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采用蒙特卡罗方法,对以CH4/H2混合气体为源气体的电子助进热丝化学气相沉积(EACVD)中的氢原子发射过程进行了模拟。在模拟中考虑了电子与H2的弹性碰撞及振动激发、分解、电子激发(包括Hα, Hβ, Hγ谱线的激发)、电离及分解电离等非弹性碰撞过程;与CH4的碰撞考虑了弹性动量传输及振动激发、分解、电子激发、分解激发(包括Hα, Hβ, Hγ谱线的激发)、电离及分解电离等非弹性碰撞过程。研究了不同实验条件下产生的H, CH3的数目与氢原子谱线相对强度的关系,给出了一种利用氢原子谱线来获得最佳成膜实验条件的方法。对于有效控制工艺条件,生长出高质量的金刚石薄膜具有重要意义。 相似文献
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目前国内外通过在AC发泡剂中添加各种促进剂进而获得改性AC的方法已成为一种趋势。添加何种改性剂无疑是研究改性AC的关键。因此定性分析AC中的改性剂,对改性AC的研发将有极大的帮助。文章应用由作者在Vibrational Spectroscopy上首次提出的薄层色谱显微傅里叶红外联用的方法,鉴定出某改性AC中一种罕见添加剂的官能团,结合元素分析及化学物性分析等,推测出此添加剂的结构。通过对推测物质碎裂机理的解释和未知添加剂质谱图的分析,进一部验证了该添加剂为所推测的物质。这种鉴定方法同样适用于AC中其他无标准图谱的改性剂分析。 相似文献
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碳氢(cH)及其掺杂材料常被用作ICF实验靶丸烧蚀层材料。制备CH薄膜及其掺杂材料的方法有很多,诸如:离子束辅助沉积、离子溅射沉积、低压等离子体化学气相沉积(LPPCVD)等。近年来,详细研究了LPPCVD法制备CH薄膜的制备方法与工艺,形成了比较成熟的技术路线与工艺路线,并为“神光”实验提供了一系列实验靶丸。 相似文献
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The Mg-delta-doped GaN structure has been grown by low-pressure metalorganic chemical vapour deposition.The Hall-effect measurements reveal that the electrical properties are enhanced. The hole concentration is enhanced twice and hole mobility is enhanced three times by Mg-delta doping. Both the etch pit density data and the x-ray diffraction data demonstrate that Mg-delta doping can reduce the threading dislocation density of p-type GaN epilayer. 相似文献