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51.
铝互连线的电迁移问题及超深亚微米技术下的挑战   总被引:2,自引:0,他引:2       下载免费PDF全文
张文杰  易万兵  吴瑾 《物理学报》2006,55(10):5424-5434
铝互连线的电迁移问题历来是微电子产业的研究热点,其面临的电迁移可靠性挑战也是芯片制造业最持久和最重要的挑战之一.从20世纪90年代开始,超深亚微米(特征尺寸≤0.18 μm)铝互连技术面临了更加复杂的电迁移可靠性问题.从电迁移理论出发,分析概括了铝互连电迁移问题的研究方法,总结了上世纪至今关于铝互连电迁移问题的主要经验;最后结合已知的结论和目前芯片制造业现状,分析了当前超深亚微米铝互连线电迁移可靠性挑战的原因和表现形式,提出了解决这些问题的总方向. 关键词: 电迁移 铝互连 微结构  相似文献   
52.
双层玻璃保温特性的影响因素分析   总被引:1,自引:0,他引:1  
应用ANSYS有限元分析软件,成功模拟了双、单层玻璃的温度场,计算得出其热流密度并得出了优化的比例结果.  相似文献   
53.
对由SPCM-AQR-14和MCS组成的时间分辨光子计数系统进行了研究,分析了SPCM和MCS的工作原理及主要特性.利用该系统对磷光物质和洋葱的延迟发光进行了测量,对它们的光子计数率曲线进行拟合,发现其光强衰减符合双曲线规律.  相似文献   
54.
We calculate the binding energies of Ni, Cu, Xe, Cs, Pt, Au, Np, Pu isotope chains using two interaction parameter sets NL-3 and NL-Z, and compared the relative errors of the even-even nuclei with those of odd-even nuclei and odd-odd nuclei. We find that the errors of binding energy of odd-even and odd-odd nuclei are not bigger than the one of even-even nuclei. The result shows that comparing with even-even nuclei, there is no systematic error and approximation in the calculations of the binding energy of odd-even and odd-odd nuclei with relativistic mean-field theory. In addition, the result is explained theoretically.  相似文献   
55.
许希哲对爱情的探索与阐释,颅具个性色彩,具体表现为不受世俗观念局囿,有创新意识,敢立一家之言。其思其言,对于年轻人或许不无启发。  相似文献   
56.
以 4-氨基苯甲酸为原料经重氮化 -偶联反应合成了 5 ,1 1 ,1 7,2 3 -四 (4 -苯甲酸 )偶氮基 -2 5 ,2 6,2 7,2 8-四羟基杯〔4〕芳烃 ,产物的结构经 IR、NMR和元素分析予以确证 ,在有机介质中研究了它的吸收光谱性能  相似文献   
57.
武一 《长春大学学报》2002,12(3):64-65,68
押韵词在英语中极为丰富且富有活力。它具有音韵和谐悦耳、词形整齐对称、词性灵活多变、词义形象生动的特点。  相似文献   
58.
加强化工原理课程建设提高教学质量   总被引:1,自引:0,他引:1  
提高教学质量的一个关键方面是建设好课程,作就化工原理课程建设从目标确定,课程整合,队伍建设,质量管理,课程评估等多方面进行了探讨,并采取了相应的措施,取得了成绩。  相似文献   
59.
60.
一类潜热型功能液固两相流体的定压比热研究   总被引:4,自引:0,他引:4  
应用两相流与热物理理论,严格推导出一类潜热型功能液固两相流体的定压比热计算公式.  相似文献   
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