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微纳尺度的微结构可调制光场,提高传感器的灵敏度,是新一代功能器件或传感器件中广泛使用的重要结构特征。包含微细加工在内的先进制造技术的快速发展,对多种型式微纳尺度微结构的无损测量技术提出了紧迫的需求。本文从多维视角论述了国内外行业发展中出现的微结构种类、型式,围绕具有高精度无损检测特质的光学显微技术,阐述了国内外仍在继续发展的微结构无损检测四种主流方法,分析了这些方法的技术特点、适用对象,给出了典型样品的检测结果,其中部分结果是首次发表。结果表明,暗场显微机器视觉法,是振幅型颗粒、凹坑、划痕等有害微结构的有效检测方法,可以实现大尺度样品的快速检测;共焦显微成像和低相干显微干涉法是“相位”型微结构的最佳检测方法,可以得到微结构的三维形貌;光谱反演-过焦扫描法与近红外显微干涉法,是应高深宽比微结构无损检测需求而发展起来的新方法,前者可以快速测得线宽和深度,后者可以测得物镜视场范围内高深宽比微结构的三维形貌,二者可以相互验证与补充。 相似文献
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将脉冲激光的空间展开与激光超声无损检测相结合,数值分析及实验研究了激光瞬态光栅作用于铝合金板的结构响应。数值分析了反射-吸收综合模型框架下表面粗糙度对吸收率的影响,进行了直径1 mm外型、脉冲宽度1 ns、单脉冲6 mJ输入下激光瞬态光栅激励过程的仿真,并开展了相同能量条件下束斑点光源、有限长度线光源的比对分析;数值分析结果表明,观测距离小于等于4 mm的范围内,瞬态光栅激发下峰值为点源激发的2~5倍,且结构表面能量密度约为点源模式的1%、线源模式的12.7%。开发了瞬态光栅模块并搭建了激发-检测实验系统,结合49.36 mm×49.80 mm×4.97 mm尺寸的铸铝平板进行了验证比对。实验结果表明,60 kHz高通滤波下噪声幅值约为1 nm,距离光栅中心位置2 mm处表面位移峰值的相对偏差最大值为8.91%、10 mm处信号时延对应的声表面波速度偏差为6.62%。 相似文献
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基于纳米金探针和基因芯片的DNA检测新方法 总被引:2,自引:0,他引:2
运用荧光纳米金探针和基因芯片杂交建立一种新的DNA检测方法. 荧光纳米金探针表面标记有两种DNA探针: 一种为带有Cy5荧光分子的信号探针BP1, 起信号放大作用; 另一种为与靶DNA一部分互补的检测探针P532, 两种探针比例为5∶1. 当靶DNA存在时, 芯片上捕捉探针(与靶DNA的另一部分互补)通过碱基互补配对结合靶DNA, 将靶DNA固定于芯片上; 荧光纳米金探针通过检测探针与靶DNA及芯片结合, 在芯片上形成“三明治”复合结构, 最后通过检测信号探针上荧光分子的信号强度来确定靶DNA的量. 新方法检测灵敏度高, 可以检测浓度为1 pmol/L的靶DNA, 操作简单, 检测时间短. 通过改进纳米金探针的标记和优化杂交条件, 可进一步提高核酸检测的灵敏度, 这将在核酸检测方面具有重要的应用价值. 相似文献
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《化学分析计量》2009,(2)
新疆5个环境监测站日前获得了国家2000余万元的资助,用于加强监测能力建设。26日,新疆自治区环境监测总站有关负责人说,2008年年底,国家环保部和财政部批准了自治区环境监测总站编制的《新疆边境地区环境监测能力建设项目建设方案》,划拨专项资金2000余万元,资助新疆阿勒泰、塔城、伊犁、阿克苏和克州5个边境地区环境监测站的监测能力建设。目前,该项目资金已划拨到位,预计2009年年底完成建设内容。这是迄今为止新疆环境监测系统获得的最大一笔能力建设投资。这些资金主要用于这5个环境监测站购置目前急需的实验室检测分析仪器、应急监测设备、监测交通工具和监控平台搭建,迅速提高5个环境监测站的硬件装备水平。(现代实验室装备网)新疆5监测站投2000万元购实验室检测仪器 相似文献
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不久前,松江区疾病预防控制中心正式获得中国合格评定国家认可委员会(CNAS)实验室认可证书,成为松江公共卫生检测领域首家获得该资质的单位。由此,松江区疾控中心的检测报告将得到亚太地区50多个国家和地区的承认。 相似文献