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71.
卜小峰 《上海理工大学学报》2016,37(4):155-160
根据质量作用定律,测定了铜膜在静态腐蚀和化学机械抛光(Chemical Mechanical Polishing,CMP)两种反应条件下的化学反应速率常数;通过Arrhenius方程,测定了铜膜在两种反应条件下的化学反应活化能.结果表明:当抛光液温度为298.15 K,工作压力为13 780 Pa时,静态腐蚀条件下体系化学反应速率常数是114.80 s-1,而CMP条件下体系的化学反应速率常数是412.11 s-1,同时,CMP条件下的反应活化能为4 849.80 J,静态腐蚀条件下的反应活化能为31 870.30 J,由此得出,反应活化能的降低是CMP过程中的机械摩擦作用所致.因此,根据CMP过程中铜膜和抛光垫各自克服滑动摩擦力所作的系统功,推导出CMP过程中活化能降低值的系统功表达式,并通过改变工作压力和转速来验证该表达式的适用性. 相似文献
72.
移动简谐荷载作用下桥梁响应的高效计算 总被引:7,自引:0,他引:7
在计算移动荷载过桥问题中广泛使用的Newmark方法必须在每一时间步内限制荷载的大小和作用位置都不能改变。精细积分法虽然允许荷载的大小在每一时间步长内发生变化,但是仍假定其作用位置是不变的,未能采取措施以描述荷载沿着桥面的连续移动性。本文提出三种精细积分格式,在每一时间步内不但允许移动荷载的大小按简谐规律连续变化,而且模拟了简谐荷载在空间域的连续移动。通过与Newmark方法和简单问题的解析解进行数值比较,表明用本文提出的方法可以用较粗的结构单元和较大的时间步长而获得很高的计算精度。在精度相同的前提下,计算效率比Newmark方法可提高1~2个数量级。 相似文献
73.
为解决船舶航向控制系统的模型不确定性、高度非线性以及状态变量与控制输入的约束问题,提出一种基于滑模控制的反馈控制算法.利用递归迭代设计法,将非线性滑动模态建立到扩展状态空间,并结合增量反馈控制,无须对不确定项进行估计.在系统输入增益符号已知条件下可自动寻找使系统稳定的控制量,避免变结构控制的抖振以及输出反馈控制的稳态误差及超调,并保证闭环系统的高阶状态变量严格有界.应用船舶非线性水动力模型进行航向控制仿真.结果表明,控制器对系统参数摄动及外界干扰不敏感,具有强鲁棒性. 相似文献
74.
75.
76.
在论述RLC串联谐振电路和并联谐振电路原理的基础上,提出用数字毫伏表测量RLC串联谐振电路相频特性曲线的方法,并将测量结果与传统示波器测量方法比较,分析误差产生的原因是由于电感器交流内阻的影响所致。 相似文献
77.
目的 研究一种新型的功率器件--绝缘栅双极型晶体管(IGBT)的静态模型.方法 分析并建立IGBT的Pspice静态模型,分析模型的结构和参数的配置并对模型进行了仿真,将仿真出的转移特性和输出特性与实际器件进行了比较.结果 /结论所建立的功率器件IGBT的静态模型是正确的,在对其器件或系统的仿真中具有较高的使用价值. 相似文献
78.
79.
办公自动化系统是一种新型的办公模式,是企业信息化建设的一个重要的组成部分。本文主要介绍了永煤集团办公自动化系统的设计思想、运行环境、系统结构和功能特点。 相似文献
80.
以微波辐射方法进行了蒽与马来酸酐的干反应。同时考察了微波辐射时间,辐射能量对反应收率的影响,并与常规反应进行比较。结果表明:微波辐射3min反应收率可达80%,比常规干反应速率提高近120倍,比常规溶液法反应速率提高近30倍。 相似文献