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91.
随着科技的发展 ,集成电路芯片上的插口与记忆元件会愈来愈多 ,所以在硅或金属底板上的空间显得极其拥挤 .现有的短波光刻技术能生产 6 5nm宽的连线以及 90nm的连线间距 ,因此微型芯片的制造商们都力图寻找能雕刻更加精细连线的光刻技术 .为此 ,美国政府 (以加洲劳伦斯伯克利国家实验室的近代光源研究所为主 )和跨国工业财团 (如AMD ,IBM ,微软 ,摩托罗拉等 )携手合作 ,现在以P .Naullear教授为首的研究组已开发出了紫外波段的光刻技术 ,这种紫外光刻术能在芯片底板上生产出 39nm的线宽和 70nm的线间距 .他们计划在 2 0 0 7年以前生产出… 相似文献
92.
为了提高反射率,软X射线投影光刻中使用的掩膜是制备在多层膜上的反射式掩膜,由于有微缩光学系统,它有相对较大的特征尺寸;同时由于它是制备在镀有多层膜的较结实基片上,使用中有能力避免软X射线照射引起的掩膜热变形,便于实现高精度的光刻复制。在反射式掩膜技术中,需要着重考虑的是掩膜缺陷修复和降低多层膜的损伤。 相似文献
93.
94.
95.
在不久前召开的2008年全国压力容器制造单位工作会议上,专家指出,市场环境和国家政策的有机结合,将为我国装备制造业提供一个良好的发展机遇。在化工行业推动结构调整和产业升级和过程中,节能环保设备、流程简化工艺、出口和替代进口设备、储运设备等未来的发展前景比较乐观。 相似文献
96.
97.
Q. L. Chen H. P. Ho K. L. Cheung S. K. Kong Y. K. Suen Y. W. Kwan C. K. Wong 《中国光学快报(英文版)》2010,(10):957-959
We report the design and fabrication of a novel and fully integrated polymer-based centrifugal microfluidic disc for rapid automatic allergens detection. All essential steps for a single test including flow valving, sequencing, mixing, separation, extraction, and sedimentation for final detection are automatically conducted within 30 min on a centrifugal microfluidic disc. Our design features a siphon-based valving and analyte extraction structure where the released analyte is separated and subsequently extracted by a siphon valve into the detection chamber. Incorporating the siphon valve and a series of capillary valves, we realize automated detection of allergic reaction on a centrifugal microfluidic disc. 相似文献
98.
Bulk工艺气体微网探测器的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
In this paper, we present a study of a micromegas detector prototype built with bulk technology. Following a short discussion of the micromegas detector's structure and working mechanism, the bulk fabrication process is described, and some testing results of the prototype are presented. 相似文献
99.
基于人员胜任力是影响工作绩效的关键因素,将资源受限项目调度问题中的可更新资源通过一系列科学合理的方法或者手段转变为存在胜任力差异的人力资源,由此构建起一个强调胜任力差异的人力资源约束项目调度问题模型,此模型最突出的优势在于选取了能够客观合理评估人员胜任力的指标,提供了严谨科学的关系式,将复杂的多项目总工期与总成本的双目标最小化问题转换为综合指标单目标最大化问题,建立数学优化模型,采用遗传算法求解。通过算例研究证实,相较于传统多模式模型,基于人员胜任力水平差异的模型明显更胜一筹,其优势集中表现为最优工期更短、最优成本更低。考虑了胜任力差异的数学优化模型更符合研发项目群管理实践,同时遗传算法在求解方面不仅效率高,并且更容易获得客观准确的结果。 相似文献
100.
为解决多工序制造过程关键质量特性识别中存在的质量特性间具有多重相关性以及数据高维度, 小样本等问题,本文采用主成分回归改进Adaptive Lasso方法并融合状态空间思想和Bootstrap方法实现多工序过程关键质量特性识别。首先引入状态空间思想构建多工序过程关键质量特性识别模型,然后利用Bootstrap方法重构样本,扩大样本量;进而采用改进Adaptive Lasso方法识别关键质量特性,并通过仿真验证改进Adaptive Lasso方法与Lasso,Adaptive Lasso和岭回归方法在质量特性间不同相关度下识别的有效性;最后通过实例说明改进Adaptive Lasso的具体应用过程,仿真及实例结果显示,改进Adaptive Lasso方法对多工序过程有良好的关键质量特性识别能力,特别当质量特性间有较强相关性时显著优于其它两种方法。 相似文献