基于MEMS技术的微型流量传感器的研究进展

流量测量是工业生产和科研工作的重要的检测参数.近年来,随着对微电子机械系统(MEMS)的深入研究和取得的进展,传统的工业和流体力学研究的流量传感器向高集成度,微型化,高精度,高可靠性方向发展,同时生命科学的发展大大促进了用于微流体,生物学、医学、卫生、食物等学科研究新型微型流量传感器的研究开发, 微型流量传感器已成为MEMS的重要研究方向.本文对基于MEMS技术的流量传感器技术的原理、分类作了简要介绍,归纳和评述了各种基于MEMS技术的流量传感器(热式型,差压型,升力型,流体振动型, 科里奥利型及仿生型微型流量传感器等)的生产工艺和应用特点,并对基于MEMS技术的微型流量传感器的校正方法做了总结归纳.介绍了国内在微型流量传感器方面的研制工作.最后总结归纳出基于MEMS技术的流量传感器发展不同阶段并阐述了各个阶段的发展特点,并对基于MEMS技术的流量传感器新的发展趋势进行了展望.      

利用喷气式Z箍缩等离子体装置进行X射线光刻

喷气式Ｚ箍缩等离子体装置可以产生较强的软Ｘ射线，能量大约在２—６ｋｅＶ之间。利用此装置产生的软Ｘ射线，用ＣＳＭ作光刻胶，进行了Ｘ射线光刻的初步研究，得到了较为清晰的光刻图形，曝光深度估计在１０μｍ左右     

MEMS阵列光开关的光纤耦合设计

利用高斯光束传输理论进行了阵列光开关的光纤耦合设计计算。根据ABCD矩阵推导出了光束通过球透镜时的传播规律,计算了在光纤与光纤之间两个球透镜耦合的效率,分析了影响耦合效率的因素。通过设计计算,确定了光纤端部的位置,使得整个损耗达到了最小。从理论上来看,在波长λ=1 55μm时,4×4阵列光开关的耦合效率可以达到91%以上。     

A cold 87Rb atomic beam

We demonstrate an experimental setup for the production of a beam source of cold ⁸⁷Rb atoms. The atoms are extracted from a trapped cold atomic cloud in an unbalanced three-dimensional magneto-optical trap. Via a radiation pressure difference generated by a specially designed leak tunnel along one trapping laser beam, the atoms are pushed out continuously with low velocities and a high flux. The most-probable velocity in the beam is varied from 9 m/s to 19 m/s by varying the detuning of the trapping laser beams in the magneto-optical trap and the flux can be tuned up to 4×10⁹ s^-1 by increasing the intensity of the trapping beams. We also present a simple model for describing the dependence of the beam performance on the magneto-optical trap trapping laser intensity and the detuning.     

多壁碳纳米管/SBS复合材料的制备及其渗流特性

以多壁碳纳米管（MWNTs）为导电填充物,以苯乙烯-丁二烯三嵌段共聚物热塑性弹性体（SBS）为基体材料,制备了导电高分子混合物薄膜,考察了采用不同的溶剂和成膜工艺对薄膜表面形貌的影响,同时通过电流/电压特性的测试,得到不同的MWNTs浓度下MWNTs/SBS混合材料的电渗流特性,其渗流区在6~9wt%之间。我们还初步研究了所得混合材料的电阻值受温度的影响,发现其温阻特性具有很强的时间迟滞性。     

单层神经网络在参数估计中的应用

神经网络方法可用于动力学系统的参数估计，包括时域和频域建模。将单层神经网络用于单交量线性连续时不变系统的参数估计中，线性系统分别用状态方程及传递函数来描述。对于状态方程描述的线性系统，假设系统状态、状态的导数及系统输入已知，给出了相应的神经网络结构及学习算法用以估计系统参数；对于传递函数形式描述的线性系统，推导出了基于频域数据的单层神经网络结构，用以估计传递函数的参数。     

微细电火花加工关键技术研究

围绕微细电火花加工的实现,对微细电火花加工的关键技术进行了研究。开发出由蠕动式微进给机构、微小能量放电电源、微小电极线放电磨削机构、精密旋转主轴头、加工状态检测与控制系统等构成的微细电火花加工装置。探讨了微细电火花加工微小轴、高深宽比微小孔、非圆截面形状和三维结构成型、以及半导体硅材料等的工艺方法。实验加工出的微小轴和孔的最小直径分别小于２５μｍ和５０μｍ,最大深宽比分别超过２０和１０。