Deposition of Hydrogen-Free Silicon Nitride Thin Films by Microwave ECR plasma Enhanced Magnetron Sputtering at Room Temperature

Hydrogen-free silicon nitride （SiNx） films were deposited at room temperature by microwave electron cyclotron resonance （MW-ECR） plasma enhanced unbalance magnetron sputtering system. Both Fourier-transform infrared spectroscopy and x-ray photoelectron spectroscopy are used to study the bonding type and the change of bonding structures of the silicon nitride films. The results indicate that the chemical structure and composition of SiNx films deposited by this technique depend strongly on the N2 flow rates, the stoichiometric SiNx film, which has the highest hardness of 22.9 GPa, could be obtained at lower N2 flow rate of 4 sccm.     

空间技术回顾与简介

 空间技术,又称航天技术,它是探索、开发利用太空及地球以外天体的一门综合技术;它包括运载工具的研制,航天器的发射、控制,以及宇航员生命保障系统的研制等。空间技术作为当代高技术门类之一,越来越受到世界各国的重视与关注。神舟飞船的3次试航成功极大地激发了国人对空间技术的兴趣,增进了对空间技术的了解。一、空间与空间技术历史的回顾探索宇宙的奥秘,奔向遥远的太空是人类自古以来追求的目标,在古希腊神话中,雅典杰出的建筑师代达罗斯,用麻线和蜜蜡将羽毛连接成翅膀插在身上,带他的孩子伊卡罗斯扇动翅膀逃出了囚禁他们的克里特岛;中国古代也有嫦娥奔月的神话传说。     

关于图的最小覆盖算法

本文就数学建模课的教学过程中 ,在“图的方法建模”一章中 ,关于图的最小覆盖法提出启发式算法 .用书中所给方法推出一个反例 ,分析了其产生错误的原因 ;通过对图的最小覆盖的概念的理解、结合分析图的关联矩阵的特点 ,给出了图的最小覆盖的启发式算法 .     

修正的Shepard型算子的Lp-逼近

摘要:本文在L_[0.1]~p空间给出了 Durrmeyer型修正的shepard算子D_n(f,x),对 f∈L_[0.1]~p,(p≥1),得到了下列的Jackson型估计:││D)n(f)-f││_p≤ C_(pλω)(f,n~(-1))p,λ≥2, Cω(f,n~(-1)logn)p,λ=2, C_(pλω)(f,n~(-1))p,1<λ<2,     

两角和差三角函数在高考中的新特点

两角和差的三角函数是历年高考必考的内容之一 ,试题的形式有“选择、填空、解答” ,试题的难易程度均属中等水平 ,试题考查的知识点较多 ,从近几年试题来看 ,通过一个题目考查多个知识点的题目呈上升趋势 ,同时又呈现出下面新的特点 :①结合图象考查函数的性质 ;②试题的综合性有所加强 ;③试题的考点有所拓宽 ;④试题注重运用探究性思维 ;⑤试题更注重三角的工具性作用 .下面笔者就近几年的高考试题 ,例谈这些新特点 ,供参考 .一、结合图象考查函数的性质与图象结合考查函数性质在其它函数中考查较为常见 ,但出现在三角函数中较少 ,可在近…     

凸合成模糊对策的模糊稳定集

本建立了凸合成模糊对策的模型，并得到了凸合成模糊对策的模糊稳定集，可由子对策的模糊稳定集表达出来。从而解决了凸合成模糊对策的解的结构问题。     

一类含有P-Laplacian算子的奇异边值问题解的确切个数

讨论了一类p-L ap lac ian算子型的奇异边值问题正解的确切个数以及解的性质.     

Lüroth误差和函数的若干性质

本文研究了Lüroth展式的误差和函数.利用误差和函数的Perron-Frobenius算子,得到其积分值.最后,考察并获得其介值性定理,从而得出其图形是一个分形.     

190区超形变核中转动带的组态结构

通过系统研究A～190区超形变核中转动带的转动惯量、角动量顺排、旋称分裂随转动频率的变化规律, 结合我们用处理对力的粒子数守恒方法的计算结果, 对A～190区所有转动带的组态结构给出了一个整体的描述. 绝大多数超形变带都建立在强耦合轨道上, 例如中子[512]5/2, [624]9/2. 少数超形变带则建立在高j闯入轨道上, 即中子[761]3/2, [752]5/2. 根据我们提出的组态结构所进行的理论计算结果表明, A～190区所有转动带的一般行为、反常变化和带交叉都得到了满意的解释.     

黑蝉(C. atrata Fabricius.)辅助发声器的动力学特性

本文给出了黑蝉辅助发声器的动力学特性,揭示了发音肌收缩运动的颤动特性。音盖、鼓盖和褶膜的每个振动周期都由与每个单音节的调幅脉冲列(AMPT_(1-3))相对应的子振动(SGV_(a-b,c))组成。与背部振动相比较,SGV_(a-c)具有调音功能的副频带。连续鸣叫时共鸣腔内的气压变化和两侧气门的气流速度分别约7.94—15.88Pa和0.59—0.84cm~3/s,腹部运动时分别增大约7倍和2.6倍。发音肌收缩到临界发声状态产生颤动,同时激励发声膜和调声板-膜产生AMPT_(1-3)和SGV_(a-c)。