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本文对用C-V法提取SiC隐埋沟道MOSFET沟道载流子浓度的方法进行了理论和实验分析. pn结的存在所造成的埋沟MOS结构C-V曲线的畸变为沟道载流子浓度的提取带来一些问题. SiC/SiO2界面上界面态的存在也会使提取出的数值与实际数值产生偏差. 本文首先从理论上分别分析了沟道深度和界面态对沟道载流子浓度提取结果的影响,然后对两种沟道深度的埋沟MOS结构C-V曲线进行了测试,提取出了沟道掺杂浓度. 在测试中,采用不同的扫描速率,分析了界面态对提取结果的影响. 理论分析结果和实验测
关键词:
C-V法
SiC
隐埋沟道MOSFET
沟道载流子浓度 相似文献
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当改变能量、位置或场强等参数时,电磁场中里德堡态的原子、分子和离子等体系将出现分岔现象,从而导致波函数在分岔点附近发散,半经典闭合轨道理论不再适用.本文分析并计算了平行电磁场中的H-光剥离电子轨道的分岔现象,并采用统一近似的方法进行定域修正,从而消除了分岔点的奇异性,得到了合理的光剥离电子流的分布. 相似文献
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In this paper we define two classes of quasiconformal mappings,and study their covering properties by methods of module.We obtain some new results.In the meantime,we give new methods to prove Koebe 1/2 covering theorem on convex conformal mappings. 相似文献
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发展每个学生的智能优势,挖掘每个学生的智能潜力,使每个学生都能得到全面发展,这是学校教育的目标。哈佛大学心理学教授加德纳,在多年研究大脑科学和进化的基础上,提出了多元智能理论,对中小学教育教学产生了深远的影响。加德纳教授在2004年华东师范大学一场题为《以多元智能理论观看教育》的报告中指出:人的大脑至少由八种以上智能构成,它们是语言智能、数理逻辑智能、音乐智能、空间智能、肢体运动智能、人际交往智能、自省智能、自然观察智能以及生存智能。传统的智力理论所指的“智能”主要就是第一、第二种智能,而这两方面恰恰是现在教学中特别突出和关注的智能。 相似文献
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Using a detailed configuration accounting model with term structures treated by the umresolved transition array model,we have extensively investigated the opacitiesof mixture materials.For plasmas at the temperature of 250 eV and density of 1 g/cm^3,our calculated Rosseland mean opacities are in good agreement with other theoretical results.A high increase in the Rosseland mean opacity to 2944cm^2/g is achieved for a multi-element mixture compared to the value of 1729cm^2/g for pure gold.Various mixtures at other plasma conditions are also studied. 相似文献
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由于混凝土材料理化特性的差异,高强混凝土的弯压极限应变明显地小于普通混凝土,依据试验结果分析了高强混凝土的弯压极限应变变化规律,并给出了它的计算公式. 相似文献