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Nanoporous Structure in Low-Dielectric Films with Positronium Annihilation Lifetime Spectroscopy 下载免费PDF全文
We investigate nano-porous structures in thin low-dielectric films, i.e. the pore sizes, distributions, and interconnectivity, by using depth profiled positronium annihilation lifetime spectroscopy (PALS). It is found that PALS has good sensitivity to probe both interconnected and closed pores in the range from 0.3nm to 3Onto, even in the film buried beneath a diffusion barrier. A series of low dielectric constant films of organosilicon-silsequioxane with different weight percentages of porogen have been comparatively investigated. The PALS technique can be used to distinguish the open porosity from the closed one, to determine the pore size, and to detect the percolation threshold with the increasing porosity that represents the transition from closed pores to interconnected pores.Furthermore, the pore percolation length can be derived. 相似文献
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文章介绍2001年度国家自然科学奖二等奖获奖成果,在北京正负电子对撞机上采集了Ψ(2S)粒子大数据样本,开展了粲偶素物理的广泛研究:完成了6个粲偶素涉及质量,宽度和衰变化支比等大批重要参数的首次测量或高精度测量;通过对Ψ(2S)和J/Ψ强衰变性质的比较研究,观察到一系列反常现象,挑战现有理论图像。该项研究成果对量子色动力学的检验与发展具有重要意义,为我国粲偶素物理实验研究的继续发展并保持先进水平奠定坚实基础。 相似文献
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给出了两个二元多项式互素的充要条件,然后利用这个充要条件推出二元多项式互素的性质,最后给出一般的n元多项式互素的充要条件。 相似文献
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素质教育的主阵地是课堂教学.如何切实做到物理教学素质化呢?下面结合“全反射”的教学,谈几点看法和做法.1 课堂教学目标构建的多元性 课堂教学强调目标构建的多元性,以完成教学多方位的艰巨任务,这是素质教育的重要教学特征之一.因而在制定具体的物理教学目标时,既要有知识、技能方面的要求, 相似文献
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采用红外光谱法测定D物质含量,以四氯化碳的为溶剂,0.1mm液体池,FT-IR进行吸光度值测量,通过回归分析,达到对D物质定量分析目的,回归方程Y=0.129x+0.2027,相关系数r=0.9990,回收率达96.80%,线线性范围为0.5~8.0g/L。 相似文献