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61.
铝互连线的电迁移问题及超深亚微米技术下的挑战   总被引:2,自引:0,他引:2       下载免费PDF全文
张文杰  易万兵  吴瑾 《物理学报》2006,55(10):5424-5434
铝互连线的电迁移问题历来是微电子产业的研究热点,其面临的电迁移可靠性挑战也是芯片制造业最持久和最重要的挑战之一.从20世纪90年代开始,超深亚微米(特征尺寸≤0.18 μm)铝互连技术面临了更加复杂的电迁移可靠性问题.从电迁移理论出发,分析概括了铝互连电迁移问题的研究方法,总结了上世纪至今关于铝互连电迁移问题的主要经验;最后结合已知的结论和目前芯片制造业现状,分析了当前超深亚微米铝互连线电迁移可靠性挑战的原因和表现形式,提出了解决这些问题的总方向. 关键词: 电迁移 铝互连 微结构  相似文献   
62.
运用层析法、结晶法从狭苞橐吾全草中分离得到艾里莫芬烷型倍半萜8β-hydroxyeremophil-7(11)-ene-12,8α(4β,6α)-diolide化合物,并通过质谱、核磁共振氢谱和碳谱、氢核-氢核相关谱、异核多量子相干谱和异核多键相干谱进行结构鉴定.其单晶经X射线衍射测试表明,其晶体属正交晶系,空间群为P212121,晶胞参数为: a=6.8519(5),b=10.7191(8),c=18.5942(14)A,V=1365.67(18) A3,Z=4,Dc=1.354 mg/m3.F(000)=592,μ=0.101 mm-1  相似文献   
63.
A family of Said-Bézier type generalized Ball (SBGB) bases and surfaces with a parameter H over triangular domain is introduced, which unifies Bézier surface and Said-Ball surface and includes several intermediate surfaces. To convert different bases and surfaces, the dual functionals of bases are presented. As an application of dual functionals, the subdivision formulas for surfaces are established.  相似文献   
64.
综述了关于过度训练状态下机体神经内分泌方面的变化,并对其中一些矛盾的结果提出了可能的解释。  相似文献   
65.
探索物理学中美的因素,领悟自然科学之美,激发科学创新精神。  相似文献   
66.
Analysis of the field distributions in a single biological cell under electromagnetic wave is given. With Debye approximation, the dielectric relaxation of each part of the cell, including the extracellular and cellular media, the cell membrane and the nuclear membrane, was taken into account. Making use of some typical parameters for a cell, the voltage across nuclear and cytoplasma membranes under electromagnetic waves are calculated up to millimeter wave frequency range. The calculated result indicates that it is unlikely to generate electroporation by present available millimeter wave sources.  相似文献   
67.
C60偶联多孔硅系统的蓝光发射   总被引:1,自引:1,他引:0  
用G60作为表面钝化剂,与多孔硅进行偶联.发现当C60偶联多孔硅系统在空气中存储一年后,能够发射460nm左右的强烈蓝光.经过系统的测量和分析,认为蓝光起源的发光中心与SiO2体材料中的“自捕获激子”模型类似.它是由一个氧空位和一个间隙氧组成的,间隙氧同时和相邻的晶格氧形成过氧连接.光激发载流子来自于Si纳米晶粒的核心,辐射复合过程则在多孔硅表面的发光中心进行.进一步的电子束辐照和臭氧辐照实验证明了这个发光中心的存在.从FTIR谱的分析,推测是样品表面Si=O双键的缓慢变化促使了蓝光中心的自发产生.  相似文献   
68.
提出了一种基于微悬臂梁传感技术研究大分子折叠/构象转变的新方法.通过分子自组装的方法将热敏性的聚N-异丙基丙烯酰胺(PNIPAM)分子链修饰到微悬臂梁的单侧表面,用光杠杆技术检测温度在20-40 ℃之间变化时由于微悬臂梁上的PNIPAM分子在水中的构象转变所引起的微悬臂梁变形.实验结果显示:在升温过程中,微悬臂梁的表面应力发生了变化并且导致微悬臂梁产生了弯曲变形,这个过程对应着微悬臂梁上的PNIPAM分子从无规线团构象到塌缩小球构象的构象转变.在降温过程中,微悬臂梁发生了反方向的弯曲变形,这对应着PNIPAM分子从塌缩小球构象向无规线团构象的构象转变.整个温度变化过程中构象转变是连续进行的,而在低临界溶解温度(约32 ℃)附近转变幅度较大,这与自由水溶液中PNIPAM分子的无规线团-塌缩小球构象转变相对应.实验结果还显示:由于PNIPAM分子在塌缩过程中氢键的形成和链段间可能的缠结效应,整个温度循环过程中微悬臂梁的变形是不可逆的且有明显的迟滞效应.  相似文献   
69.
对四种不同的实验构型下空气/水界面自由O-H键在3700cm~(-1)的和频振动光谱的分析表明,水分子在空气/水界面的取向运动只可能是在平衡位置附近有限角度之内的受限转动。界面水分子的自由O-H键取向距界面法线约33°,而取向分布或运动的宽度不超过15°。这一图像显著地不同于Wei等人(Phys. Rev. Lett.86,4799(2001))只通过单一的SFG实验构型所得出结论,即:空气/水界面的水分子在超快的振动弛豫时间内在很大的角度范围内运动。  相似文献   
70.
C.J. Wu 《Applied Acoustics》2002,63(10):1143-1154
This work formulates the double-layer structural-acoustic coupling problem for cylindrical shell by using a combination of the wave-number domain approach (WDA) and the boundary integral equation (BIE). Expressions for the spectral radial velocity of the outer surface of a finite fluid-filled/submerged (FFS) cylindrical thin shell are formulated by means of the transfer matrix equation in wave-number domain. It is shown that the spectral variables on the inner surface of the shell are related to those on the outer surface of the shell. The far field sound radiation from this kind of shell is numerically evaluated for various fluid cases. An experimental verification is performed, and a good correlation between the theoretical results and the experimental results shows that the theoretical study work in this paper is correct.  相似文献   
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