Low-Temperature Growth of Polycrystalline silicon Films by SiCl4／H2 rf Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition

Polycrystalline silicon film was directly fabricated at 200℃ by the conventional plasma enhanced chemical vapour deposition method from SiCl4 with H2 dilution. The crystallization depends strongly on the deposition power.The maximum crystMlinity and the crystalline grain size are over 80% and 200—50Onm, respectively. The results of energy dispersive spectroscopy and infrared spectroscopy measurements demonstrate that the film is mostly composed of silicon, without impurities such as Cl, N, C and bonded H. It is suggested that the crystallization at such a low temperature originates from the effects of chlorine, i.e., in-situ chemical, etching, in-situ chemical cleaning, and the detachment of bonded H.     

EACVD中用氢原子谱线测定电子平均能量

采用蒙特卡罗方法，对EACVD中氢原子的发射过程进行了模拟。给出了由氢原子谱线测定电子平均能量的方法，结果对EACVD生长金刚石薄膜过程中实时监测电子平均能量，进而可以有效地控制工艺条件，生长出高质量的金刚石薄膜具有重要意义。     

全气相化学激光体系的直流放电研究

 为了提高化学激光体系(AGIL)中F原子的产率，采用直流放电引发方式，对棒式电极的放电特性进行了研究。在对NF3/He混合气体进行解离时，通过选择不同平衡电阻，得到了3 kW左右的放电注入功率。用光谱分析仪对F原子产率进行了测量。通过拟合计算可得：一个NF3分子能够解离出1.3～1.5个F原子。     

空气中水含量的计算及其在色谱分析中的应用

本文介绍了空气中水含量的计算式并编制了空气中的水含量表。实验证明,表上的数据适用于色谱分析。     

Enantioseparation of Dencichine and D-Isomer on L-Cysteine Derivative Phase by Ligand-exchange Chromatography

Dencichine (β-N-oxalyl-L-α, β-diaminopropionic acid, L-ODAP), a nonprotein amino acid, is a haemostatic agent present in important Chinese medicinal herbs such as Panax notoginseng, as well as other Panax species1. It was first isolated from the seeds …     

c轴定向氮化铝薄膜的制备

利用电子回旋共振 (ECR)微波增强化学气相沉积法 (PECVD)并使用氮气 (N2 ) ,氩气 (Ar)和AlCl3蒸气作为气源在直径为 6 .35cm的 (10 0 )单晶硅片表面制备了c轴定向氮化铝 (AlN)薄膜 ,并使用X射线衍射仪及其X射线特征能谱和扫描电镜 (SEM)分析了薄膜特征 ,研究了微波功率、基板温度和N2 流量对薄膜c轴定向的影响 ,得到了c轴偏差角小于 5°的高质量大面积AlN薄膜。     

鲤鱼体中鱼腥味物质的提取和鉴定

采用同时蒸馏萃取法提取鲤鱼鱼体中的挥发和半挥发性有机物，用GC／MS从提取物中分析鉴定出鱼腥味和疑是鱼腥味物质16种。包括醛、烯醛、酮和呋喃4类化合物。其中己醛、庚醛和2，4-二烯癸醛被确认为鱼腥味的化合物。研究发现，这些物质总量在鲤鱼体的鱼鳞、鱼鳃和鱼肉的分布呈现下降趋势，且其总量与鱼腥味强度之间具有可比较的对应关系。     

气相色谱仪的技术指标测算方法

通过对气相色谱各项技术指标及意义的介绍，使应用者娴熟地掌握气相色谱的各项技术指标和测算方法，正确的表达分析检测结果。