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采用XeCl脉冲准分子激光器,烧蚀高阻抗单晶Si靶,在1—500 Pa的Ar气环境下沉积制备了纳米Si薄膜. x射线衍射谱测量证实,纳米Si晶粒已经形成.利用扫描电子显微镜观测了所形成纳米Si薄膜的表面形貌,结果表明,随着环境气压的增加,所形成的纳米Si晶粒的平均尺寸增大,气压为100 Pa时达到最大值20 nm,而后开始减小. 从晶粒形成动力学角度,对实验结果进行了定性分析.
关键词:
纳米Si晶粒
脉冲激光烧蚀
表面形貌 相似文献
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采用XeCl脉冲准分子激光器,在10Pa的Ar气环境下,烧蚀高阻单晶Si靶,分别在距靶3cm的玻璃和单晶Si衬底上制备了纳米Si薄膜. 相应的Raman谱和x射线衍射谱均证实了薄膜中纳米Si晶粒的形成. 扫描电子显微镜图像显示,所形成的薄膜呈均匀的纳米Si晶粒镶嵌结构. 相应的光致发光峰位出现在599nm,峰值半高宽为56nm,与相同参数下以He气为缓冲气体的结果相比,具有较窄的光致发光谱,并显示出谱峰蓝移现象.
关键词:
纳米Si晶粒
脉冲激光烧蚀
薄膜形貌
光致发光 相似文献
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采用水热法和牺牲模板法相结合制备具有中空树枝结构的三氧化钨载体(d-WO3),在其表面进一步负载活性成分Pt,得到纳米Pt/d-WO3复合催化剂。采用X射线粉末衍射(XRD)、透射电镜(TEM)和比表面积和孔结构分析(BET)等对催化剂的形貌和结构进行了表征。结果表明,三氧化钨具有长6 μm和宽2 μm的中空树枝状结构,孔径分布主要集中在20~120 nm,比表面积为24 m2/g,平均粒径为7.2 nm的Pt纳米粒子均匀分布在其表面。采用循环伏安和计时电流法研究了Pt/d-WO3催化剂在酸性溶液中对甲醇的电催化氧化性能。结果表明,Pt/d-WO3催化剂比Pt/C和Pt/WO3催化剂对甲醇有更高的电催化氧化活性和稳定性。d-WO3所具有的中空介孔结构和双功能作用机理有利于甲醇在铂表面的直接脱氢氧化过程。 相似文献
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周阳 《科技情报开发与经济》2011,21(26):154-157
利用CNKI为检索工具,检索了2004—2010年我国有关开放存取的研究论文,从开放存取的热点问题、刊载开放存取的学术期刊分布情况、研究开放存取的作者单位分布情况以及作者合作情况等方面,进行了统计分析,以期揭示我国开放存取理论及实际应用的发展趋势。 相似文献
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钢混结合段是混合梁桥关键构造之一,本研究对混合梁桥中常采用的有格室—后承压板结合段构造研究进行总结,并通过全截面缩尺模型和局部单格室足尺模型对典型桥梁钢混结合段的静力和疲劳性能进行分析.结果表明:1)承压板可将50%及以上轴向荷载直接传递给混凝土梁,在荷载传递过程中起重要作用; 2)钢混结合段整体应力水平较低,具有足够的极限承载能力; 3)结合段剪力键处于高应力状态,易出现疲劳问题; 4)通过静力和疲劳模型试验可知,甬江大桥钢混结合段具有足够的静力承载能力和抗疲劳性能,若考虑超载等增大疲劳应力情况,靠近承压板端部剪力钉存在一定疲劳问题. 相似文献
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在对比中国大陆与中国台湾科学课程理念的基础上,对中国大陆浙教版《科学》和中国台湾《自然与生活科技》中初中化学部分从呈现方式和知识体系2个维度进行比较,为科学教材的完善提供有益的启示。 相似文献