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101.
辉光等离子体辅助化学气相沉积低温合成金刚石薄膜的研究 总被引:5,自引:0,他引:5
采用辉光放电等离子体增强化学气相沉积 (GP CVD)技术在低温条件下合成了高品质的亚微米金刚石薄膜 ,并通过对合成过程的实时发射光谱诊断确定了 [CH4 H2 ]系统参与金刚石合成反应的主要荷能粒子。对合成过程的研究表明 :采用这种技术能使电子增强热丝化学气相沉积 (EACVD)合成高品质金刚石薄膜的温度从 85 0℃降至 (340± 5 )℃ ;薄膜低温合成中的主要荷能粒子为CH3 、CH ,CH+ 、H 等 ,其中过饱和原子氢保证了高品质金刚石薄膜的合成 ;根据光诊断和探针测量的结果推断近表面辉光放电可在基片表面形成电偶极层 ,该偶极层是进行超常态反应的必要环境 ,并在低温合成中起重要作用 相似文献
102.
Synthesis of Thick Diamond Films by Direct Current Hot—Cathode Plasma Chemical Vapour Deposition 总被引:1,自引:0,他引:1 下载免费PDF全文
《中国物理快报》2002,19(9):1374-1376
103.
Preparation and Properties of N—Doped p—Type ZnO Films by Solid—Source Chemical Vapour Deposition with the c—Axis Parallel to the Substrate 总被引:1,自引:0,他引:1 下载免费PDF全文
《中国物理快报》2002,19(10):1494-1497
104.
高灵敏度化学光谱法测定金、铂和钯 总被引:6,自引:1,他引:6
三正辛胺负载泡塑对贵金属有极强的吸附能力。本文通过对三正辛胺负载泡塑对金、铂、钯吸附性能的研究,以及NO3^-和Fe^3 离子干扰的消除,拟定了金、铂、钯的快速、简便、富集系数高的三正辛胺负载泡塑分离法,一次摄谱的测定范围(10g样品)为:Au0.1-5000ng/g;Pt0.2-5000ng/g;Pd0.1-1000ng/g。 相似文献
105.
106.
采用蒙特卡罗方法,对EACVD中氢原子的发射过程进行了模拟。给出了由氢原子谱线测定电子平均能量的方法,结果对EACVD生长金刚石薄膜过程中实时监测电子平均能量,进而可以有效地控制工艺条件,生长出高质量的金刚石薄膜具有重要意义。 相似文献
107.
采用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积(MWPECRCVD)方法,使用不同的源气体(CHF3CH4,CHF3C2H2,CHF3C6H6)体系制备了aC∶F∶H薄膜.由于CH4,C2H2,C6H6气体在等离子体中的分解反应不同导致了薄膜的沉积速率和结构上的差异.红外吸收谱的结果表明,用C6H6CHF3作为源气体沉积的薄膜中几乎不含H,而用C2H2CHF3所沉积的薄膜中的含氟量最高,其相应的CF振动峰位向高频方向偏移.薄膜的真空退火结果表明,aC∶F∶H薄膜的热稳定性除了取决于薄膜的CC键浓度外,还与CC键
关键词:
氟化非晶碳膜
电子回旋共振化学气相沉积
红外吸收光谱 相似文献
108.
从第一性原理出发利用密度泛函理论研究了 4 ,4′ 二巯基联苯分子和金表面的相互作用 ,并利用了前线轨道理论和微扰理论定量地确定了该相互作用能常数. By using density functional theory, we have investigated the interaction between a thiol-phenyl molecule (4-4′-dimercaptodibenzene) and a gold surface. The frontier orbit theory and the perturbation theory are also employed to determine quantitatively the constant of interaction energy. The results show that the bonding between the sulfur atom and the gold atoms corresponds mainly to the covalent bond and some molecular orbits are extended over the molecule and gold cluster which certainly give channels... 相似文献
109.
出了Heishenberg方程的保等时交换关系-辛格式,为Heishenberg图景下计算量子系统(特别是时间相关外场中的原子)的时间演化提供了保结构的算法,用这种算法计算了一个非线性谐振子,结果显示保等时交换关系-辛格式对求解Heishenberg方程是精确和有效的. 相似文献
110.
比特纯CdSe为标样,用火焰原子吸收法(FAAS),分别测定CdSe薄膜晶体管(TFT)中Cd与Se的含量及化学组成质量比,分别验证了CdSe粉末总量测定值,CdSe粉末化学组成质量比测定值,薄膜样品测定值的准确度,其相对误差分别为0.42%-3.8%和-0.5%。分析了薄膜样品化学组成质量比及影响其匹配的因素。通过测定数据对TFT的质量提供评价,进而指导操作工艺的改进。本实验由于采用同一标样,被测物质与标准样品的组成和浓度基本相同,消除了元素间的相互干扰,提高了分析结果的准确度,并无需作干扰和回收率实验。 相似文献