机械设备诊断学的再探讨

本文进一步探讨了机械设备诊断学的基本体系与基本概念.从系统论的观点出发,研究了机械设备的系统特性与系统分类;深化了故障、征兆、特征信号的概念;提出了故障传播过程的实质与故障的特性(层次性、相关性、延时性、不确定性);论述了“超层诊断”.文中从知识推理这一角度出发,进一步讨论了机械设备诊断学的目的、任务、诊断内容与诊断过程.     

基于SVM的刻蚀工艺失效状态识别

针对反应离子刻蚀工艺,研究其状态监测与识别.采用主元分析(PCA)方法对原始数据进行降维,提取出有效的特征子集,再应用SVM建立失效状态的诊断识别模型,分析模型参数对失效状态的分类识别效果.采用主元分析法进行数据降维,从多监控量中提取影响最大的特征子集,再基于支持向量机(SVM)算法建立了失效状态的诊断识别模型,并分析了模型参数对失效状态的分类识别效果.研究结果验证了基于SVM方法的有效性,表明该模型具有高效的模式识别能力,可应用于存在小样本问题的其他半导体工艺状态分类和识别中.     

林尼克结构干涉测量系统误差分析

在应用林尼克结构干涉测量系统进行测量时,发现系统存在一个近似为二次曲面的测量误差。根据光学干涉系统的测量原理,分别对林尼克结构干涉测量系统的相移器误差、摄像机误差和光学系统误差进行了分析,确定光学系统误差是干涉测量系统的主要误差源,其中显微物镜焦点轴向误差是产生系统测量误差曲面的主要原因。以平面为实验测量样件,应用测量系统对参考光臂显微物镜的不同轴向位置进行了测量,通过分析测量结果验证了焦点轴向误差对系统测量误差的影响,并与理论结果进行了比较。     

诊断知识获取过程的不确定性问题

分析了不确定性问题对诊断知识获取的影响,并针对知识获取过程不确定性的测度手段、重复知识获取过程不确定性测度的冲突解决提出了相应的对策.     

Nonlinear analysis of a cracked rotor with whirling

ＩｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎＤｙｎａｍｉｃｓａｎａｌｙｓｉｓｏｆｃｒａｃｋｅｄｒｏｔｏｒｗｈｅｎｉｇｎｏｒｉｎｇｎｏｎｌｉｎｅａｒｗｈｉｒｌｉｎｇｃｏｕｌｄｂｅｆｏｕｎｄｉｎｍａｎｙＲｅｆｅｒｅｎｃｅｓ [1 -3 ] .Ｎｏｎｌｉｎｅａｒｄｙｎａｍｉｃｓｏｆｃｒａｃｋｅｄｒｏｔｏｒｗｉｔｈｗｈｉｒｌｉｎｇｈａｖｅｂｅｅｎｓｔｕｄｉｅｄｂａｓｅｄｏｎｆｏｒｍｅｒｓｃｈｏｌａｒ’ｓｗｏｒｋ[4 ]ａｎｄｔｈｅｗｈｉｒｌｉｎｇｅｑｕａｔｉｏｎｓｏｆａｃｒａｃｋｅｄｓｈａｆｔｈａｖｅｂｅｅｎｅｓｔａｂｌｉｓｈｅｄ .Ｔｈ…     

准分子激光电化学刻蚀金属的研究

为了探寻准分子激光电化学刻蚀工艺的特性,采用功率密度大的248nm准分子激光聚焦照射浸在溶液中的金属表面,实现了一种激光电化学刻蚀复合工艺。在实验的基础上,通过对激光电化学刻蚀金属和硅的基本形貌进行比较和分析,研究了该工艺的工艺特性。研究结果表明,该复合工艺为激光直接刻蚀和激光热诱导电化学刻蚀。其中激光热诱导电化学刻蚀是通过激光的光热效应和由激光诱导的冲击波来实现对腐蚀液和材料的冲击、微搅拌等作用的。     

基于知识的机械设备故障诊断的解释学习问题

通过对机械设备中存在的因果诊断知识故障树模型的分析，提出了一种基于解释学习的产生规则的方法．在对诊断对象进行深入分析其知识表示的基础上，给出了知识编辑细化的框架．在此框架的基础上，得出了基于解释学习的知识归纳方法．还对解释学习中存在的效用问题进行了探讨，并提出提高其效用的策略．     

四辊冷带轧机五倍频再生颤振机理的研究

研究了四辊冷带轧机五倍频颤振的产生机理，探讨了轧机支承辊与工作辊辊隙的复杂力学特性，提出了轧机五倍频再生颤振模型，并采用数值方法分析了五倍频颤振模型的稳定性．在此基础上，给出了变速轧制防止五倍频颤振的理论分析，仿真结果表明了变速防振方法的有效性，并进行了合理的解释。