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991.
992.
采用多靶磁控溅射法制备了一系列具有不同TiB2调制层厚度的TiN/TiB2 sub>纳米多层膜.利用x射线衍射仪、高分辨电子显微镜和微力学探针研究了TiB2层厚变化对多层膜生长结构和力学性能的影响.结果表明,在fcc-TiN层(111)生长面的模板 作用下,原为非晶态的TiB2层在厚度小于2.9nm时形成hcp晶体态,并与fcc-TiN 形成共格外延生长;其界面共格关系为{111}TiN//{0001}TiB2,〈110〉TiN//〈1120〉TiB2.由于共格界面存在晶格失配 度,多层膜中形成拉、压交变的应力场,导致多层膜产生硬度和弹性模量升高的超硬效应, 最高硬度和弹性模量分别达到46.9GPa和465GPa.继续增加TiB2层的厚度,TiB2形成非晶态并破坏了与TiN层的共格外延生长,多层膜形成非晶TiN层和非晶TiB< sub>2层交替的调制结构,其硬度和弹性模量相应降低.
关键词:
2纳米多层膜')" href="#">TiN/TiB2纳米多层膜
共格生长
晶体化
力学性能 相似文献
993.
纳米润滑膜全氟聚醚(perfluoropolyether,简称PFPE)在固体表面的结构和迁移特性对于计 算机磁盘磁头驱动系统的可靠性具有重要的作用. 采用基于粗粒珠簧模型的分子动力学模拟 方法,考察了不同壁面和端基极性对于PFPE膜静态特性(如分子构型、单体密度分布、端基 密度分布)以及动态特性(如自扩散系数)的影响. 静态特性的模拟结果表明,非极性PFPE 膜在壁面附近具有单层厚度为一个单体直径的层状结构,而极性PFPE膜则具有复杂的层状结 构. 动态特性的模拟结果表明,PFPE膜的扩散能力因壁面作用而增强并因端基极性作用而减 弱.
关键词:
全氟聚醚膜
分子动力学模拟
薄膜润滑
固液界面结构 相似文献
994.
995.
利用电化学阳极腐蚀的方法制备了多孔硅膜,实验发现多孔硅膜为多层结构,表面层为纳米结构,其余为微米结构,多孔硅的物理及化学结构的研究表明多孔硅是一种表面上含硅、氧、氢、氟元素组成的化合物包覆着的纳米晶硅粒和微米硅丝.多孔硅的发光主要来自表面纳米结构层,亚微米结构层并未见发光,从实验上证实了多孔硅的发光与量子尺寸效应紧密关联. 相似文献
996.
997.
磁电子学讲座第三讲 磁性金属多层膜中的巨磁电阻效应 总被引:2,自引:0,他引:2
在许多磁性金属多层膜系统中都存在巨磁电阻效应,这些系统是由厚度为几个纳米的磁层与非磁层交替重叠而构成.出现巨磁电阻效应的必要条件是系统的磁化状态能被外加磁场所改变.该效应的物理原因是传导电子在界面处或磁层内的所谓自旋相关散射.层间耦合随隔离层厚度变化而振荡的现象,在隔离层为非磁过渡金属和贵金属的系统中普遍存在.自旋阀多层结构在信息存储技术中磁电阻“读出”头方面极具应用前景. 相似文献
998.
纳米材料中的巨磁电阻效应 总被引:41,自引:0,他引:41
纳米材料是指三维空间尺度中至少有一维处于纳米量级的材料,通常为1—100nm,如纳米微粒,纳米线、管,纳米薄膜或其组合材料,近年来纳米材料中的巨磁电阻效应颇受人们青睐,本文将重点介绍颗粒膜,颗粒合金薄带,非连续多层膜,颗粒—薄膜混合型膜以及磁性隧道结的巨磁电阻效应。 相似文献
999.
为了提高反射率,软X射线投影光刻中使用的掩膜是制备在多层膜上的反射式掩膜,由于有微缩光学系统,它有相对较大的特征尺寸;同时由于它是制备在镀有多层膜的较结实基片上,使用中有能力避免软X射线照射引起的掩膜热变形,便于实现高精度的光刻复制。在反射式掩膜技术中,需要着重考虑的是掩膜缺陷修复和降低多层膜的损伤。 相似文献
1000.