光刻技术:发展路径及未来趋势

光刻技术在半导体器件大规模生产中发挥重要作用.今天,多数先进半导体生产都已经应用ArF准分子激光浸润光刻技术.双重图像曝光和侧壁图像转移技术使ArF准分子激光浸润光刻技术延伸到32纳米半节距(HP)器件的制造成为可能.为了制造更小尺寸的器件,必须开发新的制造工艺.极端紫外线光刻是制造22纳米半节距甚至更小尺寸半导体器件的先进下一代光刻技术解决方案.另外,其他技术解决方案,如纳米压印光刻技术和无掩模直描光刻技术等也被考虑用于制造更小节点尺寸的器件,但是目前这些方案仅仅处在研发阶段,而且在现阶段就已经呈现出在大规模生产中的诸多困难.本文从材料的角度对光刻技术进行一个整体描述,并对光刻技术未来趋势进行讨论.     

基于数据包丢失和时延的基因调控网络的网络化H∞滤波

本文研究了具有数据包丢失和网络时延的基因调控网络的 滤波问题。将基因调控网络的蛋白质和mRNA周期采样后,通过通信网络传输给滤波器,来估计基因调控网络的状态。在网络传输延迟和数据包丢失的影响下,滤波误差系统被建模成随机时滞系统。利用Lyapunov理论和随机Wirtinger积分不等式,给出了误差动态系统渐进稳定和满足 性能指标的条件。进而,给出了 滤波器的设计方法。最后,通过一个仿真例子,体现了该方法的有效性。     

立式液压膨胀环实验技术研究

设计一种立式液压膨胀环实验技术, 能解决现有的冲击膨胀环实验技术中试件存在二次碰撞变形的问题, 实现了碎片的软回收. 通过对装置结构的重新设计, 改变液体的驱动方向, 实现了试件动态断裂过程的可视化.     

广西特有种肥牛树群落特征研究

通过植物社会学的群落调查和统计分析方法,研究了广西特有种肥牛树群落的科属组成、植物地理区系分布、生活型谱、叶级谱、群落结构等群落特征.结果表明:在样地中共有维管束植物36科55属61种;肥牛树群落的种子植物属的地理区系分布类型有8种,以热带区域的分布类型为主,具有强烈的热带性特征;群落中的植物以高位芽的生活型为主,尤其是中高位芽生活型种类最多;群落中植物的叶的特征是以革质、单叶、中型叶为主;群落分层明显,可划分为乔木层、灌木层、草本层,肥牛树在整个群落的乔木层中占绝对优势.肥牛树群落的基本特征体现了该地区群落的气候和水热条件相适应的特点.     

中国跨区域创新合作的影响因素 ——基于省际合作专利数据的实证分析

基于国家知识产权局专利信息服务平台中的合作专利数据,运用空间交互模型分析了影响省际间创新合作的主要因素,并比较了各因素对同组织合作和异组织合作的影响程度.结果表明:地理距离、区域发展不平衡和技术距离是影响跨区域合作的主要因素;地理距离和技术距离对同组织省际合作的影响程度均小于对异组织省际合作的影响程度;区域发展不平衡因素对同组织省际合作的影响程度高于对异组织省际合作的影响程度.结合研究结果提出了相应的政策建议.     

非整倍体和人类生殖健康

非整倍体即染色体数目异常,发生于生殖细胞则可能导致不育不孕、自发流产和先天出生缺陷.精子非整倍体发生率为5%～7%,卵子非整倍体发生率为22%～90%;在早期自然流产中,非整倍体率高达50%.绝大多数临床上常见的非整倍体患儿的异常染色体来自卵子(母亲),而且母亲减数分裂I同源染色体不分离是除13和18号染色体以外的各种常见染色体非整倍体的主要原因.母亲的年龄是迄今唯一被证实的与生殖细胞非整倍体发生密切相关的流行病学因素,减数分裂遗传重组(频率和位点分布)异常可能是导致减数分裂I同源染色体不分离的主要细胞学和遗传学因素,减数分裂前最后一次DNA复制时cohesin复合体的加载及其之后的维持异常则可能是引起减数分裂染色体不分离的分子生物学因素.减数分裂遗传重组和cohesin复合体的加载均发生于女性胚胎发育的8～30周,而非整倍体卵子的形成多发生在35岁以上的女性,因此我们认为导致非整倍体卵子形成的"罪恶种子"早在35年前即已埋下,随着女性年龄增大,其体内保障染色体精确分离的保护机制如纺锤体聚合检验点被"磨损"削弱,而最终导致减数分裂时染色体分离异常.未来的研究应着重探讨遗传重组改变的原因、机理及如何导致减数分裂染色体不分离,了解卵母细胞中cohesin复合体、纺锤体聚合检验点的功能是否随女性年龄增大而减弱及其生物学机制,从而为有效防止非整倍体的发生、减少人类生殖相关非整倍体疾病的发生提供理论基础.     

农民体育健身态度与行为现状研究——以连云港市村镇为调查个案

运用调查、访谈、文献资料和数理统计等方法,分析了连云港市农民体育健身态度与行为现状,提出了新农村建设中完善农民体育健身活动组织与管理的服务体系、建立农民体育健身活动的长效和稳步推进机制等建议.     

基于FPGA的嵌入式容栅扭矩传感器测量系统设计

介绍了一种以Xilinx公司 Spartan-II 系列的xc2s50 FPGA(现场可编程门阵列)芯片为主的嵌入式容栅扭矩传感器测量系统.嵌入式容栅扭矩传感器采用嵌入式设计,特别适合于坦克、装甲车辆等安装空间狭小、对传感器的体积有严格要求的测试系统.以FPGA为代表的可编程逻辑器件在该系统中的应用,可以降低系统PCB板设计的复杂度,抗干扰性能大大提高,功耗低,系统的性能好,可靠性高,操作灵活,测量精度高.     

静态水银液滴建模仿真研究

根据流体力学Young-Laplace公式和微分几何学主曲率方程,利用液体自由面的对称性质建立数学模型,并导出静态水银液滴自由面函数方程,然后对只有重力作用下的水银液滴建模,利用MATLAB求解出自由面函数方程,并仿真、绘制出了水银液滴在只有重力加速度下的自由面函数曲线,最后分析了影响仿真的因素.对静态水银液滴在重力加速度下的建模仿真,将对水银电容式加速度传感器的研究有重大意义.     

冲击波测试系统的动态建模及应用

若测试系统的带宽不能完全覆盖冲击波信号的有效带宽,就会存在较大的动态误差。根据冲击波测试系统的激波管动态校准实验数据,建立了冲击波测试系统动态数学模型,设计了动态校正数字滤波器。仿真结果表明,动态校正滤波器明显提高了系统动态响应的快速性,展宽了工作频带。实弹测试结果显示,校正滤波器能提高冲击波测试的精度和可靠性。该方法能有效消除动态误差,提高测试数据的准确性。