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溶胶-凝胶TiO2和SiO2光学膜的结构 总被引：6，自引：4，他引：6
本文研究了TiO2和SiO2溶胶-凝胶光学膜在低温热处理下的组分、形貌特征、光散射特性.AES分析结果表明,在TiO2膜和SiO2膜的交界面处,Ti和Si相互扩散,从而证实了在多层膜中,膜层之间、膜层和基底之间有Ti-O-Si(或Si-O-Ti,或Si-O-Si)化学键形成.AES和ESCA分析结果显示溶胶-凝胶膜经过低温处理后C的含量较高,这归结为溶胶—凝胶膜的工艺特点.AFM测试结果显示,溶胶—凝胶TiO2光学膜的表面形貌具有显著的柱状结构,薄膜表面起伏大约是7.5nm.TiO2,SiO2单层膜的表面散射率随着热处理温度的提高而变大,对于不同陈化时间的溶液镀制的膜有不同的表面散率. 相似文献