差较大,一般大于25%。为此,采用最小二乘法拟合,即在整个宽光谱范围内采集每个波长点的信息,所得结果误差很小,一般都在2%~5%之间,有时可达到10%,在很大程度上提高了实际镀膜时膜厚监控的精度。 相似文献
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28.
A G 4.0 dendrimer-like poly (amido amine) (PAMAM) based on silica nanoparticles was fabricated via a divergent approach.It was built from γ-aminopropyi silica nanoparfides (APSN) core via repetitive addition of acrylate (MA) and hexylenediamine (HDA). FT-IR and EA were used to monitor the progress of dendrimer during each step. The amino group content of the resulting product increased from 0.49 to 3.72 mmol/g after the 4th generation. In addition, the percentage of grafting increased with increasing generation and reached to 65.9% after 4th generation. It was found that the resulting silica nanoparticles could be dispersed in methanol with a mean hydrodynamic particle diameter of 152.7 nm although the silica nanoparticles had agglomerated during the storage period. 相似文献
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陈海珍 《宁波大学学报(理工版)》2004,17(4):444-448
选用了钛酸丁酯、硬脂酸和乙二醇作为表面活性剂,采用表面化学修饰和表面物理修饰2种方法修饰纳米氧化钛,然后分散在乙二醇溶剂中形成溶胶溶液.并通过红外光谱仪、紫外分光计、原子力显微镜,分析了表面化学修饰后的纳米氧化钛表面化学结构的变化,观测了纳米氧化钛溶胶在乙二醇溶剂中稳定性.试验结果表明表面活性剂与纳米氧化钛的表面的不饱和键之间形成了新的化学结构,粒子表面可能接枝上有机长链,提高了纳米粒子在溶剂中的相容性.表面化学修饰后的纳米氧化钛与乙二醇溶剂形成了较稳定的溶胶体系,而且纳米溶胶粒径较小.表面活性剂添加量与纳米粒子添加量控制在(1~1.2):1时,可以获得纳米溶胶粒径较小,同时溶胶稳定性较好的纳米氧化钛-乙二醇溶胶体系. 相似文献