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611.
沈诗欢李艳秋姜家华刘岩刘克刘丽辉 《光学学报》2017,(8):280-287
10nm以下光刻技术牵引极紫外(EUV)光刻物镜向超高数值孔径(NA)、组合倍率设计形式发展,物镜系统的入射角和入射角范围因此急剧增大,传统规整膜和横向梯度膜难以满足该类物镜系统反射率及像质要求。为此,提出了横纵梯度膜组合法,用横向梯度膜提高反射率,用纵向梯度膜提高反射率均匀性,并补偿横向梯度膜引入的像差。应用该方法对一套NA为0.50的组合倍率EUV光刻物镜进行膜层设计,设计结果表明,在保证系统成像性能不变的情况下,平均每面反射镜的反射率大于60%,各反射镜的反射峰谷值均小于3.5%,满足光刻要求,验证了横纵梯度膜组合法的可行性。 相似文献
612.
空间光通信ATP系统粗跟踪平台的混合自适应控制 总被引:1,自引:0,他引:1
ATP系统的粗跟踪平台外框架对内框架的耦合作用以及内框架自身的不平衡所引起的加速度干扰是影响空间光通信系统光信号跟踪性能的重要因素。针对方位跟踪通道中的内框架系统结构,提出了应用一种混合自适应控制方法,该方法在设计自适应控制器时采用离散与连续相结合的方法,并将耦合作用和加速度干扰转换为对象的未建模动态进行处理。最终的仿真结果表明,被控对象在具有未建模动态和干扰的情况下,采用混合自适应控制算法能够获得较高的跟踪精度。 相似文献
613.
克丽比努尔·艾孜子 《新疆师范大学学报(自然科学版)》2009,28(2)
和谐社会建设使学校教育内容中和谐主题的比重有所增加."校园和谐教育"是指在学校的知识教育和道德教育过程中,对学生进行以和谐为主题的知识传授和德行教化.和谐教育要求培塑学生的和谐知识文化结构、培养学生的人际和谐与生态和谐观念.和谐教育要求遵循真诚、关怀、人道原则,通过加强校园伦理文化建设、完善校园的制度建设、发挥教师的主导性作用实现. 相似文献
614.
本文运用负范数证明了广义有限元法的两个超收敛定理 ,利用这些定理 ,可将普通有限元法的超收敛结果直接推广到广义有限元法上去 . 相似文献
615.
掺La(OH)_3多孔硅的感湿特性研究 总被引:1,自引:0,他引:1
本文报道了多孔硅的制备方法及形成条件,并对掺La(OH)_3多孔硅的感湿特性进行了实验研究,结果表明掺La(OH)_3多孔硅的交流阻抗随环境温度的增大而减少,呈近似线性规律,敏感度变化很小。掺La(OH)_3多孔硅化传统的LiCl敏感材料的繁感度有所提高。 相似文献
616.
南京汤山钙基膨润土钠化改型研究 总被引:2,自引:0,他引:2
南京汤山膨润土属钙基膨润土,为提高汤山膨润土性能,我们进行了钠化改型研究,并获得了最佳的钠化改型条件,实验表明,经过钠化改型的膨润土性能有了较大提高,可以得到更广泛的应用。 相似文献
617.
618.
一个平面图G被称为1-外平面图如果存在一个顶点u 使得G- u 是一个外平面图.本文证明了Melnikov 的边面染色猜想对所有1-外平面图成立. 相似文献
619.
620.
研究了两个不同的非牛顿血液流动模型:低粘性剪切简单幂律模型和低粘性剪切及粘弹性振荡流的广义Maxwell模型.同时利用这两个非牛顿模型和牛顿模型,研究了磁场中刚性和弹性直血管中血液的正弦型脉动.在生理学条件下,大动脉中血液的弹性对其流动性态似乎并不产生影响,单纯低粘性剪切模型可以逼真地模拟这种血液流动.利用高剪切幂律模型模拟弹性血管中的正弦型脉动流,发现在同一压力梯度下,与牛顿流体相比较,幂律流体的平均流率和流率变化幅度都更小.控制方程用Crank-Niclson方法求解.弹性动脉中血液受磁场作用是产生此结果的直观原因.在主动脉生物流的模拟中,与牛顿流体模型比较,发现在匹配流率曲线上,幂律模型的平均壁面剪切应力增大,峰值壁面剪切应力减小.讨论了弹性血管横切磁场时的血液流动,评估了血管形状和表面不规则等因素的影响. 相似文献