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191.
192.
利用傅里叶模方法分析厚层光刻胶内衍射光场 总被引:2,自引:2,他引:0
建立了描述厚层光刻胶内衍射光场形成过程的物理模型,并利用傅里叶模方法模拟计算和分析了其内部衍射光场分布。该方法考虑了其界面反射、透射及光刻胶复折射率在空间上的缓慢变化对衍射光场的影响,采用该方法模拟光刻胶内衍射光场具有数值计算结果准确、计算速度快的优点。对厚层光刻胶折射率在几种特殊分布情况下衍射光场分布的数值模拟表明,衍射光场与其复折射率的空间分布有关。由于厚层光刻胶折射率在空间上呈缓慢变化的特点,为降低其数值计算量和编程难度,可以将厚层光刻胶近似为折射率随曝光时间变化的光栅。 相似文献
193.
激光直接光刻制作微透镜列阵的方法研究 总被引:2,自引:1,他引:1
介绍了利用激光直接光刻制作8相位台阶菲涅尔衍射微透镜列阵的工艺方法,并对元件的衍射效率及光刻过程中的制作误差进行了分析,透镜列阵在小形Shack-Hartmann波前传感器中得到了应用。 相似文献
194.
微细光刻中部分相干系统成像研究 总被引:2,自引:1,他引:1
分析了投影光刻系统中部分相干成像的过程,结果表明部分相干成像的像强是相干成像的像强对光源上每一点互相干强度的权重和,得出了近年来改进照明条件提高分辨力的物理本质,部分相干成像系统是一个空间频率可变的系统,频率的调制是通过照明函数的变化来实现的提出了进一步提高光刻分辨力的新途径。 相似文献
195.
196.
197.
报道用远紫外准分子激光进行亚微光刻的实验结果,以波长为248.3nm的KrF准分子激光为光源,以光管均匀器为主构成照明系统,采用带有平行平板为像差样正板的1:1折反射投影光刻物镜,在两种光刻胶上分别获得了0.6μm和0.5μm的光刻分辨率。 相似文献
198.
重离子柬轰击聚碳酸酯后.对样品进行陈化和紫外线照射数化,在优化条件下蚀刻后得到纳米孔径核孔膜。利用电化学沉积技术在核孔膜中制备了最小孔径为30纳米的铜纳米线。获得的钥纳米线/聚碳酸酯可以作为x光纳米光刻的腌膜。 相似文献
199.
LIGA technique has been developed since 1993 at BSRF,including the fabrication of LIGA mask, deep X-ray Lithography,electroplating,the pouring molding and the applications in some fields.The LIGA mask with gold absorbing structures of 20μm thick ness and 5μm width and Kapton membrane of around 5μm thicness has been successfull fabricated and applied to the deep X-ray lithography with the PMMA structure of 1mm thickness or obove.the beamline form a wiggler is used for the deep X-ray lithography of LIGA statiion and is open to othe institutes researching the deep X-ray lithography.The normal process of LIGA technique with the exception of molding has been established with the PMMA structures of 500μm thickness at BSRF.The largest aspect ratio of PMMA structrues can reach about 50 with the height of 500μm and the lateral siae of 10μm. The nickel and copper structures with the theickness of 0.5mm and 1mm have been made by using the electroplating technique.The SU8 as a resist material of deep etch lithography with UV light is also developed in the fabrication of LIGA mask and some devices at BSRF.Electromagnetic stepping micro motor,haet exchange,accelerator,structures used in the EDM(electro discharge machinging) are being developed for the future applications. 相似文献
200.