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Characteristics and properties of metal aluminum thin films prepared by electron cyclotron resonance plasma-assisted atomic layer deposition technology 下载免费PDF全文
Metal aluminum (Al) thin films are prepared by 2450 MHz electron cyclotron resonance plasma-assisted atomic layer deposition on glass and p-Si substrates using trimethylaluminum as the precursor and hydrogen as the reductive gas. We focus our attention on the plasma source for the thin-film preparation and annealing of the as-deposited films relative to the surface square resistivity. The square resistivity of as-deposited Al films is greatly reduced after annealing and almost reaches the value of bulk metal. Through chemical and structural analysis, we conclude that the square resistivity is determined by neither the contaminant concentration nor the surface morphology, but by both the crystallinity and crystal size in this process. 相似文献
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王正 《长春师范学院学报》2005,24(6):138-139
“两课”教学具有强烈的时代性,既可以对培养大学生创新能力所需要的内因确定基点,又可以为培养学生创新意识营造良好的外部环境和机制,因而“两课”教学对创新人才的培养具有重要的地位和作用. 相似文献
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利用XRD、NMR、N2吸附等温线、TPD、原位红外(in situFTIR)和程序升温技术等手段考察了Cu-Al-MCM-41的结构特征、化学吸附性能和催化NO选择性还原的反应活性。经Cu离子交换的Al-MCM-41半未改变载体的结构特征,仍保持长程有序的中孔结构。C3H6和NOCu-Al-MCM-41发生竞争吸附。C3H6在反应中起双重作用:一方面,提供NO选择性还原的还原物种;由于其在催化剂上的吸附而阻抑了NO的吸附。 相似文献
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本文报道了纳米Gd203:(Ce^3 ,En^3 )的紫外与真空紫外(UV-VUV)激发谱及其选择激发下的荧光光谱。这些光谱实数表明,除了Gd2O3基质与Ce^3 ,Eu^3 离子之间的能量传递外,还存在着Gd^3 与Ce^3 、Eu^3 间的能量传递,即存在Gd^3 →Ce^3 →Eu^3 三种稀土离子间的级联传递。 相似文献
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在分析Quickbird遥感卫星图像上多出建筑物阴影与其真实高度的对比关系中,进行了城市建筑物高度信心提取方法的进一步的精确和改进,并且以曹妃甸典型建筑物高度信息提取为例,更加精确地提取出建筑物的阴影和高度信息,从而体现出遥感卫星图像在城市规划中越来越重要的作用. 相似文献
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DiI荧光标记的软骨细胞与支架材料复合后的观察 总被引:1,自引:0,他引:1
目的:通过Dil荧光染料标记观察软骨细胞在聚乳酸/乙醇酸共聚物支架(PLGA)体外和体内培养环境中的生长状态,为研究组织工程化软骨探索一种理想的软骨细胞示踪方法.方法:体外分离培养大鼠剑突软骨细胞,应用DiI标记软骨细胞,通过MTT法测定细胞的增殖活性.DiI荧光标记的软骨细胞种植于PLGA支架上分两组:一组体外培养1周,另一组体外培养1周后,再植入同系大鼠大网膜体内培养1周.分别取出细胞一支架复合物,在荧光显微镜下观察体外和体内条件下软骨细胞的荧光表达情况.结果:应用DiI标记不影响软骨细胞的增殖,MTT测定结果显示标记组和对照组的A值未见显著性差异(P>0.05).标记后的软骨细胞显示环状红色荧光,胞核未着色.体外培养和体内培养的软骨细胞一支架复合物,均可在荧光显微镜下观察到红色荧光表达.结论:DiI荧光染料能够有效标记软骨细胞,标记的细胞一支架复合物可直接在荧光显微镜下进行观察,可作为体外和体内构建组织工程软骨的较好的示踪方法. 相似文献
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在现代药物研发中,科学家们每天都会面对海量的数据。因此,能系统化的组织并迅速处理这些数据成为研发新药的关键。对于药物研发所需的生物化学数据的存储、检索等技术已经在过去几十年中逐步发展起来,但对中小型的药物研发企业来说,要将这些技术组合起来,建立真正系统化的解决方案,仍旧耗资巨大。依据日常所需,基于Schrodinger公司的SEURAT软件,建立了一个公司内部的化学/生物信息系统,管理了公司内部药物研发所产生的海量数据,满足了广大科研人员的日常需求。 相似文献
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双流体喷嘴荷电雾化特性 总被引:12,自引:0,他引:12
针对压力雾化难以雾化高粘度液体的问题,设计了双流体喷嘴,利用气体动能提高雾化效果.以空气、水为介质,对双流体喷嘴进行了试验研究,测量得出了各控制参数间的互相牵制关系,发现了气液流量之间的一般规律.改变气液压力可以有效改变喷量与雾滴粒径以满足不同雾化要求,雾化片孔径的大小对雾化特性的影响很大.电极电压增大,荷质比随之增加,并从理论上进行探索,分析得出了当荷电雾滴荷质比达到分裂极限时,雾滴将进一步破碎雾化.试验表明,该喷嘴具有气耗低,喷量调节范围宽的特点,对高低粘度液体均能有效雾化,荷上静电以后,液滴粒径更加细小、均匀. 相似文献