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厚胶光刻非线性畸变的校正 总被引:3,自引:0,他引:3
利用厚胶光刻技术制作大深度微结构元件是一种有效的途径,但厚胶光刻过程中的非线性畸变对光刻面形质量的严重影响限制了该技术的应用,基于此,提出了一种对掩模透射率函数进行校正的方法。分析空间像形成及其在光刻胶内传递、曝光、显影等过程中非线性因素的影响,利用模拟退火算法对掩模透射率函数进行校正,以提高光刻面形质量,并以凹面柱透镜为例,给出了校正前后的显影轮廓模拟结果,其校正后浮雕面形的体积偏差仅为2.63%。该方法在有效改善面形质量的同时,并没有引起掩模的设计、制作难度及费用增加,这对于设计、制作高质量的微结构元件有重要意义。 相似文献
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Evaluation of Optical Properties of Self-Frequency-Doubling Crystal Yb:GdYAl3(BO3)4 for Laser Applications 下载免费PDF全文
Yb:GdYAl3 (B03)4 (Yb:GdYAB) is investigated as a new laser crystal for potential applications in self-frequency doubling. The emission and absorption properties of Yb:GdYAB crystal are studied, and the emission decay times of the upper laser level are measured. The emission cross sections are evaluated using the absorption cross section and principle of reciprocity. The other laser performance parameters, such as the minimum inversion fraction βmin, pump saturation intensity Isat and minimum pump intensity 1rain, are also calculated. The results are discussed in the framework of requirements for an effective diode-pumped Yb^3+ laser system. Yb:GdYAB is expected to exhibit the most useful laser properties and to be superior to Yb:YAB crystal that has been excellent self-frequency-doubling crystal at present in many key spectroscopic parameter values. 相似文献
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本文着重研究了应用INS-GPS组合制导方法来提高弹道式导弹射程精度的问题。为了充分利用GPS,以提供较精确的制导信息,应用数学方法建立了GPS的信息转化模型和信息预测模型,实现了最优线性滤波,获得了良好的制导效果。 相似文献
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茶毛虫核型多角体病毒的安全性研究 总被引:3,自引:3,他引:0
用茶毛虫核型多角体病毒EPNPV—M对猪、山羊、鹅、鸡、兔、小白鼠青蛙、鲤鱼、金鱼及家蚕作了感染试验;对小白鼠作了致畸胎试验;检测了接触该病毒七年以上人员血清中有关抗体;用EPNPV—M同两种化学农药对照施到茶树叶上再检查茶叶中“农残“含量。研究结果表明:EPNPV-M对人体、脊椎动物和家蚕不会引起感染,亦无其他毒性;对茶树不会引起药害,亦不增加茶叶中农残含量。因此,用EPNPV—M作为防治茶毛虫的手段,是安全的。 相似文献
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针对光伏组件热斑若未及时发现处理,会严重影响光伏组件及阵列正常运行的问题,为了有效检测光伏阵列热斑,提出一种基于YOLOv5框架的深度学习热斑检测方法.首先,采用像素加权平均法融合红外和可见光图像作为检测对象,实现同时对光伏组件热斑和遮挡物的检测,并初步分析热斑成因.其次,改进模型框架,在轻量级网络MobileNetV3-large的基础上,融合坐标注意力机制,设计更轻量、更高效的MobileNetCA作为特征提取网络.然后,针对训练中正负样本数量极不平衡的情况,更换损失函数为变焦距损失函数,达到训练中突出正例的效果.同时,改进模型anchor box目标框生成算法,使生成的目标框与实际标注框更一致.实验结果表明,改进后的模型mAP为88.9%,较原YOLOv5s模型提升了3.8%,且模型参数量仅为原模型的48.6%. 相似文献
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波浪对直立堤的作用是波浪理论中的一个重要问题。这个问题的研究不仅是进行港口设计所必需的,而且还有助于我们深入地了解海洋中的波浪运动。 自从森弗罗(Sainflou)建立了他的立波理论以来,许多知名的科学家进行了这方面的工作。这今问题不仅是需要在理论上和在实验室内加以研究,而且还应该深入地去研究已经发生了的外堤破坏事故。因此一旦在某处发生这类的事故,就必然会引起各国科学家们的注意。 1955年2月19日,在意大利热那亚港发生了一件巨大的外堤破坏事故。那时苏联专家A.A.卡斯巴申(A.A.Каспарсон)还在我院工作,在他的建议下,在我们的实验室内进行了模型试验以研究热那亚港外堤的破坏原因。 在实验中,我们观察和分析了外堤的许多破坏现象,根据这些观察和分析,我们可以把破坏按其现象分成二类:即长波破坏和短波破坏。而热那亚港的破坏事故则属于第二类。 在这个实验中,我们还测了直立堤上的波压力。此外,为了增加外堤抵抗长波破坏的能力,我们还做了几个加强港侧基床的试验。 相似文献