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直流电弧等离子体喷射化学气相沉积高质量金刚石膜残余应力分布的拉曼谱分析 总被引:1,自引:0,他引:1
不同工艺条件下在钼衬底(φ60mrn)上用100kW直流电弧等离子体喷射化学气相沉积设备进行金刚石膜的制备。金刚石膜用扫描电镜(SEM)、拉曼谱(激光激发波长为488m)和X射线衍射来表征。研究结果表明,在直流电弧等离子体喷射化学气相沉积金刚石膜的过程中,内应力大小从金刚石膜的中央到边缘是增加的,并且应力形式是压应力。这说明了在金刚石膜中存在明显的应力不均。甲烷浓度和衬底温度都影响金刚石膜中的内应力。随着甲烷浓度和衬底温度的提高,金刚石膜中的内应力呈增加的趋势。 相似文献
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简单介绍了扫描电镜背散射电子成像的工作原理及其应用.利用扫描电镜背散射电子成像结合X-射线能谱来研究样品的微区成分变化,从而快速的了解样品的组成和结构特征,为物相的鉴别提供了有效的分析手段. 相似文献
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用扫描电镜和能谱仪进行金矿鉴定的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
运用扫描电子显微镜(SEM)及X射线能谱仪(EDX)进行金矿鉴定的实验研究,结果表明,本法比较直观、简便,可以确定金的存在形式及生成环境,并鉴定金矿物的种类 相似文献
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用扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)等分析技术研究了一种Al/Al2O3自生颗粒复合材料的微观形貌,结果表明,700~750℃气-液反应生成的氧化铝自生颗粒的典型尺寸为亚微米级,颗粒与基体之间具有热力学稳定性。 相似文献