基于针式传感器的多功能扫描探针显微镜

为了克服传统的扫描探针显微镜 (SPM )在应用中的不足 ,采用微石英晶振来取代传统SPM的具有复杂结构的微悬臂和激光位移检测装置 ,使成本极大地下降 .通过对锯齿型光栅试件的检测 ,证明这种检测方法是可行的 .同时在微石英晶振前端安装不同种类的细针 ,可实现STM ,AFM ,MFM与EFM的测量 ,构成一机多能系统     

微观形貌扫描隧道显微镜检测的性能分析

对自行研制的双功能扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）的性能特点进行了研究，探讨了影响其纵、横向分辨率的有关因素；对其用于超精微观表面形貌的检测精度进行了分析，提出了其灵敏度、分辨率及视场连续可调的原理；并通过实验检测了原子级分辨率和纳米级分辨率的微观表面形貌，探讨了用ＳＴＭ在不同分辨率条件下对于微观形貌进行检测的可行性．     

基于隧道效应的nm级三维轮廓仪的研究

介绍两种不同结构形式的基于电子隧道效应的ｎｍ级三维轮廓仪．其纵向分辨率可达００２ｎｍ，横向分辨率可达０２ｎｍ，扫描范围分别达到４０μｍ×４０μｍ和１４０μｍ×１４０μｍ．可直接对φ５０ｍｍ和φ１３０ｍｍ的大尺寸样品表面进行ｎｍ级的超微观形貌检测与分析．还给出了高定向石墨表现原子图像及一些超精密表面的超微观形貌测量的结果     

极薄磨削下磨屑形成机理探讨

在极薄磨削的工艺性试验和对砂轮表面形貌检测的基础上，分析了磨粒刃与试件表面的作用关系和材料内部应力、应变的分布状态，给出了磨粒刃的模型，在此基础上对极薄磨削下单颗磨粒刃的磨屑形成机理进行了分析和探讨。     

光散射法测量表面粗糙度的研究

本文对用光散射方法测量表面粗糙度的原理进行了探讨,研制了表面粗糙度的测量装置.利用该装置对用不同加工方法加工出来的表面粗糙度(R_a=0.02～10μm)进行测量.此外,由于采用了光调制技术,从而克服了照明光、背景光及电噪声对输出信号的影响,故该装置可用于精密切削过程中对加工表面粗糙度的在线监测.     

纳米压印光刻技术的研究

研究了一种新型的纳米结构制作方法——纳米压印光刻技术,该工艺通过阻蚀剂的物理变形而不是改变其化学特性来实现图形转移,其分辨率不受光波波长、物镜数值孔径等因素的限制,可突破传统光刻工艺的分辨率极限,论述了热压雕版压印工艺及其设备,实验表明,该工艺同时还具有高效率、低成本、大深宽比等优点。     

胶囊内窥镜主动控制研究

提出一种新的基于单片机的手持式机构,用于主动控制磁性螺旋型胶囊内窥镜,详细介绍了手持式机构对胶囊内窥镜的主动控制原理、组成结构、软件流程及其在猪小肠内的离体实验.实验结果表明,利用手持式机构主动控制胶囊内窥镜在肠道内运动的方法是可行和有效的,该方法操作简单,性价比高于其他方法.     

基于分形特征的表面微观形貌模拟和分析

用Ｗ－Ｍ模型模拟了分形表面并用所设计的分形算法对其进行分形分析，分析结果与理论值相符，最后，用该分形算法对ＳＴＭ检测的超精密表面微观形貌进行分析．     

基于条纹间距调节的条纹分析

基于莫尔条纹的测量中,较好的条纹图、包裹相位图质量,能够提高测量的有效性和测量精度。合理的条纹分布密度,能够有效降低条纹图与包裹相位图中的噪声影响,消除条纹分布过密产生的相位混频。合适的莫尔条纹密度可以通过调节条纹间距来确定。测量结果表明该方法能够适应被测表面的条纹分布,获得可靠的测量数据和有效的测量精度,得到较好的测量结果。